弹性波装置的制作方法

本公开涉及具备压电层(压电体层)的弹性波装置。

背景技术：

1、例如，在专利文献1公开了利用板波的弹性波装置。在专利文献1记载的弹性波装置具备支承体、压电基板、以及idt电极。在支承体设置有空洞部。压电基板设置在支承体上，使得与空洞部重叠。idt电极设置在压电基板上，使得与空洞部重叠。在弹性波装置中，通过idt电极激励板波。空洞部的端缘部不包含与由idt电极激励的板波的传播方向平行地延伸的直线部。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2012-257019号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、近年来，在具有膜片(membrane)构造的弹性波装置中，要求能够减小纹波的弹性波装置。

3、本公开的目的在于，提供一种能够减小纹波的弹性波装置。

4、用于解决问题的技术方案

5、本公开的一个方式的弹性波装置具备：

6、弹性波元件，包含依次层叠的元件基板、压电体层以及功能电极，所述元件基板具有空洞部，所述空洞部设置于在沿着所述元件基板、所述压电体层以及所述功能电极的层叠方向观察的情况下与所述功能电极的一部分重叠的位置；以及

7、安装基板，具有在所述层叠方向上与所述功能电极重叠的接地。

8、发明效果

9、根据本公开，能够提供一种能够减小纹波的弹性波装置。

技术特征：

1.一种弹性波装置，具备：

2.根据权利要求1所述的弹性波装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的弹性波装置，其中，

4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，

5.根据权利要求4所述的弹性波装置，其中，

6.根据权利要求5所述的弹性波装置，其中，

7.根据权利要求5或6所述的弹性波装置，其中，

8.根据权利要求5至7中的任一项所述的弹性波装置，其中，

9.根据权利要求4至8中的任一项所述的弹性波装置，其中，

10.根据权利要求1至4中的任一项所述的弹性波装置，其中，

技术总结弹性波装置具备元件基板、压电体层、设置在压电体层的功能电极、以及安装基板。元件基板在沿着元件基板和所述压电体层的层叠方向观察的情况下与功能电极的至少一部分重叠的位置具有空洞部，安装基板在层叠方向上与功能电极重叠的位置具有接地电极。技术研发人员：铃木博也,山崎直,山路彻受保护的技术使用者：株式会社村田制作所技术研发日：技术公布日：2024/9/12