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氦气冷却的单晶硅成长装置及方法
本发明属于直拉法单晶生长，具体涉及一种氦气冷却的单晶硅成长装置及方法。背景技术：1、电子级单晶硅是大规模集成电路发展的基石，在商用半导体器件和集成电路芯片中，硅基微电子原件占主流。直拉法(cz法)是生......
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提高掺硼高拉速单晶硅氧含量的热场装置及拉晶方法与流程
本发明属于单晶硅拉晶的，具体涉及一种提高掺硼高拉速单晶硅氧含量的热场装置及拉晶方法。背景技术：1、晶棒的氧含量是单晶硅中的重要参数，氧原子通常以间隙态存在于硅晶格中，氧原子在单晶硅中可以钉扎位错，提高......
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一种Topcon用单晶硅片碱抛光添加剂及其应用的制作方法
本发明涉及光伏领域，具体涉及一种topcon用单晶硅片碱抛光添加剂及其应用。背景技术：1、在晶体硅太阳能电池制造工艺中，为了提高晶体硅太阳能电池的光电转换效率，常对晶体硅背面进行抛光处理。一方面抛光后......
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一种用于单晶硅辐照孔道中子注量率分布测量试验装置的制作方法
本发明涉及研究堆辐照，具体涉及一种用于单晶硅辐照孔道中子注量率分布测量试验装置。背景技术：1、反应堆进行单晶硅中子辐照嬗变掺杂时，需要对辐照孔道内的中子场环境进行监督，以利于单晶硅在辐照孔道内的辐照方......
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一种单晶硅制造用的全自动多晶料回收车的制作方法
本技术涉及单晶硅制造，具体涉及一种单晶硅制造用的全自动多晶料回收车。背景技术：1、目前单晶硅制造行业生产过程中会产生大量的头部无效短晶棒以及提肩料，多晶棒，多晶尾棒等需待回收后重新使用的原料(以下称多......
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一种基于单晶硅SE结构新型TOPcon电池的制作方法
本技术属于电池，具体涉及一种基于单晶硅se结构新型topcon电池。背景技术：1、在光伏领域，太阳能电池是光伏系统的核心组件，其性能直接影响到光伏系统的整体效能。为了提高太阳能电池的转化效率，各种新型......
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一种密封性好的单晶硅太阳能电池结构的制作方法
本技术涉及太阳能电池，具体为一种密封性好的单晶硅太阳能电池结构。背景技术：1、太阳能电池板是通过吸收太阳光，将太阳辐射能通过光电效应或者光化学效应直接或间接转换成电能的装置，大部分太阳能电池板的主要材......
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自对准多晶硅单晶硅混合MEMS垂直梳齿电极的制作方法
本技术属于微电子晶圆加工的，具体是涉及一种自对准多晶硅单晶硅混合mems垂直梳齿电极。背景技术：1、mems(micro-electro-mechanical system)芯片中通常具有可动结构、支......
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自对准多晶硅单晶硅混合MEMS垂直电极及其制造方法与流程
自对准多晶硅单晶硅混合mems垂直电极及其制造方法技术领域1.本发明属于微电子晶圆加工的技术领域，具体是涉及一种自对准多晶硅单晶硅混合mems垂直电极及其制造方法。背景技术：2.mems(micro-......
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一种单晶硅微结构阵列的湿法刻蚀辅助飞秒激光加工方法
1.本发明属于微结构阵列加工领域，具体涉及一种湿法刻蚀辅助飞秒激光沿单晶硅晶向加工微结构阵列的方法。背景技术：2.单晶硅是一种非金属晶体材料，其自身导热性能好、机械强度优良、折射率和红外透过率高，物理......
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一种有序单晶硅金字塔微结构的制备方法
1.本发明涉及微纳加工技术领域，尤其是一种有序单晶硅金字塔微结构的制备方法。背景技术：2.随着半导体微纳加工技术的进步，微纳结构的制备工艺逐渐趋于成熟。常见的微纳结构有无序和有序之分。其中，无序的微纳......
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单晶硅振膜的MEMS电容式声传感器结构及制备方法
单晶硅振膜的mems电容式声传感器结构及制备方法技术领域1.本发明属于传感器技术领域，特别涉及一种超声换能器，具体是一种单晶硅振膜的mems电容式声传感器结构及制备方法。背景技术：2.超声波具有方向性......
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一种单晶硅表面跨尺度减摩抗磨改性方法及表征方法与流程
技术领域：本发明涉及一种单晶硅表面跨尺度减摩抗磨改性方法及表征方法，属于微/纳润滑薄膜多元化和复合化的设计领域。背景技术：随着科学技术的进一步发展，微/纳米技术的应用也逐渐广泛。单晶硅(si)作为微机......
