自动化跨厂搬运方法、跨厂搬运服务器、系统及介质与流程

本发明涉及物料配送，具体涉及一种自动化跨厂搬运方法、跨厂搬运服务器、系统及介质。

背景技术：

1、跨厂搬运，在集成电路扩建新厂时经常用到。比如，由于新厂机台不全，需要把晶圆盒从新厂搬运到旧厂，来执行相应制程。

2、目前，为了实现物料的跨厂搬运，只能由生产助理用手推车把晶圆盒从一个半导体厂搬到另一个半导体厂。

3、然而，上述人工搬运方式，耗时较长，严重影响了生产效率，并且人为搬运容易搬错物料，导致对晶片加工错误而发生产品报废，造成巨大损失。

技术实现思路

1、本发明要解决的问题是：如何实现自动化跨厂搬运。

2、为解决上述问题，本发明提供了一种跨厂搬运系统，所述系统包括：

3、第一跨厂搬运服务器；

4、第二跨厂搬运服务器；

5、以及一个以上桥梁仓储设备；其中：

6、在第一制造执行系统发送物料搬运请求后，由所述第一跨厂搬运服务器，基于所述第一制造执行系统发送的物料搬运请求，生成物料传输请求至第一物料控制系统，使得所述第一物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至第一桥梁仓储设备；

7、在所述第一物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至所述第一桥梁仓储设备后，由所述第二跨厂搬运服务器为第二物料控制系统提供第一待运输晶圆盒的目标搬运地址信息，使得所述第二物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至目标搬运地址；

8、所述桥梁仓储设备，为第一半导体厂及第二半导体厂之间的桥梁仓储设备；所述第一物料控制系统、第一制造执行系统及第一跨厂服务器位于所述第一半导体厂内；所述第二物料控制系统及第二跨厂服务器位于所述第二半导体厂内。

9、可选地，所述系统还包括：第一制造执行系统及第一物料控制系统。

10、可选地，所述系统还包括：第二制造执行系统及第二物料控制系统。

11、本发明还提供了一种跨厂搬运服务器，所述跨厂搬运服务器包括：至少一个自动化搬运模块；

12、所述自动化搬运模块，包括：生成单元及提供单元；其中：

13、所述生成单元，适于在接收到物料搬运请求后，基于所述物料搬运请求，生成物料传输请求至所连接的物料控制系统，由所连接的物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至第一桥梁仓储设备；

14、所述提供单元，适于为所连接的物料控制系统提供目标搬运地址，由所连接的物料控制系统将第二待运输晶圆盒从第二桥梁仓储设备搬运至目标搬运地址；

15、其中，所述第一桥梁仓储设备及第二桥梁存储设备，一端连接第一半导体厂，另一端连接第二半导体厂。

16、可选地，所述生成单元包括：

17、第一获取子单元，适于当接收到物料搬运请求时，获取所述物料搬运请求中的第一半导体厂标识信息及第二半导体厂标识信息；

18、判断子单元，适于基于所述第一半导体厂标识信息及第二半导体厂标识信息，判断所述物料搬运请求是否为跨厂搬运；

19、生成子单元，适于当判定所述物料搬运请求为跨厂搬运时，确定匹配的第一桥梁仓储设备，并以所述第一桥梁仓储设备作为仓储地址，生成物料传输请求至所连接的物料控制系统，由所连接的物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至所述第一桥梁仓储设备。

20、可选地，所述第一半导体厂及所述第二半导体厂之间的桥梁仓储设备为两个以上；所述生成子单元，适于选择优先权配置最高的桥梁仓储设备，作为所述第一桥梁仓储设备。

21、可选地，所述第一半导体厂及所述第二半导体厂之间的桥梁仓储设备为两个以上；所述生成子单元，确定两个以上桥梁仓储设备各自使用的百分比；以及对各桥梁仓储设备使用的百分比作预设逻辑运算，得到符合预设规则的桥梁仓储设备，作为匹配的桥梁仓储设备。

22、可选地，所述提供单元，适于

23、第二获取子单元，适于当接收到所连接的物料控制系统发送的关于第二待运输晶圆盒的目标搬运地址查询请求时，获取第二待运输晶圆盒所有者信息；

24、查询子单元，适于向所述第二待运输晶圆盒所有者信息对应的制造执行系统转发目标搬运地址查询请求；

25、发送子单元，适于当接收到目标搬运地址反馈信息时，将所述目标搬运地址反馈信息发送至所连接的物料控制系统，由所连接的物料控制系统将第二待运输晶圆盒搬运至目标搬运地址。

