一种高频感应电源用屏蔽柜

本技术涉及电控屏蔽柜，具体涉及一种用于等离子球化设备的高频感应电源用屏蔽柜。

背景技术：

1、当电离过程频繁发生，使电子和阳离子的浓度达到一定的数值时，物质的状态也就起了根本的变化，它的性质也变得与气体完全不同。为区别于固体、液体和气体这三种状态，我们称物质的这种状态为物质的第四态，又起名叫等离子态。温度不断升高，气体这时构成分子的原子发生分离，形成为独立的原子，如氮分子会分裂成两个氮原子，我们称这种过程为气体中分子的离解。如果再进一步升高温度，原子中的电子就会从原子中剥离出来，成为带正电荷的原子核和带负电荷的电子，这个过程称为原子的电离。

2、等离子体球化处理技术的原理是：利用热等离子的高温环境，载气将粉体送入高温等离子体中，粉体颗粒迅速吸热后表面（或整体）熔融，并在表面张力作用下缩聚成球形液滴，进入冷却室后骤冷凝固而将球形固定下来，从而获得球形粉体。

3、高频感应电源是等离子产生必要部件，高频感应电源在启动及工作时，有一部分能量以电磁波的形式向空间辐射，形成高频电磁场，对电源周围的空间造成电磁污染。高频电磁辐射对人体有多种危害，长期处于高电磁辐射的环境中，会使血液、淋巴液和细胞原生质发生改变，严重的可导致白血病的产生。

4、国家制定了相关的标准，如gb8702-2014《电磁环境控制限值》，以保护人员的健康。因此对于用于等离子球化设备的高频感应电源的柜体要求具有屏蔽功能，以符合上述标准。

5、而当下常规的屏蔽措施，难以有效地屏蔽高频感应电源启动时产生的高频电磁辐射。

技术实现思路

1、本申请提供一种用于等离子球化设备的高频感应电源用屏蔽柜，应用于等离子球化实验的高频感应电源装载在具有屏蔽作用外壳的屏蔽柜中，从而有效减少感应电源启动时产生的电磁辐射等不利因素的影响，确保在等离子球化设备周围的人员的安全。

2、根据本申请的一方面，一种实施例中提供一种高频感应电源用屏蔽柜，所述屏蔽柜，包括屏蔽柜体，所述屏蔽柜体上开有屏蔽柜门，所述屏蔽柜体内部设置有屏蔽箱，屏蔽箱内设置感应电源高频回路，所述屏蔽柜体和屏蔽箱上均设置有双管道头式线路通道，所述屏蔽柜体和屏蔽箱均用内表面和外表面均导电的复合板材制成，让屏蔽柜和置于屏蔽柜内的屏蔽箱，均形成法拉第笼，所述屏蔽柜和屏蔽箱上设置有穿过双管道头式线路通道并连接在一起的导线，让两种法拉第笼处于同一等电位上，为了两种法拉笼的性能最佳，所述导线与大地连通，形成地线，高频感应电源产生高频电磁波经过两种套在一起的法拉第笼的屏蔽，不会泄漏到屏蔽柜外。

3、在一些实施例中，所述复合板材有由五层材料堆叠组成，其中作为内表面和外表面的两层与最中间的一层用导电的金属材料制成，其余两层用不导电的绝缘材料制成。

4、在一些实施例中，所述复合板材由内而外，第一层为铜网、第二层为石棉或橡胶垫等绝缘材料、第三层为铝板、第四层为石棉或橡胶垫等绝缘材料、第五层铁镍合金板或坡莫合金板等合金材料。

5、在一些实施例中，所述复合板材的每一层材料厚度≥5 mm。

6、在一些实施例中，所述复合板材中绝缘材料层单层电阻值>10 kω。

7、在一些实施例中，所述屏蔽柜体和屏蔽箱在设置有双管道头式线路通道的复合板材上开有通孔，所述通孔的直径稍大于双管道头式线路通道的内径。

8、在一些实施例中，所述双管道头式线路通道，包括两个完全相同的管道头式线路通道，所述管道头式线路通道，包括金属管和塑料管，所述金属管为一端外径大另一端外径小的大头管，所述塑料管设置在金属管外径小的一端，两个所述管道头式线路通道以对称的方式设置在屏蔽柜体和屏蔽箱的复合板材有通孔的两侧。

