一种滤波器及其制备方法与流程

本发明涉及滤波器的，尤其涉及一种滤波器及其制备方法。

背景技术：

1、滤波器是一种选频装置，可以使信号中特定的频率成分通过，而极大地衰减其他频率成分。在滤波器的工作过程中，容易产生较多的热量，较高的热量会导致的器件工作功率低的问题。所以为了保证滤波器的工作稳定性，需要提高谐振器的散热性能。

技术实现思路

1、本发明实施例提供了一种滤波器及其制备方法，通过在压电层的散热凹槽中增设散热结构，保证滤波器的散热效果。

2、第一方面，本发明实施例提供一种滤波器，包括衬底结构、谐振堆叠结构、散热结构、连接结构和基板结构；

3、所述衬底结构包括衬底单元和至少一个空腔单元，所述空腔单元贯穿部分所述衬底单元；

4、所述谐振堆叠结构包括电极层和压电层，所述电极层包括第一电极和第二电极；所述第一电极位于所述衬底单元的一侧，并且部分所述第一电极与所述空腔单元贴合；所述压电层位于所述第一电极远离所述衬底单元的一侧，所述第二电极位于所述压电层远离所述第一电极的一侧；其中，所述压电层包括散热凹槽，所述散热凹槽贯穿至少部分所述压电层；沿所述滤波器的厚度方向，所以散热凹槽的投影与所述空腔单元的投影不交叠，所述散热凹槽的投影与所述电极层的投影不交叠；

5、所述散热结构位于所述散热凹槽内；

6、所述连接结构包括第一连接单元和第二连接单元，所述第一连接单元的第一端与所述第二电极电连接，所述第一连接单元的第二端与端口电连接；所述第二连接单元的第一端与所述散热结构电连接，所述第二连接单元的第二端与散热芯片电连接；

7、所述基板结构包括第一过孔和第二过孔，所述第一连接单元填充所述第一过孔，所述第二连接单元填充所述第二过孔。

8、可选的，所述衬底结构包括多个空腔单元；所述滤波器包括散热结构设置区，所述散热结构设置区包括至少一个所述散热结构；

9、多个所述空腔单元至少部分围绕所述散热结构设置区。

10、可选的，所述滤波器包括多个所述散热结构；所述衬底结构包括空腔单元设置区，所述空腔单元设置区包括至少一个所述空腔单元；

11、多个所述散热结构至少部分围绕所述空腔单元设置区。

12、可选的，沿所述滤波器的厚度方向，所述压电层的厚度为h1，所述散热凹槽的厚度为h2；

13、其中，h2≤h1。

14、可选的，所述散热凹槽包括相互连接的底面和侧面；

15、所述散热结构包括第一散热分部，所述第一散热分部位于所述底面；

16、或者，所述散热结构包括相互连接的第一散热分部和第二散热分部，所述第一散热分部位于所述底面，所述第二散热分部位于所述侧面。

17、可选的，沿垂直于所述滤波器的厚度方向，所述散热结构与所述空腔单元的最小距离为l；

18、其中，5微米≤l≤10微米。

19、可选的，所述散热结构的材质包括钼、金或者铜中至少一种。

20、可选的，所述连接结构的材质包括铜、钛或金中至少一种。

21、第二方面，本发明实施例提供一种滤波器的制备方法，用于制备第一方面任一项所述的滤波器，所述制备方法包括：

22、提供衬底结构，所述衬底结构包括衬底单元和至少一个空腔单元，所述空腔单元贯穿部分所述衬底单元；

23、制备谐振堆叠结构，所述谐振堆叠结构包括电极层和压电层，所述电极层包括第一电极和第二电极；所述第一电极位于所述衬底单元的一侧，并且部分所述第一电极与所述空腔单元贴合；所述压电层位于所述第一电极远离所述衬底单元的一侧，所述第二电极位于所述压电层远离所述第一电极的一侧；

24、制备散热凹槽，所述压电层包括散热凹槽，所述散热凹槽贯穿至少部分所述压电层；沿所述滤波器的厚度方向，所以散热凹槽的投影与所述空腔单元的投影不交叠，所述散热凹槽的投影与所述电极层的投影不交叠；

25、制备散热结构，所述散热结构位于所述散热凹槽内；

26、制备基板结构和连接结构；所述连接结构包括第一连接单元和第二连接单元，所述第一连接单元的第一端与所述第二电极电连接，所述第一连接单元的第二端与端口电连接；所述第二连接单元的第一端与所述散热结构电连接，所述第二连接单元的第二端与散热芯片电连接；所述基板结构包括第一过孔和第二过孔，所述第一连接单元填充所述第一过孔，所述第二连接单元填充所述第二过孔。

27、可选的，制备散热凹槽之前，还包括：

28、根据所述滤波器的热量释放功率，获取所述散热凹槽的设置位置。

29、本发明实施例提供一种滤波器，滤波器的谐振堆叠结构包括电极层和压电层，在压电层中包括散热凹槽，散热凹槽贯穿至少部分压电层，并且散热结构设置在散热凹槽中；进一步的，滤波器的连接结构中的第二连接单元通过基板结构中的第二过孔与散热芯片电连接。基板结构中的第二过孔可以将部分热量进行散出，同时结合设置的散热结构，可以加强滤波器整体的散热效果，保证滤波器中产生的热量可以及时的排处，进而保证滤波器的工作稳定性。

技术特征：

1.一种滤波器，其特征在于，包括衬底结构、谐振堆叠结构、散热结构、连接结构和基板结构；

2.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述衬底结构包括多个空腔单元；所述滤波器包括散热结构设置区，所述散热结构设置区包括至少一个所述散热结构；

3.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述滤波器包括多个所述散热结构；所述衬底结构包括空腔单元设置区，所述空腔单元设置区包括至少一个所述空腔单元；

4.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，沿所述滤波器的厚度方向，所述压电层的厚度为h1，所述散热凹槽的厚度为h2；

5.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述散热凹槽包括相互连接的底面和侧面；

6.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，沿垂直于所述滤波器的厚度方向，所述散热结构与所述空腔单元的最小距离为l；

7.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述散热结构的材质包括钼、金或者铜中至少一种。

8.根据权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述连接结构的材质包括铜、钛或金中至少一种。

9.一种滤波器的制备方法，用于制备权利要求1-8任一项所述的滤波器，其特征在于，所述制备方法包括：

10.根据权利要求9所述的制备方法，其特征在于，制备散热凹槽之前，还包括：

技术总结本发明实施例公开了一种滤波器及其制备方法，滤波器包括衬底结构、谐振堆叠结构、散热结构、连接结构和基板结构；衬底结构包括衬底单元和至少一个空腔单元，空腔单元贯穿部分衬底单元；谐振堆叠结构包括电极层和压电层，其中，压电层包括散热凹槽，散热凹槽贯穿至少部分压电层；沿滤波器的厚度方向，散热凹槽的投影与空腔单元的投影不交叠，散热凹槽的投影与电极层的投影不交叠；散热结构位于散热凹槽内；连接结构包括第一连接单元和第二连接单元；端口通过第一连接单元与电极层电连接，散热芯片通过第二连接单元与散热结构电连接。调整散热结构的位置，保证滤波器的散热效果。技术研发人员：王雅馨,蔡耀,杨婷婷,代金豪,杨超翔,刘炎,孙博文,孙成亮受保护的技术使用者：武汉敏声新技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/7/25