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一种吸附平台的制作方法

  • 国知局
  • 2024-08-19 14:37:14

本技术涉及激光划线,具体为一种吸附平台。

背景技术:

1、在形成钙钛矿电池的串联结构时需要对不同膜层在不同的位置进行划线。功能层的划线可以通过掩膜版、化学蚀刻、机械或者激光划线完成。激光划线可以产生更细的划线区域,目前激光划线已逐渐取代其他划线方法成为主要的划线方法,同时激光设备还可以应用于钙钛矿的膜层清除工序环节。

2、现有技术中,激光划线用基片转运平台多为普通辊式平台,在将基片放置于平台上时,基片落位的瞬间易产生撞击,可能对基片造成损伤。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种吸附平台,以解决上述背景技术中提出的问题。

2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:

3、一种吸附平台,包括吸附平台上板和吸附平台底板,所述吸附平台上板与所述吸附平台底板固定连接,所述吸附平台上板上均匀分布有多个吸附通孔,用于气体的进出。

4、优选的,所述吸附平台上板表面存在粗糙度。

5、优选的,所述吸附平台底板通过开设区域槽,将吸附平台底板分为大小相同的四个区域。

6、优选的,所述吸附平台底板上的四个区域均设有多个底板进出气接气孔。

7、优选的,所述吸附平台上板与所述吸附平台底板固定连接时,连接面对应吸附平台底板上的四个区域分别进行密封处理。

8、优选的,所述吸附平台上板内部对应四个区域分别设有将区域内吸附通孔连通的连通槽。

9、优选的,所述吸附平台上板与所述吸附平台底板长宽尺寸相同,且两端均设有规格相同的防错凹槽。

10、优选的,所述吸附平台上板上均匀设有多条横向凹槽,且吸附平台上板中间设有一条竖向凹槽。

11、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

12、本实用新型采用多孔管道实现对基片的吹浮与吸附,吸附平台分成四个相互独立的工作区域,既可以单个区域单独工作,也可多区域配合、联合工作,根据工作需求进行调整,吹浮时能够有效减少基片落位时与吸附平台接触的瞬间撞击,降低基片损坏的几率,吸附时能够稳定的固定基片,使基片与吸附平台保持高度的平行度,使不同基片在吸附平台转运中的平行度保持一致,便于输送节拍提速。

技术特征:

1.一种吸附平台,其特征在于:包括吸附平台上板(1)和吸附平台底板(2),所述吸附平台底板(2)通过开设区域槽(5),将吸附平台底板(2)分为大小相同的四个区域,所述吸附平台上板(1)与所述吸附平台底板(2)固定连接,所述吸附平台上板(1)上均匀分布有多个吸附通孔(3),用于气体的进出。

2.根据权利要求1所述的一种吸附平台,其特征在于:所述吸附平台上板(1)表面存在粗糙度。

3.根据权利要求2所述的一种吸附平台,其特征在于:所述吸附平台底板(2)上的四个区域均设有多个底板进出气接气孔(4)。

4.根据权利要求3所述的一种吸附平台,其特征在于:所述吸附平台上板(1)与所述吸附平台底板(2)固定连接时,连接面对应吸附平台底板(2)上的四个区域分别进行密封处理。

5.根据权利要求4所述的一种吸附平台,其特征在于:所述吸附平台上板(1)内部对应四个区域分别设有将区域内吸附通孔(3)连通的连通槽(6)。

6.根据权利要求1所述的一种吸附平台,其特征在于:所述吸附平台上板(1)与所述吸附平台底板(2)长宽尺寸相同,且两端均设有规格相同的防错凹槽(7)。

7.根据权利要求1所述的一种吸附平台,其特征在于:所述吸附平台上板(1)上均匀设有多条横向凹槽(8),且吸附平台上板(1)中间设有一条竖向凹槽(9)。

技术总结本技术提供一种吸附平台,包括吸附平台上板和吸附平台底板,所述吸附平台上板与所述吸附平台底板固定连接,所述吸附平台上板上均匀分布有多个吸附通孔,用于气体的进出,本技术采用多孔管道实现对基片的吹浮与吸附,吸附平台分成四个相互独立的工作区域,根据工作需求,既可以单个区域单独工作,也可多区域配合、联合工作,吹浮时能够有效减少基片落位时与吸附平台接触的瞬间撞击,降低基片损坏的几率,吸附时能够稳定的固定基片,使基片与吸附平台保持高度的平行度,使不同基片在吸附平台转运中的平行度保持一致,便于输送节拍提速。技术研发人员:张光宇,陈惟龙,王中超,袁亮亮受保护的技术使用者:南京奥联光能科技有限公司技术研发日:20230915技术公布日:2024/8/16

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