一种声表面波谐振器及声表面波滤波器的制作方法

本发明实施例涉及声表面波，尤其涉及一种声表面波谐振器及声表面波滤波器。

背景技术：

1、在声表面波谐振器中，电信号施加在叉指换能器的叉指电极上激发声表面波信号，激励的声表面波信号向叉指电极的两侧传播，并在声表面波谐振器边界处发生反射形成反射波，声表面波的入射波与反射波耦合导致在低于谐振频率的频域内形成纵波响应。

2、声表面波谐振器包括叉指换能器和反射栅，反射栅位于叉指换能器的相互对置的两侧，且反射栅位于产生的声表面波的传播方向上。其中，叉指换能器包括多个叉指电极，反射栅包括多个反射栅电极。在此定义：在声表面波的传播方向上，相邻两个叉指电极的中心线之间的距离为第一距离，叉指电极的宽度与叉指电极的第一距离的比值为第一占空比，相邻两个反射栅电极之间的距离为第二距离，反射栅电极的宽度与反射栅电极的第二距离的比值为第二占空比。现有的声表面波谐振器的叉指换能器中的叉指电极是周期排布的，反射栅中的反射栅电极是周期排布的，且叉指电极的第一距离与反射栅电极的第二距离相同，叉指电极的第一占空比与反射栅电极的第二占空比相同，如此形成常规同步声表面波谐振器。

3、但是，在此常规同步声表面波谐振器的电学特性中，在其谐振器频率靠近低频侧会存在大量的纵波寄生响应。这会导致由上述声表面波谐振器构建的声表面波滤波器的通频带的电学曲线上出现大量的毛刺响应，影响声表面波滤波器的带内插入损耗和带内纹波等特性，同时还会影响通频带外衰减度。

4、起因于此，为抑制声表面波滤波器的插损、纹波、衰减等特性的劣化，需要对声表面波谐振器中的纵波寄生响应进行抑制或减弱。

技术实现思路

1、本发明实施例提供一种声表面波谐振器及声表面波滤波器。将声表面波谐振器的叉指换能器划分为多个电极区域，至少两个电极区域中的叉指电极的第一距离不相同，和/或，至少两个电极区域中的叉指电极的第一占空比不相同，能够实现在声表面波谐振器的谐振频率的低频侧对纵波寄生响应在较宽频域的抑制，减少谐振频率的低频侧的纵波寄生响应。

2、第一方面，本发明实施例提供了一种声表面波谐振器，包括压电性衬底以及设置于所述压电性衬底的一侧表面上的叉指换能器；所述叉指换能器用于产生声表面波；

3、所述叉指换能器包括在第一方向上排列的多个电极区域，所述电极区域中包括沿所述第一方向交替排列的叉指电极和间隙；其中，所述第一方向平行于所述声表面波的传播方向；

4、同一所述电极区域中的所述叉指电极的第一距离相同，至少两个所述电极区域中的所述叉指电极的第一距离不相同；其中，所述第一距离为在所述第一方向上，相邻的两个所述叉指电极的中心线之间的距离，或者，所述第一距离为在所述第一方向上，相邻的两个所述间隙的中心线之间的距离；

5、和/或，同一所述电极区域中的所述叉指电极的第一占空比相同，至少两个所述电极区域中的所述叉指电极的第一占空比不相同；其中，所述第一占空比为在所述第一方向上，所述叉指电极的宽度与所述叉指电极的第一距离的比值。

6、第二方面，本发明实施例还提供了一种声表面波滤波器，包括如第一方面中任一项所述的声表面波谐振器。

7、本发明实施例提供了一种声表面波谐振器及声表面波滤波器，该声表面波谐振器包括压电性衬底以及设置于压电性衬底的一侧表面上的叉指换能器；叉指换能器用于产生声表面波；叉指换能器包括在第一方向上排列的多个电极区域，电极区域中包括沿第一方向交替排列的叉指电极和间隙；其中，第一方向平行于声表面波的传播方向；同一电极区域中的叉指电极的第一距离相同，至少两个电极区域中的叉指电极的第一距离不相同；其中，第一距离为在第一方向上，相邻的两个叉指电极的中心线之间的距离，或者，第一距离为在第一方向上，相邻的两个间隙的中心线之间的距离；和/或，同一电极区域中的叉指电极的第一占空比相同，至少两个电极区域中的叉指电极的第一占空比不相同；其中，第一占空比为在第一方向上，叉指电极的宽度与叉指电极的第一距离的比值。该声表面波谐振器将叉指换能器划分为多个电极区域，并限定至少两个电极区域中的叉指电极的第一距离不相同，和/或，至少两个电极区域中的叉指电极的第一占空比不相同，如此，由于第一距离和/或第一占空比的不同，使得声表面波谐振器中的声表面波的入射波与反射波的相位发生偏移，使得在谐振频率的低频侧频域内不能发生强耦合，实现了在谐振频率的低频侧对纵波寄生响应在较宽频域的抑制，减少了谐振频率的低频侧的纵波寄生响应，以便于获得平滑性较好的导纳特性曲线，且不会导致谐振频率的偏移的情况，避免了应用该声表面波谐振器制备得到的声表面波滤波器的通频带的带内插入损耗和带内纹波、带外衰减等特性的劣化的问题。

技术特征：

1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括压电性衬底以及设置于所述压电性衬底的一侧表面上的叉指换能器；所述叉指换能器用于产生声表面波；

2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，多个所述电极区域包括中间电极区域和至少两个侧边电极区域，且在所述第一方向上，所述侧边电极区域分布于所述中间电极区域的相互对置的两侧；其中，所述叉指换能器在所述第一方向上的中心线位于所述中间电极区域中；

3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述中间电极区域中的所述叉指电极的第一距离大于或等于所述侧边电极区域中的所述叉指电极的第一距离；

4.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述侧边电极区域的数量为2个或4个。

5.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，多个所述电极区域包括沿所述第一方向交替排列的第一电极区域和第二电极区域；

6.根据权利要求5所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一电极区域中的所述叉指电极的数量大于或等于2个；

7.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，在所述第一方向上排列的所述叉指电极包括相互交错插入的第一电极和第二电极；

8.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，还包括第一反射栅和第二反射栅；

9.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述压电性衬底包括压电材料层；所述叉指换能器位于所述压电材料层的一侧表面上；

10.一种声表面波滤波器，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的声表面波谐振器。

技术总结本发明公开了一种声表面波谐振器及声表面波滤波器，该声表面波谐振器包括压电性衬底以及设置于压电性衬底的一侧表面上的叉指换能器；叉指换能器包括在第一方向上排列的多个电极区域，电极区域中包括交替排列的叉指电极和间隙；其中，第一方向平行于声表面波的传播方向；同一电极区域中的叉指电极的第一距离相同，至少两个电极区域中的叉指电极的第一距离不相同；和/或，同一电极区域中的叉指电极的第一占空比相同，至少两个电极区域中的叉指电极的第一占空比不相同。该声表面波谐振器的叉指换能器存在不同的电极区域设置，声表面波的入射波与反射波相位发生偏移，使得在谐振频率的低频侧频域内不能发生强耦合，实现纵波寄生响应的抑制。技术研发人员：姜建利,梁丹,马阳阳,许佳辉受保护的技术使用者：天通瑞宏科技有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/18