旁通流道结构及流量测量装置的制作方法

本申请涉及流量测量相关，具体涉及一种旁通流道结构及流量测量装置。

背景技术：

1、流量测量装置用于检测通过流体通道的流体流量，主要是气体或液体的流量。在现如今的生产生活中，流量测量装置具有十分广泛的应用，如工业控制、燃气监测、生物医疗、汽车进气、暖通空调系统等。根据应用场景不同，待检测的流体组分和流量量程也截然不同。其中，评价流量测量装置性能的主要指标有精度、流量量程、可靠性等等。

2、现有技术中，流量测量装置的基板上设有多个不同类型的流量测量组件，每个流量测量组件中的流量测量芯片通过与各自对应的壳体封装固定于基板上，壳体与流量测量芯片背对基板的表面共同限定出流道，以供流体进入流道以对流体进行流量测量。然而，每个流量测量芯片都需要与各自的壳体对准且连接，导致其制程较为繁琐，制造成本高。

技术实现思路

1、本申请提供一种旁通流道结构及流量测量装置，能够解决现有的流量测量装置的制程繁琐，以及制造成本高的问题。

2、为达上述目的，一方面，本申请提供的旁通流道结构包括本体，所述本体在第一方向具有相对而设的第一壁面和第二壁面，所述第一壁面上设有朝向所述第二壁面凹入且间隔设置的检测流道和收容槽，所述检测流道包括导入段、导出段和连接于所述导入段和所述导出段之间的容置段，所述收容槽内设有间隔布置的导入子流道和导出子流道，所述导入子流道连通所述导入段与所述收容槽，所述导出子流道连通所述导出段与所述收容槽，其中，所述导入段和所述导出段远离所述容置段的一侧均用于与外部的外流道流体连通，所述第一壁面用于与基板连接，所述容置段用于收容所述基板上设置的第一类型流量测量组件，所述收容槽用于收容所述基板上设置的第二类型流量测量组件。

3、另一方面，本申请还提供了一种流量测量装置，包括：

4、基板；

5、如上所记载的旁通流道结构，所述本体的第一壁面与所述基板连接；

6、其中，所述基板朝向所述本体的壁面上间隔设置有第一类型流量测量组件和第二类型流量测量组件，在所述本体的所述第一壁面与所述基板连接后，所述第一类型流量测量组件收容于所述容置段，以及所述第二类型流量测量组件收容于所述收容槽。

7、本申请上述技术方案至少具有如下有益技术效果：本申请通过将具有上述结构的本体的第一壁面连接至基板时，基板上的第一类型流量测量组件被收容于容置段内，基板上的第二类型流量测量组件被收容于收容槽内，以实现通过同一个本体对基板上第一类型流量测量组件和第二类型流量测量组件同时进行封装，有利于简化其制程，降低其制造成本。在具体使用时，外流道的流体通过导入段进入检测流道后，会通过收容于容置段内的第一类型流量测量组件进行第一类型的流量测量，随后经由导出段从检测流道中导出后重新进入外流道。与此同时，检测流道分别通过导入子流道和导出子流道与收容槽流体连通，由此检测流道的一部分流体能够流动至收容槽内，并通过收容于收容槽内的第二类型流量测量组件进行第二类型的流量测量，由此通过两种类型的流量测量组件以对外流道内的流体进行不同检测类型的流量测量，有利于提高流体的流量测量精度，以及流体的流量测量量程比（最大可测流量与最小可测流量的比值）。

技术特征：

1.一种旁通流道结构，其特征在于，包括本体，所述本体在第一方向具有相对而设的第一壁面和第二壁面，所述第一壁面上设有朝向所述第二壁面凹入且间隔设置的检测流道和收容槽，所述检测流道包括导入段、导出段和连接于所述导入段和所述导出段之间的容置段，所述收容槽内设有间隔布置的导入子流道和导出子流道，所述导入子流道连通所述导入段与所述收容槽，所述导出子流道连通所述导出段与所述收容槽，其中，所述导入段和所述导出段远离所述容置段的一侧均用于与外部的外流道流体连通，所述第一壁面用于与基板连接，所述容置段用于收容所述基板上设置的第一类型流量测量组件，所述收容槽用于收容所述基板上设置的第二类型流量测量组件。

