具有充电组件的外壳系统的制作方法

本公开内容的实施例涉及外壳系统，诸如关联于基板处理系统使用的外壳系统，并且具体地涉及具有充电组件的外壳系统。

背景技术：

1、在基板处理和其他电子处理中，经常使用的平台是使用机械臂在处理腔室之间、从存储区域(例如，前开式标准舱(foup))到处理腔室、从处理腔室到存储区域等运输对象，诸如基板。

技术实现思路

1、以下是本公开内容的简要概述，以提供对本公开内容的一些方面的基本理解。这个概述并不是对本公开内容的广泛概览。此概述并不旨在识别本公开内容的关键或重要元素，也不旨在划定本公开内容的特定实施方式的任何范围或权利要求的任何范围。此概述的唯一目的是以简化的形式呈现本公开内容的一些概念以作为后面呈现的更详细描述的序言。

2、在本公开内容的一方面中，一种外壳系统包括形成内部容积的多个壁。外壳系统被配置为与基板处理系统的装备前端模块(efem)耦合。外壳系统进一步包括充电组件，所述充电组件包括第一充电线圈。外壳系统进一步包括设置在第一充电线圈之下的内部容积内的一个或多个第一支撑结构。一个或多个第一支撑结构被配置为在第一充电线圈的阈值距离内支撑第一验证晶片，以经由充电组件对第一验证晶片进行充电。

3、在本公开内容的另一个方面中，一种配置为与基板处理系统的efem耦合的外壳系统的充电组件包括第一充电线圈，所述第一充电线圈要设置在一个或多个第一支撑结构上方，所述一个或多个第一支撑结构在外壳系统的内部容积内在第一充电线圈的阈值距离内支撑第一验证晶片。第一验证晶片要被一个或多个第一支撑结构定位为将第一验证晶片的第一充电接口与第一充电线圈对准。充电组件进一步包括可再充电电池，所述可再充电电池被配置为经由第一充电线圈对第一验证晶片进行充电。可再充电电池被配置为在可再充电电池与外壳系统耦合时被再充电。

4、在本公开内容的另一个方面中，一种方法包括从验证晶片接收传感器数据的第一子集，所述验证晶片被配置为由基板处理系统的efem的机器人从设置在由外壳系统形成的内部容积中的一个或多个支撑结构进行传输。第一子集至少与验证晶片的电存储设备的充电状态相关联。所述方法进一步包括从外壳系统的充电组件接收传感器数据的第二子集。充电组件被配置为响应于验证晶片被设置在一个或多个支撑结构上，对验证晶片进行充电。所述方法进一步包括基于传感器数据，导致与基板处理系统相关联的纠正动作的执行。

技术特征：

1.一种外壳系统，包括：

2.如权利要求1所述的外壳系统，其中所述一个或多个第一支撑结构被进一步配置为定位所述第一验证晶片，以将所述第一验证晶片的第一充电接口与所述第一充电线圈对准，以经由所述充电组件对所述第一验证晶片进行充电。

3.如权利要求1所述的外壳系统，其中所述充电组件进一步包括：可再充电电池，所述可再充电电池与所述外壳系统的所述多个壁的上壁耦合，并被配置为经由所述第一充电线圈对所述第一验证晶片进行充电，并且其中所述可再充电电池被配置为在所述可再充电电池与所述外壳系统耦合时被再充电。

4.如权利要求1所述的外壳系统，其中所述第一充电线圈与所述外壳系统的上壁的下表面耦合。

5.如权利要求1所述的外壳系统，其中：

6.如权利要求2所述的外壳系统，其中所述充电组件被配置为响应于所述第一验证晶片被设置在距所述充电组件的所述第一充电线圈的所述阈值距离内，向所述第一验证晶片的所述第一充电接口提供电能。

7.如权利要求1所述的外壳系统，进一步包括：一个或多个第二支撑结构，所述一个或多个第二支撑结构被配置为在所述内部容积中支撑工艺套件环，其中所述一个或多个第二支撑结构设置在所述一个或多个第一支撑结构下方。

8.如权利要求3所述的外壳系统，其中所述充电组件进一步包括处理器，其中所述处理器被配置为接收与所述可再充电电池的充电状态相关联的电池数据，并导致与所述电池数据相关联的纠正动作。

9.一种外壳系统的充电组件，所述外壳系统被配置为与基板处理系统的装备前端模块(efem)耦合，其中所述充电组件包括：

10.如权利要求9所述的充电组件，其中所述充电组件包括所述外壳系统的可移除盖，其中所述可移除盖被配置为可移除地附接到所述外壳系统的侧壁，并且其中所述可再充电电池和所述第一充电线圈与所述可移除盖耦合。

11.如权利要求9所述的充电组件，其中所述第一充电线圈被配置为与所述外壳系统的上壁的下表面耦合。

12.如权利要求9所述的充电组件，其中所述充电组件被配置为响应于所述第一验证晶片被设置在距所述充电组件的所述第一充电线圈的所述阈值距离内，向所述第一验证晶片的所述第一充电接口提供电能。

13.如权利要求9所述的充电组件，进一步包括：第二充电线圈，所述第二充电线圈被配置为设置在所述外壳系统的所述一个或多个第一支撑结构下方，并且其中所述可再充电电池被进一步配置为经由所述第二充电线圈对第二验证晶片进行充电。

14.如权利要求13所述的充电组件，其中所述充电组件被配置为响应于所述第二验证晶片被设置在距所述充电组件的所述第二充电线圈的所述阈值距离内，向所述第二验证晶片的第二充电接口提供电能，并且其中所述第二验证晶片要被一个或多个第二支撑结构定位为将所述第二验证晶片的所述第二充电接口与所述第二充电线圈对准。

15.如权利要求9所述的充电组件，进一步包括：处理器，所述处理器被配置为接收与所述可再充电电池的充电状态相关联的电池数据，并导致与所述电池数据相关联的纠正动作。

16.一种方法，包括以下步骤：

17.如权利要求16所述的方法，其中所述纠正动作的所述执行是基于所述传感器数据的所述第一子集，并且其中所述纠正动作包括以下步骤中的一个或多个步骤：

18.如权利要求16所述的方法，其中所述纠正动作的所述执行是基于所述传感器数据的所述第二子集，并且其中所述纠正动作包括以下步骤中的一个或多个步骤：

19.如权利要求16所述的方法，进一步包括以下步骤：

20.如权利要求16所述的方法，进一步包括以下步骤：

技术总结一种外壳系统包括形成内部容积的多个壁。外壳系统被配置为与基板处理系统的装备前端模块(EFEM)耦合。外壳系统进一步包括充电组件，所述充电组件包括第一充电线圈。外壳系统进一步包括设置在第一充电线圈之下的内部容积内的一个或多个第一支撑结构。一个或多个第一支撑结构被配置为在第一充电线圈的阈值距离内支撑第一验证晶片，以经由充电组件对第一验证晶片进行充电。技术研发人员：P·A·克里米诺儿,郭智强,A·S·C·霍,R·S·斯托兹曼,M·C·汉克斯受保护的技术使用者：应用材料公司技术研发日：技术公布日：2024/10/17