光学扩展模组和具有其的光学系统的制作方法

本发明涉及直写式曝光系统，尤其是涉及一种光学扩展模组和具有其的光学系统。

背景技术：

1、相关技术中的光学扩展模组，通常仅仅支持单种倍率透镜的使用，按照所需透镜倍率和设备指标，通常只能在某一种制程的产品使用，满足高阶设备的解析，就无法满足中低阶设备的产能；或者满足中低阶的产能，就无法兼顾高阶产品的解析力。

2、但是，高中低阶曝光设备同时购买，这样会增加了客户总拥有成本，也大大降低了利润；如果仅仅购买高解析设备，虽然可以满足中低阶产品的解析能力，但无法获得中低阶曝光设备的产能，

技术实现思路

1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种光学扩展模组，该光学扩展模组同一模组具有不同的倍率成像系统，提高了产品的兼容性等优点。

2、本发明还提出了一种具有光学扩展模组的光学系统。

3、为实现上述目的，根据本发明实施例提出了一种光学扩展模组，包括：空间光调制器，所述空间光调制器构造有主成像镜头；扩展镜组，所述扩展镜组设置于所述主成像镜头的一侧，所述扩展镜组通过所述主成像镜头、所述扩展镜组以形成多个展开光路，所述展开光路包括多个第一展开光路和多个第二展开光路；多个第一倍率透镜，所述第一倍率透镜与所述第一展开光路一一对应设置，所述第一倍率透镜设置于所述扩展镜组的远离所述空间光调制器的一侧，所述第一展开光路适于在第一曝光基底成像；多个第二倍率透镜，所述第二倍率透镜的成像倍率大于所述第一倍率透镜的成像倍率，所述第二倍率透镜与所述第二展开光路一一对应设置，所述第二倍率透镜设置于所述扩展镜组的远离所述光制调制器的一侧，所述第二展开光路适于在第二曝光基底成像。

4、根据本发明实施例的光学扩展模组，通过空间光调制器发射出的光束被扩展镜组有效利用形成多个展开光路，意味着同时产生多束光线进行利用，提高了光学处理的效果，相比于单束光的处理，多束光的并行处理显著提升了单位时间内可以处理的光信息量，从而提高了线路的曝光效率。拓展镜组通过主成像镜头形成多束展开光束，而光学拓展模组集成多个第一倍率透镜和第二倍率透镜，多束展开光束分别对应第一倍率透镜和第二倍率透镜，在同一个光学拓展模组中，用户可以根据不同的应用需求可以选择第二倍率透镜和第一倍率透镜的使用，当量产料号需要使用低倍率进行解析，则光刻数据自动显示在空间光调制器进行显示，通过对应的扩展镜组进行投影曝光。当量产料号需要使用高倍率进行解析，则光刻数据自动显示在空间光调制器进行显示，通过对应的扩展镜组进行投影曝光，这样既满足中低阶产品的产能，又能满足高阶产品的解析力，提高了光学拓展模组的兼容性。

5、其中，可以将空间光调制器面划分为m部分，每部分可单独控制，其中m取值为大于1的自然数，根据划分的m部分，每部分由扩展镜组进行成像，而多个第一倍率透镜和多个第二倍率透镜的放大倍率不同，可以同时适合高解析力产品和低解析能力产品，根据设定的m，将相同倍率的成像系统投影到同一个曝光面上，不同倍率可在不同曝光面上，亦可在同一曝光面上。

6、因此，根据本发明实施例的光学扩展模组，同一模组具有不同的倍率成像系统，提高了产品的兼容性等优点。

7、根据本发明的一些具体实施例，所述扩展镜组具有反射镜组和/或棱镜组，且包括：第一扩展镜组，所述第一扩展镜组内形成多个第一光路；第二扩展镜组，所述第二扩展镜组内形成多个第二光路；其中，所述第一扩展镜组、所述第二扩展单元组的进光区域与所述空间光调制器的位置对应，每个所述第一扩展镜组的出光区域彼此间隔且分别对应一个所述第一倍率透镜，每个所述第二扩展单元组的出光区域彼此间隔且分别对应一个所述第二倍率透镜。

8、根据本发明的一些具体实施例，所述第一扩展镜组包括：第一扩展单元和第二扩展单元；所述第二扩展镜组包括：第三扩展单元和第四扩展单元；其中，所述第一扩展单元、所述第二扩展单元、所述第三扩展单元和所述第四扩展单元的进光区域并排排列成多行且与所述主成像镜头对应；所述第一扩展单元、所述第二扩展单元、所述第三扩展单元和所述第四扩展单元的出光区域展开成多列，多个所述第一倍率透镜以及多个所述第二倍率透镜均排列于不同行和不同列。

9、根据本发明的一些具体实施例，所述第一扩展单元、所述第二扩展单元和所述第三扩展单元的进光区域处于同一平面内；所述第一扩展单元、所述第二扩展单元和所述第三扩展单元的出光区域处于同一平面内。

