一种尾气稀释装置的制作方法

本技术涉及半导体设备，尤其涉及一种尾气稀释装置。

背景技术：

1、随着半导体行业的日益发展，在半导体产品的生产制备过程中，原物料或副产物中含有多种危害性气体。示例性地，在半导体工厂中使用氟化物溶液进行蚀刻和清洗，会产生氟化氢等氟化物尾气。氟化物尾气对人体有刺激性，可能导致眼、鼻、喉部不适，甚至引起氟化物中毒。在半导体工厂中的高温炉、燃烧设备等会产生氮氧化物尾气。氮氧化物尾气对环境有害，会导致酸雨、光化学烟雾等问题，同时也对人体健康有影响，可能引起呼吸道疾病。在半导体工厂中使用的溶剂、清洗剂等会产生挥发性有机化合物尾气。这些有机化合物尾气对环境有挥发性有机物的污染，同时也可能对人体健康造成损害，如引起头痛、眼痛、呼吸困难等。

2、为了降低上述尾气对周围环境造成污染，同时也降低人体接触到有害物质的风险，在现有技术中，对于上述尾气的排放处理通常会使用氮气对需要排放的尾气进行稀释，降低尾气中的危害性气体的浓度后，再将尾气接入尾气处理装置进行处理。然而，在将氮气充入尾气排放管道的过程中，如果尾气排放管道中的尾气气压过大时，将会导致尾气沿氮气充入的管道进入装载氮气的装置内部，尾气中的某些危害性气体可能对装载氮气的装置造成腐蚀，可能导致装载氮气的装置发生故障，甚至发生氮气泄漏。

3、因此，亟需研究一种尾气稀释装置来解决上述问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种尾气稀释装置，能够防止第二管道的气体流入第一管道内部，保证气体只能沿第一管道流向第二管道的单向流动，避免尾气进入第一装置内部，对第一装置造成腐蚀，引发第一装置的故障。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、一种尾气稀释装置，定义装载氮气的装置为第一装置，定义装载尾气的装置为第二装置，定义处理尾气的装置为第三装置，所述第二装置与所述第三装置之间连通有排气管道，尾气由所述第二装置经过所述排气管道排至所述第三装置，所述尾气稀释装置包括：

4、底座；

5、第一管道，所述第一管道的一端与所述第一装置连通；

6、第二管道，所述第二管道的一端与所述排气管道的内部连通；

7、逆止组件，所述逆止组件连接于所述底座，所述逆止组件的流入端与所述第一管道的另一端连通，所述逆止组件的流出端与所述第二管道的另一端连通，所述逆止组件用于防止所述第二管道的气体流入所述第一管道。

8、作为优选，所述尾气稀释装置还包括气源开关，所述气源开关处于所述第一装置与所述逆止组件之间，所述气源开关与所述第一管道连通，所述气源开关用于控制所述第一管道的流通与截断。

9、作为优选，所述尾气稀释装置还包括调压组件，所述调压组件与所述底座连接，所述调压组件处于所述第一装置与所述逆止组件之间，所述调压组件与所述第一管道连通，所述调压组件用于调节氮气通过所述第一管道的压力。

10、作为优选，所述尾气稀释装置还包括压力显示件，所述压力显示件与所述调压组件连接，所述压力显示件用于显示所述第一管道内部气体通过时的压力。

11、作为优选，所述尾气稀释装置还包括流量调节显示件，所述流量调节显示件与所述底座连接，所述流量调节显示件处于所述第一装置与所述逆止组件之间，所述流量调节显示件与所述第一管道连通，所述流量调节显示件用于调节并显示通过所述第一管道的气体流量。

