一种晶圆测试装置的加热结构及晶圆测试装置的制作方法

本技术涉及晶圆测试，特别是涉及一种晶圆测试装置的加热结构及晶圆测试装置。

背景技术：

1、传统的晶圆测试装置，通过将加热棒沿加热装置的周向间隔开布置，以对夹具内的晶圆进行加热，所有的加热棒的一端均位于靠近加热装置的中心处，这样的加热方式虽然能满足目前的工艺需求，但会导致加热装置的中心位置的温度高于边缘处的温度，会出现老化夹具底座中心温度偏高，受热不均匀的情况。这样会造成晶圆表面受热不均匀，从而影响晶圆测试的准确性。

技术实现思路

1、本实用新型第一方面的目的是要提供一种晶圆测试装置的加热结构，解决晶圆老化夹具受热不均匀的技术问题。

2、本实用新型第二方面的目的是提供一种包括上述加热结构的晶圆测试装置。

3、根据本实用新型第一方面的目的，本实用新型提供了一种晶圆测试装置的加热结构，包括：

4、基座，所述基座的内部具有多个安装位；

5、多组加热组件，分别安装在所述多个安装位处，每组所述加热组件包括至少一个加热棒，多组所述加热组件呈三角形布置。

6、可选地，每组所述加热组件包括多个所述加热棒，多个所述加热棒间隔开布置，所述加热棒包括棒体和与所述棒体连接的电线。

7、可选地，每组所述加热组件中多个所述加热棒的所述棒体的长度一致。

8、可选地，每组所述加热组件中多个所述加热棒的所述棒体共同形成平行四边形。

9、可选地，每组所述加热组件中多个所述加热棒的端部错开布置，且多个所述加热棒等间距布置。

10、可选地，所述基座包括盖板和位于所述盖板下方的底板，所述盖板的底部设有多个用于安装所述加热棒的安装槽。

11、可选地，所述安装槽内填充有导热材料。

12、可选地，所述底板上设有多个贯穿孔，每个所述贯穿孔与一个所述加热棒对应布置。

13、可选地，所述贯穿孔位于对应的所述加热棒的所述棒体与所述电线的连接处，且与对应的所述加热棒所在的所述安装槽连通。

14、根据本实用新型第二方面的目的，本实用新型提供了一种晶圆测试装置，该晶圆测试装置包括上述的加热结构。

15、本实用新型中，将多组加热组件安装在基座的多个安装位上，且每组加热组件设置至少一个加热棒，将多组加热组件布置成三角形，使得加热棒分散布置，各组加热组件对加热结构的中心位置由加热棒的棒身均匀传热，避免所有加热棒的端部集中靠近于加热结构的中心位置而导致中心位置的温度过高，以使得加热组件的热量传递均匀，传热效果好，从而能够使得夹具内的晶圆受热均匀。

16、根据下文结合附图对本实用新型具体实施例的详细描述，本领域技术人员将会更加明了本实用新型的上述以及其他目的、优点和特征。

技术特征：

1.一种晶圆测试装置的加热结构，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的加热结构，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的加热结构，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的加热结构，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的加热结构，其特征在于，

6.根据权利要求2-5中任一项所述的加热结构，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的加热结构，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的加热结构，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的加热结构，其特征在于，

10.一种晶圆测试装置，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的加热结构。

技术总结本技术提供了一种晶圆测试装置的加热结构及晶圆测试装置，涉及晶圆测试技术领域。本技术将多组加热组件安装在基座的多个安装位上，且每组加热组件设置至少一个加热棒，将多组加热组件呈三角形布置，使得加热棒分散布置，各组加热组件对加热结构的中心位置由加热棒的棒身均匀传热，避免所有加热棒的端部集中靠近于加热结构的中心位置而导致中心位置的温度过高，以使得加热组件的热量传递均匀，传热效果好，从而能够使得夹具内的晶圆受热均匀。技术研发人员：廉哲,马飞,周斌,郭孝明,徐鹏嵩受保护的技术使用者：苏州联讯仪器股份有限公司技术研发日：20231031技术公布日：2024/8/1