一种单晶硅棒清洗脱胶装置的制作方法

本发明涉及一种脱胶装置，特别是涉及一种单晶硅棒清洗脱胶装置，属于半导体。

背景技术：

1、单晶硅棒清洗脱胶装置是用于处理单晶硅棒在生产和加工过程中产生的胶水和杂质的重要设备，这类装置的设计和功能多样，但通常都旨在提高清洗效率、降低能耗，并确保单晶硅棒在清洗脱胶过程中的损耗较小，因此单晶硅棒清洗脱胶装置是半导体生产和加工过程中的重要设备之一，其设计和功能对于提高产品质量和生产效率具有重要意义。

2、根据公告号为cn108993996a的中国专利文献公开的一种单晶硅棒清洗脱胶装置，采用了超声波发生器、超声波换能器、清洗框和传送皮带等部件，实现了对单晶硅棒的高效清洗和脱胶。

3、根据公告号为cn220092386u的中国专利文献公开的硅单晶棒切制后的脱胶系统，采用了加热脱胶模块、供气模块和硅单晶棒固定模块等部件，通过气体加热和循环的方式提高了脱胶效率并降低了能耗。

4、基于上述专利的检索，以及结合现有技术中的设备发现，对硬化的胶体进行加热时，不能做到使硅棒表面均匀受热，因此会导致胶体软化的速度不一致，而此时无论是通过气体喷淋还是超声波清洗的方式均无法使胶体全部脱离，而使用液体浸泡不仅会降低胶体的温度使其再度固化，还会增加处理时间，进而降低脱胶效率。

5、因此，亟需对单晶硅棒清洗脱胶装置进行改进，以解决上述存在的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种单晶硅棒清洗脱胶装置，电机通过螺杆传动推送板将硅棒送入脱胶筒后，硅棒两端会与转动轴一侧的弹簧电极相抵，硅棒通电其内部会产生焦耳热，硅棒内部的温度会升高，进而使硅棒表面的胶体均匀受热并熔化，硅棒通电的同时也会产生磁场，此时硅棒在两侧磁铁板的作用下转动将融化后的胶体甩落，采用硅棒自身发热的方式对胶体进行加热，提高胶体受热的均匀度同时也提高了脱胶效率。

2、为了达到上述目的，本发明采用的主要技术方案包括：

3、一种单晶硅棒清洗脱胶装置，包括m型支撑架以及固定安装在所述m型支撑架上的脱胶筒，所述m型支撑架上固定安装有往复电机，所述往复电机的输出端通过皮带转动连接有螺杆，所述螺杆上滑动设置有推送板，所述脱胶筒以及所述推送板的中部均通过轴承转动连接有转动轴；

4、所述转动轴一端固定安装有吸盘，所述吸盘的内部固定安装有弹簧电极，所述弹簧电极通过导线与外部电源电性连接，靠近所述推送板的所述转动轴上固定设置有夹持板，所述夹持板的内部固定安装有硅棒，所述硅棒通过所述推送板滑动设置在所述m型支撑架的上侧以及所述脱胶筒的内部，所述硅棒滑动到所述脱胶筒的内部后，两个所述吸盘与所述硅棒的两端相抵；

5、所述脱胶筒的内侧固定设置有磁铁板，所述磁铁板分布在所述硅棒的两侧，所述脱胶筒的一侧固定设置有储水箱，所述储水箱上固定安装有若干个水泵，所述水泵的输出端固定安装有水管，所述水管延伸到所述脱胶筒的内部，所述脱胶筒的底端开设有斜槽，所述斜槽的一端滑动设置有封堵板，所述脱胶筒对应所述封堵板的底侧通过螺栓安装有s型支撑板，所述s型支撑板上固定设置有电极柱，所述电极柱与所述斜槽相对应，所述电极柱通过导线串联于所述水泵的电源电路中。

6、优选的，所述s型支撑板的上端固定安装有第一弹簧，所述第一弹簧的上端与所述封堵板的底侧面固定连接，所述封堵板的侧面固定安装有电极块，所述电极块与所述电极柱相对应。

7、优选的，所述电极块通过导线与所述水泵电源正极电性连接，所述电极柱通过导线与所述水泵电源的负极电性连接，所述封堵板上开设有缺口，所述缺口与所述斜槽底端相对应。

8、优选的，所述m型支撑架上开设有滑槽，所述滑槽上滑动设置有l型支撑板，所述l型支撑板上固定连接有若干个均匀分布的第二弹簧，所述第二弹簧远离所述l型支撑板的一端固定连接在所述滑槽的内侧，所述l型支撑板远离所述滑槽的一端转动设置有导向辊，所述导向辊与所述硅棒的底端相对应。

