一种小型化手动匹配器的制作方法

本技术涉及手动匹配器，尤其涉及一种小型化手动匹配器。

背景技术：

1、在许多大学实验室中，经常会使用射频电源对材料表面进行清洗，标准的500w射频电源对于客户来说功率过高，体积偏大，设备的性能过剩，造成一些不必要的浪费。本实用新型将研发一款新型mini手动匹配器，针对客户的负载设计其高频电路，优化匹配器的匹配范围和电路结构。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种小型化手动匹配器。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

3、一种小型化手动匹配器，包括前面板，所述前面板的一侧固定连接有底壳，所述底壳的一端固定连接有后面板，所述前面板与后面板的顶端通过盖板连接固定；

4、所述前面板与后面板之间分别对称设置有支撑架一与支撑架二，所述支撑架一上安装有电容c1，所述支撑架二上安装有电容c2，所述电容c1与电容c2之间安装有电感线圈l。

5、优选的，所述电容c1的输出端连接有射频输入接口，所述电容c2的输出端连接有射频输出接口，所述电容c1与电容c2靠近前面板的一端均连接有转换头。

6、优选的，所述射频输入接口的一端连接在电容c1上，电容c1的负极与接地端gnd连接，电容c1的一端还并联有电容c3，所述电容c3的负极与接地端gnd连接，所述电容c3的一端连接在电感线圈l上，所述电感线圈l的一端还串联有电容c2，所述电容c2的一端连接在射频输出接口上。

7、优选的，所述电容c1与电容c2均为空气可调电容，型号为cb-c-140，耐压为1kv，电容c3为固定云母电容，电感线圈l为固定电感。

8、优选的，两个所述转换头均采用聚四氟乙烯材质。

9、优选的，所述前面板与盖板、底壳之间通过沉头螺钉与压铆螺母连接固定，所述后面板与盖板、底壳之间通过沉头螺钉与压铆螺母连接固定，并组成一个psg-mini匹配器，所述psg-mini匹配器的长宽高为117mm*135mm*64mm。

10、本实用新型的有益效果是：

11、通过采用容量和体积较小的空气电容c1和c2作为可调电容，增加了接地电容容量，并针对负载并联一个固定云母电容c3以及串联一个固定电感线圈l，进而满足了满足负载时的匹配要求，通过在电容c1与电容c2的一端套接上聚四氟乙烯材质的转接头，从而保证了客户在调节电容过程时的安全问题，起到一定的绝缘作用，通过优化该匹配器的匹配范围，减少了电容c1与电容c2的调节范围，从而使得在使用该匹配器时能够更快更精准的找到匹配点，进而提高了工作效率，有益于满足射频电源的匹配要求。

技术特征：

1.一种小型化手动匹配器，包括前面板(1)，其特征在于，所述前面板(1)的一侧固定连接有底壳(6)，所述底壳(6)的一端固定连接有后面板(4)，所述前面板(1)与后面板(4)的顶端通过盖板(5)连接固定；

2.根据权利要求1所述的一种小型化手动匹配器，其特征在于，所述电容c1的输出端连接有射频输入接口(8)，所述电容c2的输出端连接有射频输出接口(9)，所述电容c1与电容c2靠近前面板(1)的一端均连接有转换头(7)。

3.根据权利要求2所述的一种小型化手动匹配器，其特征在于，所述射频输入接口(8)的一端连接在电容c1上，电容c1的负极与接地端gnd连接，电容c1的一端还并联有电容c3，所述电容c3的负极与接地端gnd连接，所述电容c3的一端连接在电感线圈l上，所述电感线圈l的一端还串联有电容c2，所述电容c2的一端连接在射频输出接口(9)上。

4.根据权利要求3所述的一种小型化手动匹配器，其特征在于，所述电容c1与电容c2均为空气可调电容，型号为cb-c-140，耐压为1kv，电容c3为固定云母电容，电感线圈l为固定电感。

5.根据权利要求2所述的一种小型化手动匹配器，其特征在于，两个所述转换头(7)均采用聚四氟乙烯材质。

6.根据权利要求1所述的一种小型化手动匹配器，其特征在于，所述前面板(1)与盖板(5)、底壳(6)之间通过沉头螺钉与压铆螺母连接固定，所述后面板(4)与盖板(5)、底壳(6)之间通过沉头螺钉与压铆螺母连接固定，并组成一个psg-mini匹配器，所述psg-mini匹配器的长宽高为117mm*135mm*64mm。

技术总结本技术涉及手动匹配器技术领域，尤其涉及一种小型化手动匹配器，包括前面板，所述前面板的一侧固定连接有底壳，所述底壳的一端固定连接有后面板，所述前面板与后面板的顶端通过盖板连接固定。通过采用容量和体积较小的空气电容C1和C2作为可调电容，增加了接地电容容量，并针对负载并联一个固定云母电容C3以及串联一个固定电感线圈L，进而满足了满足负载时的匹配要求，通过在电容C1与电容C2的一端套接上聚四氟乙烯材质的转接头，从而保证了客户在调节电容过程时的安全问题，起到一定的绝缘作用。技术研发人员：项亮,张龙华受保护的技术使用者：常州瑞思杰尔电子科技有限公司技术研发日：20231123技术公布日：2024/7/18