12、作为优选，所述逆止组件上设置流向标识，所述流向标识用于指明所述逆止组件内部的流通方向。

13、作为优选，所述尾气稀释装置还包括气源开关、调压组件和流量调节显示件；

14、所述气源开关、所述调压组件、所述流量调节显示件和所述逆止组件沿所述第一装置到所述排气管道的气体流通方向依次设置。

15、作为优选，所述气源开关与所述调压组件之间通过连接管道连通，所述连接管道通过管道固定件连接于所述底座；和/或

16、所述调压组件与所述流量调节显示件之间通过连接管道连通，所述连接管道通过管道固定件连接于所述底座；和/或

17、所述流量调节显示件与所述逆止组件之间通过连接管道连通，所述连接管道通过管道固定件连接于所述底座。

18、作为优选，所述管道固定件包括第一固定块和第二固定块；

19、所述第一固定块与所述底座连接，所述第一固定块上开设有第一凹槽；

20、所述第二固定块能够通过螺钉连接于所述第一固定块，所述第二固定块上开设有第二凹槽；

21、所述连接管道被所述管道固定件固定时，所述第一凹槽与所述第二凹槽围合于所述连接管道侧壁。

22、作为优选，所述调压组件与所述流量调节显示件之间的所述连接管道于所述底座上呈u型结构设置。

23、本实用新型的有益效果：

24、在本实用新型中，将第一装置内部的氮气充入排气管道内部，对排气管道内部的尾气中的危害性气体进行稀释，降低尾气中的危害性气体的浓度后，将尾气排入第三装置对尾气进行处理。第一装置与排气管道之间通过第一管道、逆止组件和第二管道连通来实现气体的传输。正常作业过程中，第一装置内部的氮气由第一管道流经逆止组件和第二管道后流入排气管道内部，对排气管道内部的尾气进行稀释。当排气管道内部的气压大于第二内部的气压时，排气管道内部的尾气将会产生沿第二管道向第一管道流动的趋势，此时，由于逆止组件的设置，能够防止第二管道的气体流入第一管道内部，保证气体只能沿第一管道流向第二管道的单向流动，避免尾气进入第一装置内部，对第一装置造成腐蚀，引发第一装置的故障。

技术特征：

1.一种尾气稀释装置，定义装载氮气的装置为第一装置(110)，定义装载尾气的装置为第二装置(120)，定义处理尾气的装置为第三装置(140)，所述第二装置(120)与所述第三装置(140)之间连通有排气管道(150)，尾气由所述第二装置(120)经过所述排气管道(150)排至所述第三装置(140)，其特征在于，所述尾气稀释装置包括：

2.根据权利要求1所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述尾气稀释装置还包括气源开关(3)，所述气源开关(3)处于所述第一装置(110)与所述逆止组件(2)之间，所述气源开关(3)与所述第一管道(111)连通，所述气源开关(3)用于控制所述第一管道(111)的流通与截断。

3.根据权利要求1所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述尾气稀释装置还包括调压组件(4)，所述调压组件(4)与所述底座(1)连接，所述调压组件(4)处于所述第一装置(110)与所述逆止组件(2)之间，所述调压组件(4)与所述第一管道(111)连通，所述调压组件(4)用于调节氮气通过所述第一管道(111)的压力。

4.根据权利要求3所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述尾气稀释装置还包括压力显示件(5)，所述压力显示件(5)与所述调压组件(4)连接，所述压力显示件(5)用于显示所述第一管道(111)内部气体通过时的压力。

5.根据权利要求1所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述尾气稀释装置还包括流量调节显示件(6)，所述流量调节显示件(6)与所述底座(1)连接，所述流量调节显示件(6)处于所述第一装置(110)与所述逆止组件(2)之间，所述流量调节显示件(6)与所述第一管道(111)连通，所述流量调节显示件(6)用于调节并显示通过所述第一管道(111)的气体流量。

6.根据权利要求1所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述逆止组件(2)上设置流向标识，所述流向标识用于指明所述逆止组件(2)内部的流通方向。

7.根据权利要求1所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述尾气稀释装置还包括气源开关(3)、调压组件(4)和流量调节显示件(6)；

8.根据权利要求7所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述气源开关(3)与所述调压组件(4)之间通过连接管道(7)连通，所述连接管道(7)通过管道固定件(8)连接于所述底座(1)；和/或

9.根据权利要求8所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述管道固定件(8)包括第一固定块(81)和第二固定块(82)；

10.根据权利要求8所述的尾气稀释装置，其特征在于，所述调压组件(4)与所述流量调节显示件(6)之间的所述连接管道(7)于所述底座(1)上呈u型结构设置。

技术总结本技术公开了一种尾气稀释装置，属于半导体设备技术领域。尾气稀释装置包括第一管道、第二管道、逆止组件和底座，第一管道的一端与第一装置连通，第二管道的一端与排气管道的内部连通。逆止组件连接于底座，逆止组件的流入端与第一管道的另一端连通，逆止组件的另一端与第二管道的流出端连通，逆止组件用于防止第二管道的气体流入第一管道。尾气稀释装置能够防止第二管道的气体流入第一管道内部，保证气体只能沿第一管道流向第二管道的单向流动，避免尾气进入第一装置内部，对第一装置造成腐蚀，引发第一装置的故障。技术研发人员：舒城,包文韬受保护的技术使用者：正帆科技（湖州）有限公司技术研发日：20231121技术公布日：2024/8/5