9、优选的，所述l型支撑板对应所述推送板的一侧固定设置有推压块，所述推送板滑动的过程中通过所述推压块推动所述l型支撑板在所述滑槽的内部滑动，所述l型支撑板的内部固定设置有金属滑块，所述金属滑块延伸到所述l型支撑板的两侧，所述金属滑块滑动设置在所述滑槽的内部。

10、优选的，所述脱胶筒的底侧固定安装有若干个均匀分布的电动气缸，所述电动气缸的输出端贯穿所述脱胶筒的底侧并延伸到所述硅棒的底侧，所述电动气缸的上端转动设置有异形辊，所述异形辊的表面与所述硅棒的底侧相抵。

11、优选的，所述滑槽对应所述金属滑块的位置固定设置有电极片，所述电极片通过导线串联于所述电动汽缸的电源电路中，所述l型支撑板滑动的过程中所述金属滑块与所述电极片接触。

12、优选的，所述推送板远离所述转动轴的一侧固定安装有螺纹滑套，所述螺纹滑套与所述螺杆相对应，所述推送板通过所述螺纹滑套滑动设置在所述m型支撑架上，所述螺纹滑套的内螺纹与所述螺杆的内螺纹相啮合。

13、优选的，所述脱胶筒的内侧通过螺栓固定安装有耳架，所述耳架与所述螺杆相对应，所述螺杆贯穿所述耳架并延伸到所述脱胶筒的内部，所述螺杆通过轴承转动设置在所述耳架上。

14、优选的，所述脱胶筒的内顶侧固定设置有增压管，所述水管的内部与所述增压管的内部相连通，所述增压管的底端固定安装有若干个均匀分布的高压喷嘴，所述高压喷嘴分布在所述硅棒的上方。

15、本发明至少具备以下有益效果：

16、1、本发明往复电机通过螺杆传动推送板将硅棒送入脱胶筒后，硅棒两端会与转动轴一侧的弹簧电极相抵，硅棒通电其内部会产生焦耳热，硅棒内部的温度会升高，进而使硅棒表面的胶体均匀受热并熔化，硅棒通电的同时也会产生磁场，此时硅棒在两侧磁铁板的作用下转动将融化后的胶体甩落，采用硅棒自身发热的方式对胶体进行加热，提高胶体受热的均匀度同时也提高了脱胶效率。

17、2、本发明硅棒在两侧磁铁板的作用下转动将融化后的胶体甩落，胶体通过脱胶筒内壁与斜槽汇聚到封堵板上的缺口处，封堵板受到胶体的重力在第一弹簧的作用下滑动，电极块与电极柱相接触，使水泵的电路连通，此时水泵工作将储水箱内部的洗涤液通过水管排入脱胶筒内对硅棒的表面进行冲洗，进而大大减少了胶体的残留。

18、3、本发明增压管可以提高洗涤液的压强，使水泵输送的洗涤液均匀并快速地通过高压喷嘴喷出，形成喷淋的效果，此时硅棒与洗涤液接触，将残余的胶体去除的同时对硅棒进行降温，此时硅棒电阻增大，电流减小则磁场变弱，进而降低了硅棒的转速的，便于后续将硅棒取出。

19、4、本发明l型支撑板用于对硅棒进行支撑，便于脱胶前的安装工作，导向辊可以对硅棒进行导向，推送板滑动的过程中通过推压块推动l型支撑板滑动，硅棒全部进入脱胶筒时，导向辊与硅棒分离，此时可以防止硅棒转动的过程中与导向辊产生摩擦并卡死，从而大大降低了硅棒转动阻力。

20、5、本发明硅棒安装时，通过吸盘和夹持板固定，另一端放置在导向辊上，推送板推动转动轴滑动的过程中，硅棒一端进入脱胶筒内部并与异形辊表面接触，使硅棒与另一端的吸盘接触前或脱离后具有支撑，硅棒被两端的吸盘固定后，l型支撑板上的金属滑块滑动到与电极片接触的位置，电动气缸通电并工作，使异形辊收缩并脱离硅棒的底侧，进而提高了硅棒推送过程中的稳定性。

21、6、本发明吸盘与硅棒侧面接触时将弹簧电极全部包裹，也能防止洗涤液对弹簧电极造成腐蚀，大大延长了单晶硅棒清洗脱胶装置的使用寿命，同时保护防止洗涤液内的水连电，从而提高了单晶硅棒清洗脱胶装置安全性。