26、可选地，所述第二获取子单元，适于从预先存储的晶圆盒所有者信息中，获取所述第二待运输晶圆盒所有者信息。

27、可选地，所述第二获取子单元，适于将关于所述第二待运输晶圆盒的目标搬运地址查询请求转发至预设制造执行系统；以及接收所述预设制造执行系统反馈的所述第二待运输晶圆盒所有者信息。

28、可选地，所述预设制造执行系统为第一半导体厂的制造执行系统，或者为第二半导体厂的制造执行系统。

29、可选地，所述自动化搬运模块为两个以上，所述跨厂搬运服务器还包括：处理模块；所述处理模块适于在接收到物料搬运请求时，选择空闲的自动化搬运模块进行处理。

30、本发明还提供了一种自动化跨厂搬运方法，所述方法包括：

31、当接收到物料搬运请求时，基于所述物料搬运请求，生成物料传输请求至所连接的物料控制系统，由所连接的物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至第一桥梁仓储设备；

32、为所连接的物料控制系统提供目标搬运地址，由所连接的物料控制系统将第二待运输晶圆盒从第二桥梁仓储设备搬运至目标搬运地址；

33、其中，所述第一桥梁仓储设备及第二桥梁存储设备，一端连接第一半导体厂，另一端连接第二半导体厂。

34、可选地，所述基于所述物料搬运请求，生成物料传输请求至所连接的物料控制系统，包括：

35、获取所述物料搬运请求中的第一半导体厂标识信息及第二半导体厂标识信息；

36、基于所述第一半导体厂标识信息及第二半导体厂标识信息，判断所述物料搬运请求是否为跨厂搬运；

37、当判定所述物料搬运请求为跨厂搬运时，确定匹配的第一桥梁仓储设备，并以所述第一桥梁仓储设备作为仓储地址，生成物料传输请求至所连接的物料控制系统。

38、可选地，所述第一半导体厂及所述第二半导体厂之间的桥梁仓储设备为两个以上；所述确定匹配的第一桥梁仓储设备，包括：

39、选择优先权配置最高的桥梁仓储设备，作为所述第一桥梁仓储设备。

40、可选地，所述第一半导体厂及所述第二半导体厂之间的桥梁仓储设备为两个以上；所述确定匹配的第一桥梁仓储设备，包括：

41、确定两个以上桥梁仓储设备各自使用的百分比；

42、对各桥梁仓储设备使用的百分比作预设逻辑运算，得到符合预设规则的桥梁仓储设备，作为所述第一桥梁仓储设备。

43、可选地，所述为所连接的物料控制系统提供目标搬运地址，由所连接的物料控制系统将第二待运输晶圆盒从第二桥梁仓储设备搬运至目标搬运地址，包括：

44、当接收到所连接的物料控制系统发送的关于第二待运输晶圆盒的目标搬运地址查询请求时，获取第二待运输晶圆盒所有者信息；

45、向所述第二待运输晶圆盒所有者信息对应的制造执行系统发送目标搬运地址查询请求；

46、当接收到目标搬运地址反馈信息时，将所述目标搬运地址反馈信息发送至所连接的物料控制系统，由所连接的物料控制系统将第二待运输晶圆盒搬运至目标搬运地址。

47、可选地，所述获取第二待运输晶圆盒所有者信息，包括：

48、从预先存储的晶圆盒所有者信息中，获取所述第二待运输晶圆盒所有者信息。

49、可选地，所述获取第二待运输晶圆盒所有者信息，包括：

50、将关于所述第二待运输晶圆盒的目标搬运地址查询请求转发至预设制造执行系统；

51、接收所述预设制造执行系统反馈的所述第二待运输晶圆盒所有者信息。

52、本发明还提供了一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行，以实现上述任一种所述方法的步骤。

53、本发明还提供了一种跨厂搬运服务器，包括存储器和处理器，所述存储器上存储有能够在所述处理器上运行的计算机程序，所述处理器运行所述计算机程序时执行上述任一种所述方法的步骤。

54、与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：

55、应用本发明的方案，在第一制造执行系统发送物料搬运请求后，由第一跨厂服务器，基于第一制造执行系统发送的物料搬运请求，生成物料传输请求至第一物料控制系统，由所述第一物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至第一桥梁仓储设备。在所述第一物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至所述第一桥梁仓储设备后，由所述第二跨厂服务器为第二物料控制系统提供第一待运输晶圆盒的目标搬运地址信息，使得所述第二物料控制系统将第一待运输晶圆盒运输至目标搬运地址。由此可以通过第一跨厂服务器及第二跨厂服务器，配合桥梁仓储设备，实现第一半导体厂至第二半导体厂之间的自动化跨厂搬运，进而可以缩短跨厂搬运耗时，提高生产效率，减少人为搬运造成的损失。