一种具有喷淋装置的刻蚀机的制作方法

本发明属于刻蚀机，更具体地说，特别涉及一种具有喷淋装置的刻蚀机。

背景技术：

1、刻蚀是利用化学或者物理的方法将晶圆表面附着的不必要的材质进行去除的过程，刻蚀工艺顺序位于镀膜和光刻之后，即在晶圆上先将用于刻画电路的材料进行薄膜沉积，其上沉积光刻胶，然后根据掩膜版的电路设计，通过光照对晶圆进行光刻，受光刺激的光刻胶留存，其他地方则将需要刻蚀的材料暴露在外，该步骤称作显影。

2、1、在对晶圆板进行刻蚀工艺，需要提前进行镀膜，以及喷涂光刻胶，在刻蚀后，还需要对晶圆板的表面进行化学溶剂的溶解清洁，需要喷淋不同的化学溶剂，通常分为两个步骤进行操作，生产流程较多，同时喷淋装置在设备的内部是固定位置的，对不同大小的晶圆板进行喷淋，容易存在喷淋的死角区域，影响后续的刻蚀加工。

3、2、在对晶圆板进行喷淋时，通过喷头直接向晶圆板的顶端喷淋化学溶剂，化学溶剂向下喷溅与晶圆板的表面相互的接触，由于化学溶剂向下喷溅带有一定的加速度，与晶圆板的表面接触，容易导致部分的化学溶剂向外侧飞溅，离开晶圆板的表面，残留到设备的内部，影响设备整洁度的同时，化学溶剂与刻蚀机内部的零部件接触，容易腐蚀零部件，影响零部件的使用寿命。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本发明提供一种具有喷淋装置的刻蚀机，以解决上述的问题。

2、一种具有喷淋装置的刻蚀机，包括刻蚀机本体与激光射频模组，所述刻蚀机本体内壁的底端固定安装有底座，所述底座的内部转动安装有套筒，所述套筒的顶端固定安装有顶板，所述套筒的底端固定安装有齿轮环，所述底座的表面滑动安装有防护环，所述防护环的表面固定安装有两个固定块，每个所述固定块的底端均固定安装有两个伸缩杆，所述刻蚀机本体的两个内侧壁均固定安装有固定架，所述固定架的底端均固定安装有支撑板，每个所述固定架的侧端部均转动安装有连接板，每个所述连接板的顶端均固定安装有喷溅模块。

3、优选的，所述固定架的内部固定安装有两个驱动杆，每个所述驱动杆的顶端均固定安装有第一连接座，每个所述第一连接座的顶端均转动安装有第一推杆，两个所述第一连接座的侧端部均转动安装有同一个第二推杆，所述固定架的内部固定安装有两个连接管，所述支撑板的顶端固定安装有两个固定管。

4、优选的，每个所述固定管的侧端部均滑动安装有调节套，每个所述调节套的底端均转动安装有拉杆，每个所述支撑板的顶端均转动安装有转板，每个所述转板的两个侧端部均滑动安装有定向滑杆，每个所述定向滑杆的末端均固定安装有复位杆，每个所述复位杆的顶端均转动安装有第二连接座，每个所述第二连接座的侧端部均转动安装有第三推杆，每个所述第三推杆的末端均转动安装有齿条，所述底座的底端固定安装有两个引流管。

5、与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：

6、本发明中，通过推动第一推杆在第一连接座的顶端进行偏转，第一推杆的顶端与连接板的底端转动连接，对连接板的一侧施加推力，让连接板围绕顶端转动偏转，连接板带动喷溅模块向底座的顶端偏转，同时通过控制驱动杆控制第一连接座的移动距离，可以对喷溅模块的喷淋角度进行调节，增加使用的灵活性。

7、本发明中，通过让固定块带动防护环向上移动，防护环沿着底座的表面向上滑动，同时在支撑板的顶端向上滑动，固定块拉动伸缩杆的顶端，让伸缩杆向上进行拉伸，通过伸缩杆保证防护环移动的稳定性，通过将防护环向上进行推动，对底座顶端的电路晶板进行限位固定，同时两侧上升凸起的防护环，保证在喷淋的过程中，溶剂不会溅出底座的表面，保证刻蚀机本体内部的整洁。

8、本发明中，通过连接管与固定管相互的贯通，让喷溅模块对刻蚀结束的电路晶板表面喷淋清洁溶液，对电路晶板的表面进行清洁，同时清洁溶液通过顶板顶端的凹槽，向留流动，与底座内部开设的另外一个排泄口流出，通过两个排泄口，在喷淋不同的化学溶液时，调整排泄口的闭合，让不同的喷淋废液对应进行回收。

