分布式多镜头循环曝光扫描系统及其方法与流程

本发明涉及一种光学装置，特别是涉及一种分布式多镜头循环曝光扫描系统及其方法。

背景技术：

1、曝光制程技术在近年来逐渐成为电子产业的核心，随着需求量的增加，除了曝光质量以外，曝光效率也至关重要，以往，为了能有更快的曝光速度，将光源以周期性闪烁的方式，即周期时间内部分时间开启光源，另外的部分时间则是关闭光源，避免投射出的光点因为提高扫描速度而被拖长，此种方式可以在提升曝光分辨率的同时，能以更高的速度进行曝光，但这也使得光源使用效率低。

2、为此，本发明提供一种分布式多镜头循环曝光扫描系统及其方法，以导光结构在周期时间内逐一将各个光学影像导引至对应的光学成像装置，即可实现周期时间内利用原本光源须关闭的时间，将光源引导至其他光学成像装置，有效利用光源周期闪烁的暗区，以提高无光罩曝光的效率，避免光源能量的浪费，同时，能够在单次周期时间内完成多个基板同步曝光的目的，提升单一机台曝光效率及单周期时间的光源利用率。

技术实现思路

1、本发明的主要目的，是提供一种分布式多镜头循环曝光扫描系统，其以运算处理单元进行运算处理后，使导光结构能够逐步调整，进而将光学引擎投射的光学影像逐步导引至对应的光学成像装置，而可以利用单光学引擎即可在单一周期完成多个曝光区的曝光程序，降低设备成本。

2、本发明的另一目的，是提供一种分布式多镜头循环曝光扫描方法，以前述的系统执行扫描方法，使欲曝光的光学图形能够在周期时间内，对应的输出控制指令，使导光结构根据控制指令将光学影像导引至对应的光学成像装置，从而在每一个曝光区循环式的投射对应的光学影像，提高曝光效率。

3、为了达到上述的目的，本发明的一实施例揭示一种分布式多镜头循环曝光扫描系统，包含:运算处理单元，根据第一光学图形及第二光学图形进行运算处理，输出对应的控制指令；载台，承载基板，并根据该控制指令移动该载台；光学引擎，根据该控制指令投射对应的第一光学影像及第二光学影像；第一光学成像装置，根据该第一光学影像投射至该基板的第一曝光区；第二光学成像装置，根据该第二光学影像投射至该基板的第二曝光区；及导光结构，根据该控制指令使该第一光学影像被导引至该第一光学成像装置，及根据该控制指令使该第二光学影像被导引至该第二光学成像装置。

4、在较佳实施例中，该载台包含第一子载台及第二子载台，及该基板包含第一子基板及第二子基板，该第一子载台承载该第一子基板，该第二子载台承载该第二子基板，并根据该控制指令分别移动该第一子载台及该第二子载台。

5、在较佳实施例中，该光学引擎包含光源装置及数字微反射镜数组，该光源装置根据该控制指令发射光源，该数字微反射镜数组根据该控制指令开启或关闭其中的多个微反射镜，开启的该些个微反射镜根据该光源投射出该第一光学影像及该第二光学影像。

6、在较佳实施例中，在周期时间内的第一时间，以该控制指令使该光学引擎投射出的该第一光学影像经该导光结构被导引至该第一光学成像装置，该第一光学成像装置接收并投射该第一光学影像至该第一曝光区，在该周期时间内的第二时间，以该控制指令使该光学引擎投射出的该第二光学影像经该导光结构被导引至该第二光学成像装置，该第二光学成像装置接收并投射该第二光学影像至该第二曝光区。

7、在较佳实施例中，该第一时间及该第二时间在该周期时间所占的比例为1％-99％。

8、为了达到上述的另一目的，本发明的一实施例揭示一种分布式多镜头循环曝光扫描方法，步骤包含:运算第一光学图形及第二光学图形，产生并输出控制指令；以该控制指令使承载基板的载台移至对应的预定位置；在周期时间内的第一时间，根据该控制指令使投射的第一光学影像被导引至第一光学成像装置；以该第一光学成像装置接收并投射该第一光学影像至该基板的第一曝光区；在该周期时间内的第二时间，根据该控制指令使投射的第二光学影像被导引至第二光学成像装置；及以该第二光学成像装置接收并投射该第二光学影像至该基板的第二曝光区。

9、在较佳实施例中，该载台包含第一子载台及第二子载台，该基板包含第一子基板及第二子基板，该第一子载台承载该第一子基板，该第二子载台承载该第二子基板，并以该控制指令使该第一子载台移至对应的第一预定位置，及以该控制指令使该第二子载台移至对应的第二预定位置。

