信息处理方法、信息处理装置以及存储介质与流程

本公开涉及一种信息处理方法、信息处理装置以及存储介质。

背景技术：

1、专利文献1中公开的分析基板的缺陷的装置具有将关于多个基板的缺陷的特征量进行累计的缺陷特征量累计部，该缺陷特征量累计部具有：摄像部，其拍摄被检查基板；以及缺陷特征量提取部，其基于拍摄得到的基板的图像，来提取基板面内的所述缺陷的特征量。另外，该装置具有：缺陷判定部，其判定累计得到的缺陷的特征量是否超过了规定的阈值；以及输出部，其输出缺陷判定部中的判定结果。

2、现有技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2015-90964号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、本公开所涉及的技术即使在基板的摄像图像产生了不均的情况下也能够准确地进行基于上述摄像图像的检查。

3、用于解决问题的方案

4、本公开的一个方式是对用于基于基板的摄像图像来检查基板的信息进行处理的信息处理方法，所述信息处理方法包括：获取工序，获取基板的摄像图像；制作工序，关于所获取到的基板的摄像图像，制作以距基板的中心的距离和亮度值为轴的二维直方图；提取工序，基于预先决定的区域定义，来从所述二维直方图中提取与所述摄像图像中的不同性质的不均对应的特定不均分布；以及判定工序，获取所提取出的所述特定不均分布的特征量，基于该特征量来判定该特定不均分布的类别。

5、发明的效果

6、根据本公开，即使在基板的摄像图像产生了不均的情况下也能够准确地进行基于上述摄像图像的检查。

技术特征：

1.一种信息处理方法，对用于基于基板的摄像图像来检查基板的信息进行处理，所述信息处理方法包括：

2.根据权利要求1所述的信息处理方法，其中，

3.根据权利要求2所述的信息处理方法，其中，

4.根据权利要求3所述的信息处理方法，其中，

5.根据权利要求1～4中的任一项所述的信息处理方法，其中，

6.根据权利要求1～5中的任一项所述的信息处理方法，其中，

7.根据权利要求1～5中的任一项所述的信息处理方法，其中，

8.一种可读取的计算机存储介质，存储有在控制信息处理方法的控制部的计算机上动作以使信息处理装置执行根据权利要求1～7中的任一项所述的信息处理方法的程序。

9.一种信息处理装置，对用于基于基板的摄像图像来检查基板的信息进行处理，所述信息处理装置包括：

10.根据权利要求9所述的信息处理装置，其中，

11.根据权利要求10所述的信息处理装置，其中，

12.根据权利要求11所述的信息处理装置，其中，

13.根据权利要求9～12中的任一项所述的信息处理装置，其中，

14.根据权利要求9～13中的任一项所述的信息处理装置，其中，

15.根据权利要求9～14中的任一项所述的信息处理装置，其中，

技术总结一种信息处理方法，对用于基于基板的摄像图像来检查基板的信息进行处理，所述信息处理方法包括：获取工序，获取基板的摄像图像；制作工序，关于所获取到的基板的摄像图像，制作以距基板的中心的距离和亮度值为轴的二维直方图；提取工序，基于预先决定的区域定义，来从所述二维直方图中提取与所述摄像图像中的不同性质的不均对应的特定不均分布；以及判定工序，获取所提取出的所述特定不均分布的特征量，基于该特征量来判定该特定不均分布的类别。技术研发人员：岩永修児受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社技术研发日：技术公布日：2024/7/25