10、根据本发明的一些具体实施例，所述第一扩展单元包括：第一反射镜组和第一棱镜，所述第一棱镜连接所述第一反射镜组且内部形成第一光路；所述第二扩展单元包括：第二反射镜组和第二棱镜，所述第二棱镜连接所述第二反射镜组且内部形成第二光路；所述第三扩展单元包括：第三反射镜组和第三棱镜，所述第三棱镜连接所述第三反射镜组且内部形成第三光路；所述第四扩展单元包括：第四反射镜组和第四棱镜，所述第四棱镜连接所述第四反射镜组且内部形成第四光路。

11、根据本发明的一些具体实施例，所述第一棱镜和所述第二棱镜的进光区域彼此间隔排列，所述第三棱镜的进光区域位于所述第一棱镜和所述第二棱镜之间，所述第四棱镜的进光区域位于所述第三棱镜的远离所述第二棱镜的一侧。

12、根据本发明的一些具体实施例，所述第一反射镜组包括两个平行设置的第一反射镜，两个所述第一反射镜位于所述扩展镜组厚度方向的一侧；所述第二反射镜组包括两个平行设置的第二反射镜，两个所述第二反射镜位于所述扩展镜组厚度方向的另一侧；所述第三反射镜组包括两个平行设置的第三反射镜，其中一个所述第三反射镜在所述扩展镜组的厚度方向上位于所述第一反射镜组和所述第二反射镜组之间，另一个所述第三反射镜在所述扩展镜组的厚度方向上位于所述第二反射镜组的外侧；所述第四反射镜组包括两个平行设置的第四反射镜，两个所述第四反射镜在所述扩展镜组的厚度方向上排列且位于所述第二反射镜组的外侧；其中，所述第一反射镜组、所述第二反射镜组和所述第三反射镜组的出光区域在所述扩展镜组的厚度方向错开排列。

13、根据本发明的一些具体实施例，第一扩展单元和第二扩展单元、第三扩展单元和第四扩展单元的进光区域均构造成矩形且并排排列；所述第一扩展单元和第二扩展单元、第三扩展单元和第四扩展单元的出光区域均构造成矩形且沿平行四边形排列。

14、根据本发明第二方面的实施例提出了一种光学系统，包括根据本发明上述实施例的光学扩展模组，多个所述光学扩展模组阵列排布。

15、根据本发明实施例的光学系统，通过利用根据本发明实施例的光学扩展模组，同一模组具有不同的倍率成像系统，提高了产品的兼容性等优点。

16、根据本发明的一些具体实施例，多个所述扩展镜组的出光区域均在其厚度方向错开排列成多行；不同的所述光学扩展模组的扩展镜组的出光区域沿其所在的行阵列排布。

17、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

技术特征：

1.一种光学扩展模组，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的光学扩展模组，其特征在于，所述扩展镜组具有反射镜组和/或棱镜组，且包括：

3.根据权利要求2所述的光学扩展模组，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的光学扩展模组，其特征在于，所述第一扩展单元、所述第二扩展单元和所述第三扩展单元、所述第四扩展单元的进光区域处于同一平面内；

5.根据权利要求3所述的光学扩展模组，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的光学扩展模组，其特征在于，所述第一棱镜和所述第二棱镜的进光区域彼此间隔排列，所述第三棱镜的进光区域位于所述第一棱镜和所述第二棱镜之间，所述第四棱镜的进光区域位于所述第三棱镜的远离所述第二棱镜的一侧。

7.根据权利要求6所述的光学扩展模组，其特征在于，

8.根据权利要求2所述的光学扩展模组，其特征在于，所述第一扩展单元和所述第二扩展单元、所述第三扩展单元和所述第四扩展单元的进光区域均构造成矩形且并排排列；

9.一种光学系统，其特征在于，包括：多个根据权利要求1-8中任一项所述的光学扩展模组，多个所述光学扩展模组阵列排布。

10.根据权利要求9所述的光学系统，其特征在于，多个所述扩展镜组的出光区域均在其厚度方向错开排列成多行；

技术总结本发明公开了一种光学扩展模组和具有其的光学系统，光学扩展模组包括：空间光调制器，空间光调制器构造有主成像镜头；扩展镜组，扩展镜组设置于主成像镜头的一侧，扩展镜组通过主成像镜头、扩展镜组以形成多个展开光路，展开光路包括第一展开光路和第二展开光路；第一倍率透镜，第一倍率透镜与第一展开光路一一对应设置，第一倍率透镜设置于扩展镜组的远离空间光调制器的一侧；第二倍率透镜，第二倍率透镜的成像倍率大于第一倍率透镜的成像倍率，第二倍率透镜与第二展开光路一一对应设置，第二倍率透镜设置于扩展镜组的远离光制调制器的一侧。根据本发明实施例的光学扩展模组，同一模组具有不同的倍率成像系统，提高了产品的兼容性等优点。技术研发人员：赵美云,曲鲁杰,蔡银银,程刚受保护的技术使用者：合肥芯碁微电子装备股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/9/29