调整平台的制作方法

本申请属于光刻制程设备，更具体地说，是涉及一种调整平台。

背景技术：

1、在光刻制程设备技术领域，尤其是在曝光制程中，需要对掩膜板和硅片之间的相对位置进行调整以满足制程所需要的曝光精度。在相关技术中，一般是采用对掩膜板的位置进行调整的技术方案。

2、然而，相关技术中，在高度位置调整工序中，一般是在掩膜板安装位置处垫设精密垫片以调整曝光间隙；而在水平位置调整工序中，则是通过直线移动机构及旋转装置共同调节掩膜板与硅片之间的水平相对位置。

3、前述的高度位置调整工序中，曝光间隙调整受限于垫片的厚度范围，导致间隙行程存在阶梯差；而在水平位置调整工序中，一方面，由于直线移动机构及旋转装置体积较大，使得调整装置设备体积大，另一方面，直线移动机构及旋转装置使得掩膜板的旋转中心被固定，难以实现大范围的随意调整。

技术实现思路

1、本申请实施例的目的在于提供一种调整平台，以解决现有技术中存在的体积大及调整范围有限的技术问题。

2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案是，提供一种调整平台，其包括至少一组调整组件，所述调整组件包括：

3、水平移动板；

4、至少两个设置于所述水平移动板顶面的水平驱动组件，所述水平驱动组件包括直线电机和滑轨组件；所述滑轨组件的水平滑动方向与所述直线电机的滑动方向相垂直，且所述滑轨组件其中一滑块转动设置于所述水平移动板、另一滑块与所述直线电机固定连接；至少两个所述直线电机的驱动方向交叉设置；

5、至少一个设置于所述水平移动板底面的竖直驱动组件，所述竖直驱动组件包括驱动装置和两块滑动设置的横向楔块及竖向楔块，所述竖向楔块沿竖向滑动设置于所述水平移动板，所述横向楔块水平滑动设置于所述水平移动板且与所述驱动装置连接；

6、载板，设置于所述竖向楔块底部，所述载板上设置有用于容纳载具的开口。

7、可选地，所述横向楔块或所述竖向楔块上斜面与水平方向之间夹角的角度范围为0～45°。

8、可选地，所述竖直驱动组件在所述水平移动板上对称设置有两组，所述载板同时连接于两组所述竖直驱动组件中的所述横向楔块或所述竖向楔块底部。

9、可选地，所述横向楔块设置于所述竖向楔块顶部，在所述横向楔块与所述竖向楔块之间设置有滑轨组件。

10、可选地，所述竖直驱动组件还包括滑架，所述滑架上沿水平方向及竖直方向均设置有滑轨，所述驱动装置及所述横向楔块及竖向楔块均设置于所述滑架。

11、可选地，在所述滑架与所述竖向楔块之间设置有光栅尺。

12、可选地，所述驱动装置为音圈电机。

13、可选地，所述调整组件对称设置有两组，两组所述调整组件独立设置。

14、可选地，所述开口连通所述载板的一侧边且两组所述调整组件上各所述载板的所述开口相对设置；同组所述调整组件中的两个所述竖直驱动组件上各自长度方向之间的夹角呈90°设置。

15、可选地，所述开口连通所述载板的一侧边且两组所述调整组件上各所述载板的所述开口相对设置；同组所述调整组件上的所述水平驱动组件设置有三组，其中两组所述水平驱动组件对称设置。

16、本申请实施例提供的调整平台，至少具有以下有益效果：

17、一方面，通过将水平驱动组件设置为直线电机和滑轨组件，且水平驱动组件设置有两组且各直线电机交叉设置，如此，各直线电机同步驱动时能够带动水平移动板沿各方向平移及围绕任意转动中心旋转，使得水平驱动组件的厚度较薄且结构复杂度较低；另一方面，竖直驱动组件设置为滑动设置的两个楔块，通过水平楔块的水平移动转化为竖直楔块的竖直移动，能够有效提高载板的高度调整精度，以实现小间隙行程范围内的任意调整。

技术特征：

1.一种调整平台，其特征在于，包括至少一组调整组件，所述调整组件包括：

2.如权利要求1所述的调整平台，其特征在于：所述横向楔块或所述竖向楔块上斜面与水平方向之间夹角的角度范围为0～45°。

3.如权利要求1所述的调整平台，其特征在于：所述竖直驱动组件在所述水平移动板上对称设置有两组，所述载板同时连接于两组所述竖直驱动组件中的所述横向楔块或所述竖向楔块底部。

4.如权利要求1至3任一所述的调整平台，其特征在于：所述横向楔块设置于所述竖向楔块顶部，在所述横向楔块与所述竖向楔块之间设置有滑轨组件。

5.如权利要求1至4任一所述的调整平台，其特征在于：所述竖直驱动组件还包括滑架，所述滑架上沿水平方向及竖直方向均设置有滑轨，所述驱动装置及所述横向楔块及竖向楔块均设置于所述滑架。

6.如权利要求5所述的调整平台，其特征在于：在所述滑架与所述竖向楔块之间设置有光栅尺。

7.如权利要求1所述的调整平台，其特征在于：所述驱动装置为音圈电机。

8.如权利要求1至3、7 任一所述的调整平台，其特征在于：所述调整组件对称设置有两组，两组所述调整组件独立设置。

9.如权利要求8所述的调整平台，其特征在于：所述开口连通所述载板的一侧边且两组所述调整组件上各所述载板的所述开口相对设置；同组所述调整组件中的两个所述竖直驱动组件上各自长度方向之间的夹角呈90°设置。

10.如权利要求8所述的调整平台，其特征在于：所述开口连通所述载板的一侧边且两组所述调整组件上各所述载板的所述开口相对设置；同组所述调整组件上的所述水平驱动组件设置有三组，其中两组所述水平驱动组件对称设置。

技术总结本申请提供了一种调整平台，其包括：水平移动板；至少两个设置于水平移动板顶面的水平驱动组件，其包括直线电机和滑轨组件；滑轨组件的水平滑动方向与直线电机的滑动方向相垂直，且其中一滑块转动设置于水平移动板、另一滑块与直线电机固定连接；至少两个直线电机的驱动方向交叉设置；至少一个设置于水平移动板底面的竖直驱动组件，其包括驱动装置和两块滑动设置的横向楔块及竖向楔块，竖向楔块沿竖向滑动设置于水平移动板，横向楔块水平滑动设置于水平移动板且与驱动装置连接；载板设置于竖向楔块底部，载板上设置有用于容纳载具的开口。本申请提供的调整平台，体积较小且调整范围较大。技术研发人员：王建勋,张成宣,程彦,倪兴荣受保护的技术使用者：广东思沃先进装备有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/12