9、在一些实施例中，所述屏蔽柜体在与屏蔽柜门接触的部位采用内凹式设计，即屏蔽柜体与屏蔽柜门接触区域向屏蔽柜内部扩展，并与屏蔽柜侧门边缘形状契合。

10、在一些实施例中，所述屏蔽柜门的边缘设置有密封条，所述密封条的材质为铍铜，所述密封条的宽度>50 mm。

11、在一些实施例中，所述屏蔽柜体设置在木质底托上，所述屏蔽柜体内部设置有木质支架，用于固定放置感应电源其他元部件，所述屏蔽箱底部设置有塑料底托，通过塑料底托放置在屏蔽柜体内部，所述屏蔽柜体外包裹一层橡胶垫，一层橡胶垫的电阻>10 kω。

12、依据上述实施例的一种高频感应电源用屏蔽柜，通过大法拉第笼套小法拉第笼的方式，实现了优异的对高频电磁场优异的屏蔽性能，有效的防止了高频电磁辐射外泄，确保了等离子球化设备周围的人员的安全。

技术特征：

1.一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述屏蔽柜，包括屏蔽柜体，所述屏蔽柜体上开有屏蔽柜门，所述屏蔽柜体内部设置有屏蔽箱，屏蔽箱内设置感应电源高频回路，所述屏蔽柜体和屏蔽箱上均设置有双管道头式线路通道，所述屏蔽柜体和屏蔽箱均用内表面和外表面均导电的复合板材制成，屏蔽柜和置于屏蔽柜内的屏蔽箱，均形成法拉第笼，所述屏蔽柜和屏蔽箱上设置有穿过双管道头式线路通道并连接在一起的导线，两个法拉第笼处于同一等电位上，所述导线与大地连通。

2.根据权利要求1所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述复合板材有由五层材料堆叠组成，其中作为内表面和外表面的两层与最中间的一层用导电的金属材料制成，其余两层用不导电的绝缘材料制成。

3.根据权利要求2所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述复合板材由内而外，第一层为铜网、第二层为石棉或橡胶垫绝缘材料、第三层为铝板、第四层为石棉或橡胶垫绝缘材料、第五层铁镍合金板或坡莫合金板合金材料。

4.根据权利要求3所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述复合板材的每一层材料厚度≥5 mm。

5.根据权利要求3所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述复合板材中绝缘材料层单层电阻值>10 kω。

6.根据权利要求1所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述屏蔽柜体和屏蔽箱在设置有双管道头式线路通道的复合板材上开有通孔，所述通孔的直径稍大于双管道头式线路通道的内径。

7.根据权利要求6所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述双管道头式线路通道，包括两个完全相同的管道头式线路通道，所述管道头式线路通道，包括金属管和塑料管，所述金属管为一端外径大另一端外径小的大头管，所述塑料管设置在金属管外径小的一端，两个所述管道头式线路通道以对称的方式设置在屏蔽柜体和屏蔽箱的复合板材有通孔的两侧。

8.根据权利要求1所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述屏蔽柜体在与屏蔽柜门接触的部位采用内凹式设计。

9.根据权利要求8所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述屏蔽柜门的边缘设置有密封条，所述密封条的材质为铍铜，所述密封条的宽度>50 mm。

10.根据权利要求1所述的一种高频感应电源用屏蔽柜，其特征在于：所述屏蔽柜体设置在木质底托上，所述屏蔽柜体内部设置有木质支架，用于固定放置感应电源其他元部件，所述屏蔽箱底部设置有塑料底托，通过塑料底托放置在屏蔽柜体内部，所述屏蔽柜体外包裹一层橡胶垫，一层橡胶垫的电阻>10 kω。

技术总结一种高频感应电源用屏蔽柜，所述屏蔽柜，包括屏蔽柜体，所述屏蔽柜体上开有屏蔽柜门，所述屏蔽柜体内部设置有屏蔽箱，屏蔽箱内设置感应电源高频回路，所述屏蔽柜体和屏蔽箱上均设置有双管道头式线路通道，所述屏蔽柜体和屏蔽箱均用内表面和外表面均导电的复合板材制成，让屏蔽柜和置于屏蔽柜内的屏蔽箱，均形成法拉第笼，所述屏蔽柜和屏蔽箱上设置有穿过双管道头式线路通道并连接在一起的导线，让两种法拉第笼处于同一等电位上，为了两种法拉笼的性能最佳，所述导线与大地连通。本技术通过大法拉第笼套小法拉第笼的方式，实现了优异的对高频电磁场优异的屏蔽性能，有效的防止了高频电磁辐射外泄，确保了等离子球化设备周围的人员的安全。技术研发人员：舒永春,郝振华,马如龙,刘洋,王培受保护的技术使用者：郑州大学技术研发日：20230905技术公布日：2024/7/25