一种蚀刻用的组合膜结构的制作方法

本发明属于蚀刻，尤其涉及一种蚀刻用的组合膜结构。

背景技术：

1、在蚀刻工艺中，经常需要用到薄膜。薄膜一般包括干膜和湿膜。其中，干膜韧性好，但是强度不够，长时间大压力蚀刻会被蚀刻药水冲烂。而湿膜强度大，但韧性差，若长时间大压力蚀刻(时间≥40min，压力≥0.3mpa)，会把湿膜冲碎。两者单独使用都会形成不良品。

2、正常蚀刻的都是用一种膜(干膜或湿膜)，这只能用于制作快速蚀刻的产品。若需制作一些需要长时间蚀刻的产品，则合格率极低甚至为零。

3、有鉴于此，本发明旨在提供一种蚀刻用的组合膜结构，其巧妙的将干膜和湿膜组合起来，利用湿膜的强度大、干膜的韧性大的特点，两者相结合做到优势互补，本发明可以用于制作蚀刻压力较大且蚀刻时间较长的产品，可大大提高产品合格率。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明旨在提供一种蚀刻用的组合膜结构，其巧妙的将干膜和湿膜组合起来，利用湿膜的强度大、干膜的韧性大的特点，两者相结合做到优势互补，本发明可以用于制作蚀刻压力较大且蚀刻时间较长的产品，可大大提高产品合格率。

2、为了达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

3、一种蚀刻用的组合膜结构，从上至下，依次包括第一干膜层、第一湿膜层、金属层、第二湿膜层和第二干膜层，所述金属层的粗糙度为0.05μm-0.5μm。

4、作为本发明蚀刻用的组合膜结构的一种改进，所述第一干膜层和所述第二干膜层的厚度为5-30μm；所述第一湿膜层和所述第二湿膜层的厚度为15μm-35μm。

5、作为本发明蚀刻用的组合膜结构的一种改进，所述第一干膜层和所述第二干膜层的材质为pet，所述第一湿膜层和所述第二湿膜层的材质为油墨，具体成分为树脂、溶剂、添加剂、颜料；油墨的配方没有特别的限制，只要含有以上成分即可。

6、所述金属层的材质为不锈钢、铜、铁或钛。

7、作为本发明蚀刻用的组合膜结构的一种改进，所述组合膜结构的制备工艺至少包括如下步骤：

8、第一步，前处理，用除油液对金属层进行前处理；

9、第二步，用涂布机在金属层的上下表面均匀涂覆油墨层；

10、第三步，将第二步形成的结构置于烤箱中进行烘烤，在金属层的上下表面分别形成第一湿膜层和第二湿膜层；

11、第四步，用压膜机将第一干膜层压在第一湿膜层的表面，并将第二干膜层压在第二湿膜层的表面；

12、第五步，将第四步形成的结构依次置于曝光机、显影机、uv机和蚀刻机中进行曝光、显影、uv固化和蚀刻。

13、作为本发明蚀刻用的组合膜结构的一种改进，第一步中除油液的主要成分为氢氧化钠，浓度为1％-10％，温度为40℃-60℃，清洗后的干燥温度为70℃-90℃。

14、作为本发明蚀刻用的组合膜结构的一种改进，第二步中油墨的粘度为90-105s，涂布厚度为15μm-35μm。

15、作为本发明蚀刻用的组合膜结构的一种改进，第三步中烘烤的温度为85℃-100℃，烘烤时间为5-50min。

16、作为本发明蚀刻用的组合膜结构的一种改进，第四步中，压膜温度为90℃-130℃；压膜压力为4-10kg/cm2，压膜速度为0.8-1.2m/min；显影压力为1-5kg/cm2。

17、作为本发明蚀刻用的组合膜结构的一种改进，第五中，蚀刻用的溶液为三氯化铁和盐酸混合液，二者的质量比为(2-5)：1；蚀刻温度为40℃-55℃，蚀刻喷淋压力为1-5kg/cm2。

18、相对于现有技术，本发明通过巧妙的结构设计，在金属层的表面上形成第一湿膜层和第二湿膜层，再在第一湿膜层和第二湿膜层的表面分别形成第一干膜层和第二干膜层，由于湿膜层渗透性能好，可以渗透到具有表面粗糙度的金属层的各个凹凸位置，大大提高二者之间的结合面积，提高二者之间的结合力。而韧性与粘性好的干膜与湿膜之间也具有良好的结合力，从而使得整个产品结合牢固，不易脱膜。总之，本发明巧妙的将干膜和湿膜组合起来，利用湿膜的强度大、干膜的韧性大的特点，两者相结合做到优势互补，本发明可以用于制作蚀刻压力较大且蚀刻时间较长的产品，可大大提高产品合格率。

技术特征：

1.一种蚀刻用的组合膜结构，其特征在于：从上至下，依次包括第一干膜层、第一湿膜层、金属层、第二湿膜层和第二干膜层，所述金属层的粗糙度为0.05μm-0.5μm。

2.根据权利要求1所述的蚀刻用的组合膜结构，其特征在于：所述第一干膜层和所述第二干膜层的厚度为5-30μm；所述第一湿膜层和所述第二湿膜层的厚度为15μm-35μm。

3.根据权利要求1所述的蚀刻用的组合膜结构，其特征在于：所述第一干膜层和所述第二干膜层的材质为pet，所述第一湿膜层和所述第二湿膜层的材质为油墨，包括树脂、溶剂、添加剂和颜料；

4.根据权利要求1所述的蚀刻用的组合膜结构，其特征在于，所述组合膜结构的制备工艺至少包括如下步骤：

5.根据权利要求4所述的蚀刻用的组合膜结构，其特征在于：第一步中除油液的主要成分为氢氧化钠，浓度为1％-10％，温度为40℃-60℃，清洗后的干燥温度为70℃-90℃。

6.根据权利要求4所述的蚀刻用的组合膜结构，其特征在于：第二步中油墨的粘度为90-105s，涂布厚度为15μm-35μm。

7.根据权利要求4所述的蚀刻用的组合膜结构，其特征在于：第三步中烘烤的温度为85℃-100℃，烘烤时间为5-50min。

8.根据权利要求4所述的蚀刻用的组合膜结构，其特征在于：第四步中，压膜温度为90℃-130℃；压膜压力为4-10kg/cm2，压膜速度为0.8-1.2m/min；显影压力为1-5kg/cm2。

9.根据权利要求4所述的蚀刻用的组合膜结构，其特征在于：第五中，蚀刻用的溶液为三氯化铁和盐酸混合液，二者的质量比为(2-5)：1；蚀刻温度为40℃-55℃，蚀刻喷淋压力为1-5kg/cm2。

技术总结本发明属于蚀刻技术领域，尤其涉及一种蚀刻用的组合膜结构，从上至下，依次包括第一干膜层、第一湿膜层、金属层、第二湿膜层和第二干膜层，所述金属层的粗糙度为0.05μm‑0.5μm。相对于现有技术，本发明通过巧妙的结构设计，在金属层的表面上形成第一湿膜层和第二湿膜层，再在第一湿膜层和第二湿膜层的表面分别形成第一干膜层和第二干膜层，由于湿膜层渗透性能好，可以渗透到具有表面粗糙度的金属层的各个凹凸位置，大大提高二者之间的结合面积，提高二者之间的结合力。而韧性与粘性好的干膜与湿膜之间也具有良好的结合力，从而使得整个产品结合牢固，不易脱膜。技术研发人员：熊守义,梁峰瑜受保护的技术使用者：东莞市钜升金属科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/11