一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置的制作方法

本技术涉及晶圆清洁领域，特别涉及一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置。

背景技术：

1、现有在对晶圆进行化学机械研磨后，需要对晶圆进行清洗，从最初的用去离子水对晶圆进行兆声波清洗，发展到如今利用圆棍状洗擦毛刷和去离子水对晶圆进行物理洗擦，使得晶圆表面的颗粒在洗擦毛刷的刷洗下离开晶圆表面，但现有的洗擦毛刷和清洗装置只能同时作用于晶圆的一部分表面，导致清洗效率较低。因此，如何提供一种高效率的晶圆清洗装置，是本领域技术人员亟需解决的一个技术问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置，解决了现有技术中清洗效率低的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种晶圆清洗毛刷，包括：

3、对应设置的第一毛刷部件和第二毛刷部件；所述第一毛刷部件包括第一毛刷主体、第一旋转部件和第一直线运动部件，所述第二毛刷部件包括第二毛刷主体、第二旋转部件和第二直线运动部件；

4、所述第一旋转部件和所述第一直线运动部件与所述第一毛刷主体连接，所述第二旋转部件和所述第二直线运动部件与所述第二毛刷主体连接，以在清洗晶圆时利用所述第一直线运动部件和所述第二直线运动部件，带动所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体沿相向方向移动，并夹持所述晶圆；

5、所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体均为圆盘状毛刷主体，且所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体相对的表面设置有若干条形刷毛。

6、可选的，所述条形刷毛为由所述圆盘状毛刷部件的圆心，延伸至所述圆盘状毛刷部件的边缘形成的条形刷毛。

7、可选的，所述条形刷毛为由所述圆盘状毛刷部件的圆心，沿弧形延伸至所述圆盘状毛刷部件的边缘，在所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体相对的表面，形成弧形形状的条形刷毛。

8、可选的，所述第一毛刷部件中所述弧形形状的条形刷毛，与所述第二毛刷部件中所述弧形形状的条形刷毛间的弧形朝向相反。

9、可选的，所述条形刷毛中相对所述晶圆进行旋转的方向的一侧，设置有倒角结构。

10、可选的，所述倒角为平面型倒角。

11、可选的，所述第一毛刷主体包括第一毛刷固定架和第一毛刷刷头；所述第二毛刷主体包括第二毛刷固定架和第二毛刷刷头；所述第一毛刷固定架的一侧与所述第一毛刷刷头通过磁吸连接，所述第一旋转部件和所述第一直线运动部件与所述第一毛刷固定架的另一侧连接；

12、所述第二毛刷固定架的一侧与所述第二毛刷刷头通过磁吸连接，所述第二旋转部件和所述第二直线运动部件与所述第二毛刷固定架的另一侧连接。

13、可选的，所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体中的毛刷固定架与毛刷刷头连接的一侧均设置有第一定位销，所述毛刷刷头中均设置有与所述第一定位销契合的第二定位销。

