液处理方法、喷出调整方法以及液处理装置与流程

本公开涉及一种液处理方法、喷出调整方法以及液处理装置。

背景技术：

1、能够通过设置于比喷出喷嘴靠上游侧的流路的阀的开闭，来进行从喷出喷嘴向基板的处理液的喷出的接通/断开(例如参照专利文献1)。

2、作为能够切换从喷出喷嘴的处理液的喷出的接通/断开的阀，例如能够利用根据被供给的工作流体(压缩空气等)的压力来对流路进行开闭的空气式切换阀。

3、现有技术文献

4、专利文献

5、专利文献1：日本特开2001-267236号公报

技术实现思路

1、喷出喷嘴中的处理液的喷出停止行为例如能够通过调节供向上述的空气式切换阀供给的工作流体流动的流体流路的开度来进行调整，但这样的流路开度大多基于管理者的经验来决定。

2、在停止从喷出喷嘴喷出处理液时，从喷出停止信号的发送起到从喷出喷嘴的处理液的喷出完全停止为止，需要相应的时间(以下也称为“喷出停止时间”)。在该喷出停止时间中，可能产生液滴从喷出喷嘴下落等异常，还有时要求管理者通过目视来确认有无这样的异常。

3、在如上述那样手动地进行流体流路的开度决定以及处理液的喷出停止行为的确认的状况下，实际的作业的劳动力及质量容易受到管理者的经验、能力影响而变得不稳定。

4、本公开提供一种有利于稳定地掌握从喷出喷嘴的处理液的喷出停止行为的技术。

5、本公开的一个方式涉及一种液处理方法，所述液处理方法包括以下工序：经由处理液阀向喷出喷嘴输送处理液，并从喷出喷嘴朝向基板喷出处理液，处理液阀根据被供给的工作流体的压力来控制与喷出喷嘴相连的流路中的处理液的流动，流体压力调整部根据能够可变地设定的调整参数来调整向处理液阀供给的工作流体的压力的变动行为；限制经由处理液阀向喷出喷嘴输送的处理液，由此停止从喷出喷嘴喷出处理液；以及获取工作流体参数与调整参数之间的相关数据，该工作流体参数表示通过流体压力测定部测定向处理液阀供给的工作流体的压力而获取的工作流体的压力的变动行为。

6、根据本公开，有利于稳定地掌握从喷出喷嘴的处理液的喷出停止行为。

技术特征：

1.一种液处理方法，包括以下工序：

2.根据权利要求1所述的液处理方法，其中，

3.根据权利要求1或2所述的液处理方法，其中，

4.根据权利要求3所述的液处理方法，其中，

5.根据权利要求3或4所述的液处理方法，其中，

6.根据权利要求1至5中的任一项所述的液处理方法，其中，

7.一种液处理方法，包括以下工序：

8.根据权利要求7所述的液处理方法，其中，

9.根据权利要求7或8所述的液处理方法，其中，

10.根据权利要求9所述的液处理方法，其中，

11.根据权利要求9所述的液处理方法，其中，

12.根据权利要求7至11中的任一项所述的液处理方法，其中，

13.根据权利要求7至12中的任一项所述的液处理方法，其中，

14.根据权利要求7至13中的任一项所述的液处理方法，其中，

15.根据权利要求9至11中的任一项所述的液处理方法，其中，

16.一种喷出调整方法，包括以下工序：

17.一种喷出调整方法，包括以下工序：

18.一种液处理装置，具备：

19.一种液处理装置，具备：

技术总结经由处理液阀向喷出喷嘴输送处理液，并从喷出喷嘴朝向基板喷出处理液。处理液阀根据被供给的工作流体的压力来控制与喷出喷嘴相连的流路中的处理液的流动。流体压力调整部根据能够可变地设定的调整参数来调整向处理液阀供给的工作流体的压力的变动行为。限制经由处理液阀向喷出喷嘴输送的处理液，由此停止从喷出喷嘴喷出处理液。获取工作流体参数与调整参数之间的相关数据，该工作流体参数表示通过流体压力测定部测定向处理液阀供给的工作流体的压力而获取的工作流体的压力的变动行为。技术研发人员：丸本洋,福岛贤治受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社技术研发日：技术公布日：2024/9/12