电场增强元件以及拉曼光谱装置的制作方法

本发明涉及电场增强元件以及拉曼光谱装置。

背景技术：

1、近年来，作为检测低浓度的试样分子的光谱技术之一，已知有利用了局域型表面等离子体共振(localize surface plasmon resonance：lspr)的拉曼光谱装置。在这样的拉曼光谱装置中，由具有纳米级的凹凸结构的电场增强元件形成增强电场，产生拉曼散射光被增强的表面增强拉曼散射(surface enhanced raman scattering：sers)。

2、例如专利文献1中记载了一种光器件，其具有基板、形成于基板的表面的由多个金属粒子构成的金属细微结构、和形成在金属细微结构上的有机分子膜。

3、专利文献1：日本特开2013-96939号公报

4、在上述那样的光器件中，期望提高检测灵敏度。

技术实现思路

1、本发明的电场增强元件的一个方式具有：基板；多个细微结构体，它们设置于所述基板，具有导电性；以及透明层，其覆盖所述多个细微结构体和所述基板，由所述多个细微结构体产生的增强电场在所述基板的垂线方向上，在所述多个细微结构体的与所述基板相反的一侧且与所述多个细微结构体分离的位置处具有极大值。

2、本发明的拉曼光谱装置的一个方式具有：所述电场增强元件的一个方式；光源，其向所述电场增强元件照射光；以及检测器，其检测来自所述电场增强元件的光。

技术特征：

1.一种电场增强元件，其中，该电场增强元件具有：

2.根据权利要求1所述的电场增强元件，其中，

3.根据权利要求1所述的电场增强元件，其中，

4.根据权利要求1所述的电场增强元件，其中，

5.根据权利要求1所述的电场增强元件，其中，

6.根据权利要求1所述的电场增强元件，其中，

7.根据权利要求1所述的电场增强元件，其中，

8.一种拉曼光谱装置，其中，该拉曼光谱装置具有：

技术总结本发明提供电场增强元件以及拉曼光谱装置，能够提高检测灵敏度。电场增强元件具有：基板；多个细微结构体，它们设置于所述基板，具有导电性；以及透明层，其覆盖所述多个细微结构体和所述基板，由所述多个细微结构体产生的增强电场在所述基板的垂线方向上，在所述多个细微结构体的与所述基板相反的一侧且与所述多个细微结构体分离的位置处具有极大值。技术研发人员：松木隼人,山田文香,伊藤嘉高受保护的技术使用者：精工爱普生株式会社技术研发日：技术公布日：2024/10/10