14、本实用新型还提供了一种晶圆清洗装置，包括：

15、至少两个药液喷嘴，以及如上述的晶圆清洗毛刷；

16、所述晶圆清洗毛刷中的第一毛刷部件和第二毛刷部件间设置有晶圆放置区域，所述晶圆放置区域正反两侧的斜外侧，分别设置有至少一个所述药液喷嘴。

17、可选的，所述晶圆放置区域设置有至少一个旋转滚轮，以在清洗晶圆时，带动所述晶圆沿第一旋转方向旋转。

18、可见，本实用新型提供的晶圆清洗毛刷，包括对应设置的第一毛刷部件和第二毛刷部件，第一毛刷部件包括第一毛刷主体、第一旋转部件和第一直线运动部件，第二毛刷部件包括第二毛刷主体、第二旋转部件和第二直线运动部件，第一旋转部件和第一直线运动部件与第一毛刷主体连接，第二旋转部件和第二直线运动部件与第二毛刷主体连接，以在清洗晶圆时利用第一直线运动部件和第二直线运动部件，带动第一毛刷主体和第二毛刷主体沿相向方向移动，并夹持晶圆，第一毛刷主体和第二毛刷主体均为圆盘状毛刷主体，且第一毛刷主体和第二毛刷主体相对的表面设置有若干条形刷毛。本实用新型通过将晶圆清洗毛刷中第一毛刷部件和第二毛刷部件均设置为圆盘状毛刷部件，且将圆盘状毛刷部件中刷毛设置为若干条形刷毛，提高了对晶圆进行清洗的面积，同时提高了对晶圆的清洗效果，进而提高了晶圆的清洗效率。

19、此外，本实用新型还提供了一种晶圆清洗装置，同样具有上述有益效果。

技术特征：

1.一种晶圆清洗毛刷，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的晶圆清洗毛刷，其特征在于，所述条形刷毛为由圆盘状毛刷部件的圆心，延伸至所述圆盘状毛刷部件的边缘形成的条形刷毛。

3.根据权利要求2所述的晶圆清洗毛刷，其特征在于，所述条形刷毛为由所述圆盘状毛刷部件的圆心，沿弧形延伸至所述圆盘状毛刷部件的边缘，在所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体相对的表面，形成弧形形状的条形刷毛。

4.根据权利要求3所述的晶圆清洗毛刷，其特征在于，所述第一毛刷部件中所述弧形形状的条形刷毛，与所述第二毛刷部件中所述弧形形状的条形刷毛间的弧形朝向相反。

5.根据权利要求1至4任一项所述的晶圆清洗毛刷，其特征在于，所述条形刷毛中相对所述晶圆进行旋转的方向的一侧，设置有倒角结构。

6.根据权利要求5所述的晶圆清洗毛刷，其特征在于，所述倒角为平面型倒角。

7.根据权利要求1所述的晶圆清洗毛刷，其特征在于，所述第一毛刷主体包括第一毛刷固定架和第一毛刷刷头；所述第二毛刷主体包括第二毛刷固定架和第二毛刷刷头；所述第一毛刷固定架的一侧与所述第一毛刷刷头通过磁吸连接，所述第一旋转部件和所述第一直线运动部件与所述第一毛刷固定架的另一侧连接；

8.根据权利要求7所述的晶圆清洗毛刷，其特征在于，所述第一毛刷主体和所述第二毛刷主体中的毛刷固定架与毛刷刷头连接的一侧均设置有第一定位销，所述毛刷刷头中均设置有与所述第一定位销契合的第二定位销。

9.一种晶圆清洗装置，其特征在于，包括：

10.根据权利要求9所述的晶圆清洗装置，其特征在于，所述晶圆放置区域设置有至少一个旋转滚轮，以在清洗晶圆时，带动所述晶圆沿第一旋转方向旋转。

技术总结本技术公开了一种晶圆清洗毛刷及晶圆清洗装置，应用于晶圆清洁领域，该晶圆清洗毛刷包括：对应设置的第一毛刷部件和第二毛刷部件；第一毛刷部件包括第一毛刷主体、第一旋转部件和第一直线运动部件，第二毛刷部件包括第二毛刷主体、第二旋转部件和第二直线运动部件；第一旋转部件和第一直线运动部件与第一毛刷主体连接，第二旋转部件和第二直线运动部件与第二毛刷主体连接；第一毛刷主体和第二毛刷主体均为圆盘状毛刷主体，且第一毛刷主体和第二毛刷主体相对的表面设置有若干条形刷毛。本技术通过将晶圆清洗毛刷中第一毛刷部件和第二毛刷部件均设置为圆盘状毛刷部件，且将圆盘状毛刷部件中刷毛设置为若干条形刷毛，提高了晶圆的清洗效率。技术研发人员：请求不公布姓名,请求不公布姓名受保护的技术使用者：星钥（珠海）半导体有限公司技术研发日：20231117技术公布日：2024/8/27