9、本发明中，通过将电路晶板放在底座的顶端，通过驱动驱动杆在固定架的内部进行伸缩，驱动杆的顶端带动第一连接座向进行垂直的滑动，第一连接座的顶端与第一推杆的末端转动连接，推动第一推杆在第一连接座的顶端进行偏转，第一推杆的顶端与连接板的底端转动连接，对连接板的一侧施加推力，让连接板围绕顶端转动偏转，连接板带动喷溅模块向底座的顶端偏转，可以让连接板带动喷溅模块向固定架的侧端部偏转，进行收纳，扩大内部空间，便于后期对激光射频模组进行维护。

10、本发明中，通过让转板底端的固定轴正向旋转，带动转板发生偏转，转板的两端相互的反向运动，转板带动拉杆移动，在调节套的底端偏转，让调节套在固定管的侧端部滑动，将调节套内部的阀门打开，同时调节套的运动对第三推杆施加作用力，让第三推杆调动齿条进行水平的滑动，第三推杆带动第二连接座在定向滑杆的侧端部旋转，保证第三推杆紧贴支撑板的外侧滑动，通过第三推杆推动齿条进行滑动，不仅可以控制调节套的闭合，同时控制齿条，驱动套筒旋转。

技术特征：

1.一种具有喷淋装置的刻蚀机，包括刻蚀机本体(1)与激光射频模组(11)，其特征在于：所述刻蚀机本体(1)内壁的底端固定安装有底座(12)，所述底座(12)的内部转动安装有套筒(23)，所述套筒(23)的顶端固定安装有顶板(24)，所述套筒(23)的底端固定安装有齿轮环(22)，所述底座(12)的表面滑动安装有防护环(25)，所述防护环(25)的表面固定安装有两个固定块(26)，每个所述固定块(26)的底端均固定安装有两个伸缩杆(27)，所述刻蚀机本体(1)的两个内侧壁均固定安装有固定架(13)，所述固定架(13)的底端均固定安装有支撑板(14)，每个所述固定架(13)的侧端部均转动安装有连接板(17)，每个所述连接板(17)的顶端均固定安装有喷溅模块(18)；

2.如权利要求1所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，所述固定架(13)的内部固定安装有两个驱动杆(28)，每个所述驱动杆(28)的顶端均固定安装有第一连接座(29)。

3.如权利要求2所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，每个所述第一连接座(29)的顶端均转动安装有第一推杆(16)。

4.如权利要求2所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，两个所述第一连接座(29)的侧端部均转动安装有同一个第二推杆(31)；

5.如权利要求1所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，所述固定架(13)的内部固定安装有两个连接管(32)，所述支撑板(14)的顶端固定安装有两个固定管(33)；

6.如权利要求5所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，每个所述固定管(33)的侧端部均滑动安装有调节套(34)，每个所述调节套(34)的底端均转动安装有拉杆(35)。

7.如权利要求1所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，每个所述支撑板(14)的顶端均转动安装有转板(36)，每个所述转板(36)的两个侧端部均滑动安装有定向滑杆(38)；

8.如权利要求7所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，每个所述定向滑杆(38)的末端均固定安装有复位杆(37)，每个所述复位杆(37)的顶端均转动安装有第二连接座(39)；

9.如权利要求8所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，每个所述第二连接座(39)的侧端部均转动安装有第三推杆(41)，每个所述第三推杆(41)的末端均转动安装有齿条(15)；

10.如权利要求1所述一种具有喷淋装置的刻蚀机，其特征在于，所述底座(12)的底端固定安装有两个引流管(21)。

技术总结本发明提供一种具有喷淋装置的刻蚀机，涉及刻蚀机技术领域，包括刻蚀机本体与激光射频模组，所述刻蚀机本体内壁的底端固定安装有底座，所述底座的内部转动安装有套筒，所述套筒的顶端固定安装有顶板，所述套筒的底端固定安装有齿轮环，所述底座的表面滑动安装有防护环，通过让固定块带动防护环向上移动，防护环沿着底座的表面向上滑动，同时在支撑板的顶端向上滑动，固定块拉动伸缩杆的顶端，让伸缩杆向上进行拉伸，通过伸缩杆保证防护环移动的稳定性，通过将防护环向上进行推动，对底座顶端的电路晶板进行限位固定，同时两侧上升凸起的防护环，保证在喷淋的过程中，溶剂不会溅出底座的表面，保证刻蚀机本体内部的整洁。技术研发人员：沈方晨,张磊受保护的技术使用者：绍兴华立电子有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/29