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基于电磁激励单晶硅谐振梁的热电变换器结构及制造方法与流程
本发明涉及一种热电变换器结构及制造方法，特别是基于电磁激励单晶硅谐振梁的热电变换器结构及制造方法，属于微电子机械系统(micro-electro-mechanicalsystems，mems)领域。背......
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一种单晶硅表面纳米坑无损加工方法与流程
本发明属于纳米加工技术领域，具体涉及一种单晶硅表面纳米坑无损加工方法。背景技术：随着微纳器件的微小化进程，纳米科技及纳米尺度下的加工技术得到长足发展的同时也面临着巨大的挑战。开展纳米加工方面的基础及应......
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一种粘结单晶硅和蓝宝石的方法与流程
本发明属于材料粘结领域，更具体地，涉及一种粘结单晶硅和蓝宝石的方法。背景技术：单晶硅在1.1μm～6.7μm波段具有很好的透光性能，且机械损耗小、杨氏模量大，可以作为很好的光学材料，尤其是单晶硅在12......
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一种单晶硅生长界面的氧含量确定方法、装置和产品
本技术涉及发出异常报警单晶硅制备，特别是一种单晶硅生长界面的氧含量确定方法、装置和产品。背景技术：1、硅单晶是微电子工业的基础材料，广泛应用于集成电路备件和硅片制造领域。在硅单晶生长过程中，氧是其中最......
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一种二极管生产用单晶硅棒切片装置的制作方法
本技术涉及单晶硅棒切片，具体为一种二极管生产用单晶硅棒切片装置。背景技术：1、二极管生产加工时需要对单晶硅棒进行切片处理，从而需要用到切片装置。2、根据申请号：cn201821892441.7，一种单......
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一种单晶硅石墨拼接加热器快速换模工装的制作方法
本技术涉及拼接加热器加工，具体地说是一种单晶硅石墨拼接加热器快速换模工装。背景技术：1、在单晶硅生产中，需要用到石墨主加热器，然而目前主流的拼接加热器是最难夹持加工的，由圆料经数控线锯割片后卧式加工中......
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一种低微气泡半导体级合成石英坩埚及其制备方法及单晶硅生长方法与流程
本发明属于单晶硅制备领域，涉及一种低微气泡半导体级合成石英坩埚及其制备方法及单晶硅生长方法。背景技术：1、作为大多数半导体电子元件制造的起始材料的单晶硅通常通过所谓的直拉法(“cz”）制备。使用cz方......
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一种单晶硅引放温度补偿方法与流程
本发明涉及单晶硅生产，更具体地说，本发明涉及一种单晶硅引放温度补偿方法。背景技术：1、硅单晶是微电子技术的材料基石，随着我国信息产业的发展，对硅单晶质 量要求越来越高，直径也越来越大。可以说硅单晶是现......
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单晶硅的制备方法与流程
本发明涉及单晶硅加工，具体提供一种单晶硅的制备方法。背景技术：1、直拉法制备单晶硅是目前单晶硅生产中的一种常用方法，其将硅粉末投入到石英坩埚内之后，首先将硅粉加热至熔化，然后在坩埚上方将籽晶浸入硅溶液......
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一种N型单晶硅生产设备及生产方法与流程
本发明涉及光伏制造，尤其涉及一种n型单晶硅生产设备及生产方法。背景技术：1、光伏行业内一般采用直拉法生产单晶硅。在单晶硅生长过程中，利用提拉机构和籽晶夹头将籽晶浸入石英坩埚内的熔体硅中，并利用提拉机构......
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改善N型重掺轴向电阻率分布均匀性的直拉单晶硅方法与流程
本发明属于晶棒拉制方法的，具体涉及一种改善n型重掺轴向电阻率分布均匀性的直拉单晶硅方法。背景技术：1、随着半导体事业发展对半导体单晶硅电阻率均匀性要求越来越高，产品电阻率规格越缩越窄同时需求量剧增，原......
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一种投料装置、单晶硅的生产设备及生产方法与流程
本发明涉及单晶硅的制备领域，尤其涉及一种投料装置、单晶硅的生产设备及生产方法。背景技术：1、单晶硅属于立方晶系，金刚石结构，是一种性能优良的半导体材料。硅材料广泛应用于红外光谱频率光学元件、红外及射线......
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2024-09-14精选技术
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一种低铱含量铱钽钛阳极的制备方法与流程
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