10、在较佳实施例中，在周期时间内的第一时间，根据该控制指令使投射的第一光学影像被导引至第一光学成像装置的步骤中，以该控制指令使该第一光学影像经导光结构导引至该第一光学成像装置，以该第一光学成像装置接收并投射该第一光学影像至该第一曝光区。

11、在较佳实施例中，在该周期时间内的第二时间，根据该控制指令使投射的第二光学影像被导引至第二光学成像装置的步骤中，以该控制指令使该第二光学影像经该导光结构导引至该第二光学成像装置，以该第二光学成像装置接收并投射该第二光学影像至该第二曝光区。

12、在较佳实施例中，该第一时间及该第二时间在该周期时间所占的比例为1％-99％。

13、本发明的有益功效在于周期时间内，能够根据控制指令调整导光结构，使光学影像逐一被引导至每一个光学成像装置上，形成循环曝光，大幅提高光源利用率。

技术特征：

1.一种分布式多镜头循环曝光扫描系统，其特征在于，包含:

2.根据权利要求1所述的分布式多镜头循环曝光扫描系统，其特征在于，该载台包含第一子载台及第二子载台，及该基板包含第一子基板及第二子基板，该第一子载台承载该第一子基板，该第二子载台承载该第二子基板，并根据该控制指令分别移动该第一子载台及该第二子载台。

3.根据权利要求1所述的分布式多镜头循环曝光扫描系统，其特征在于，该光学引擎包含光源装置及数字微反射镜数组，该光源装置根据该控制指令发射光源，该数字微反射镜数组根据该控制指令开启或关闭其中的多个微反射镜，开启的该些个微反射镜根据该光源投射出该第一光学影像及该第二光学影像。

4.根据权利要求1所述的分布式多镜头循环曝光扫描系统，其特征在于，在周期时间内的第一时间，以该控制指令使该光学引擎投射出的该第一光学影像经该导光结构被导引至该第一光学成像装置，该第一光学成像装置接收并投射该第一光学影像至该第一曝光区，在该周期时间内的第二时间，以该控制指令使该光学引擎投射出的该第二光学影像经该导光结构被导引至该第二光学成像装置，该第二光学成像装置接收并投射该第二光学影像至该第二曝光区。

5.根据权利要求4所述的分布式多镜头循环曝光扫描系统，其特征在于，该第一时间及该第二时间在该周期时间所占的比例为1％-99％。

6.一种分布式多镜头循环曝光扫描方法，其特征在于，步骤包含:

7.根据权利要求6所述的分布式多镜头循环曝光扫描方法，其特征在于，该载台包含第一子载台及第二子载台，该基板包含第一子基板及第二子基板，该第一子载台承载该第一子基板，该第二子载台承载该第二子基板，并以该控制指令使该第一子载台移至对应的第一预定位置，及以该控制指令使该第二子载台移至对应的第二预定位置。

8.根据权利要求6所述的分布式多镜头循环曝光扫描方法，其特征在于，在周期时间内的第一时间，根据该控制指令使投射的第一光学影像被导引至第一光学成像装置的步骤中，以该控制指令使该第一光学影像经导光结构导引至该第一光学成像装置，以该第一光学成像装置接收并投射该第一光学影像至该第一曝光区。

9.根据权利要求8所述的分布式多镜头循环曝光扫描方法，其特征在于，在该周期时间内的第二时间，根据该控制指令使投射的第二光学影像被导引至第二光学成像装置的步骤中，以该控制指令使该第二光学影像经该导光结构导引至该第二光学成像装置，以该第二光学成像装置接收并投射该第二光学影像至该第二曝光区。

10.根据权利要求6所述的分布式多镜头循环曝光扫描方法，其特征在于，该第一时间及该第二时间在该周期时间所占的比例为1％-99％。

技术总结本发明提供一种分布式多镜头循环曝光扫描系统及其方法，其中，本系统包含:运算处理单元、载台、光学引擎、第一光学成像装置、第二光学成像装置及导光结构，并以该系统执行本方法，使光学引擎分别投射出第一光学影像及第二光学影像，并以导光结构依序将第一光学影像导引至第一光学成像装置，及将第二光学影像导引至第二光学成像装置，使第一光学成像装置及第二光学成像装置分别接收并投射第一光学影像及第二光学影像至对应的曝光区，大幅提高制程效率及光源利用率。技术研发人员：李永春,苗庭瑄,吴俊颖受保护的技术使用者：李永春技术研发日：技术公布日：2024/10/10