线性马达、定位装置、处理装置及器件制造方法与流程

本发明涉及一种线性马达等。

背景技术：

1、在专利文献1中公开了一种线性马达，其具备根据流过的三相交流电而产生直线动力的三相线圈组。为了确保绝缘性或减少推力波动的目的，将多个各相线圈(例如，多个u相线圈)作为组相邻配置，并在各相线圈组之间(例如，u相线圈组与v相线圈组之间)设置有间隙(间隔)。

2、专利文献1：日本特开2001-86726号公报

3、在专利文献1中，在各相线圈组之间设置有间隙，因此刚性会降低。

技术实现思路

1、本发明是鉴于这种情况而完成的，其目的在于提供一种能够提高刚性的线性马达等。

2、为了解决上述课题，本发明的一种实施方式的线性马达具备：多个多相线圈组，其直线状排列，并且根据流过的多相交流电而产生沿着排列方向的直线动力；及线圈间加固部件，设置于多个多相线圈组之间。

3、根据该实施方式，通过设置于多个多相线圈组之间的线圈间加固部件能够提高刚性。

4、本发明的另一种实施方式为定位装置。该装置将上述线性马达作为动力源。

5、本发明的又一种实施方式为处理装置。该装置对通过上述定位装置定位的被处理物进行处理。

6、本发明的又一种实施方式为器件制造方法。在该方法中，利用上述处理装置对被处理物进行处理从而制造器件。

7、另外，以上构成要件的任意组合或将这些表述转换成方法、装置、系统、记录介质、计算机程序等的方式也包括在本发明中。

8、根据本发明，能够提高线性马达等的刚性。

技术特征：

1.一种线性马达，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的线性马达，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的线性马达，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的线性马达，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的线性马达，其特征在于，

9.一种定位装置，其特征在于，

10.一种处理装置，其特征在于，

11.一种器件制造方法，其特征在于，

技术总结本发明提供一种能够提高刚性的线性马达等。线性马达具备：多个三相线圈组(41～45)，其直线状排列，并且根据流过的三相交流电而产生沿着排列方向的直线动力；及线圈间加固部件(51～54)，设置于多个三相线圈组(41～45)之间。线圈间加固部件(51～54)的沿着排列方向的宽度换算成三相交流电的电角等于60度，在经由线圈间加固部件(51)在排列方向上相邻且流过相互反相位的三相交流电的两个三相线圈组(41、42)中，在第1三相线圈组(41)中成为U相线圈、V相线圈及W相线圈的排列顺序，而在第2三相线圈组(42)中则成为V相线圈、W相线圈及U相线圈的排列顺序。技术研发人员：和田康太郎,吉田达矢,篠平大辅,池田隆受保护的技术使用者：住友重机械工业株式会社技术研发日：技术公布日：2024/7/29