2.根据权利要求1所述的旁通流道结构，其特征在于，所述导入段和所述导出段均沿第二方向延伸，并在第三方向上间隔设置，所述收容槽设于所述导入段和所述导出段之间的间隔内，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

3.根据权利要求1所述的旁通流道结构，其特征在于，还包括设于所述第二壁面的挡流结构，所述挡流结构上设有互不导通的第一导流槽和第二导流槽，所述收容槽的底壁开设有贯通且相互间隔的第一导流孔和第二导流孔，所述导入段的底壁开设有贯通的第一通孔，所述导出段的底壁开设有贯通的第二通孔，其中，所述第一导流孔和所述第一通孔均与所述第一导流槽连通以构成所述导入子流道，所述第二导流孔和所述第二通孔均与所述第二导流槽连通以构成所述导出子流道。

4.根据权利要求3所述的旁通流道结构，其特征在于，所述第二壁面上设有朝向所述第一壁面凹入的安装槽，所述挡流结构嵌设于所述安装槽内，并与所述安装槽密封连接。

5.根据权利要求1所述的旁通流道结构，其特征在于，所述本体上设有第一过孔和第二过孔，所述第一过孔设于所述导入段背离所述容置段的一侧，用于连通所述导入段与所述外流道，所述第二过孔设于所述导出段背离所述容置段的一侧，用于连通所述导出段与所述外流道。

6.根据权利要求5所述的旁通流道结构，其特征在于，所述本体具有连接于所述第一壁面和所述第二壁面之间的外侧壁，所述第一过孔和所述第二过孔均沿第二方向延伸，且均位于同一所述外侧壁上，或者，所述第一过孔和所述第二过孔均沿第三方向延伸，且分别位于相对而设的两个所述外侧壁上，所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向两两垂直。

7.根据权利要求5或6所述的旁通流道结构，其特征在于，还包括凸设于所述本体上的第一接头和第二接头，所述第一接头连接于所述第一过孔背离所述导入段的一侧，所述第二接头连接于所述第二过孔背离所述导出段的一侧，所述第一接头和所述第二接头均用于与所述外流道连通。

8.根据权利要求5或6所述的旁通流道结构，其特征在于，所述第一过孔背离所述导入段的一端设有第一密封圈，所述第二过孔背离所述导出段的一端设有第二密封圈。

9.根据权利要求8所述的旁通流道结构，其特征在于，

10.一种流量测量装置，其特征在于，包括：

11.根据权利要求10所述的流量测量装置，其特征在于，所述第一类型流量测量组件包括热式质量流量芯片，所述第二类型流量测量组件包括微差压流量芯片和封装固定所述微差压流量芯片的封装体，所述封装体上设有互不导通的第一通道和第二通道，所述导入子流道与所述第一通道对准并连通，所述导出子流道与所述第二通道对准并连通。

12.根据权利要求11所述的流量测量装置，其特征在于，所述导入子流道靠近所述第一通道的孔壁上设有第一溢胶环槽，所述导出子流道靠近所述第二通道的孔壁上设有第二溢胶环槽；

13.根据权利要求11所述的流量测量装置，其特征在于，所述热式质量流量芯片包括衬底层和敏感膜，所述衬底层上开设有沿其厚度方向贯通的空腔，所述衬底层与所述基板连接，所述敏感膜设于所述衬底层背对所述基板的一侧，且覆盖所述空腔以构成敏感膜区域，在所述敏感膜区域，所述敏感膜背对所述衬底层的一侧设有微热源，设于所述微热源上游侧的第一温度传感器，设于所述微热源下游侧的第二温度传感器，所述衬底层背对所述基板的一侧还设有第三温度传感器，所述第三温度传感器位于所述第一温度传感器的上游侧。

14.根据权利要求11所述的流量测量装置，其特征在于，所述基板上设有多个焊盘且设有与多个焊盘一一对应且电性连接的多个导电过孔，所述热式质量流量芯片的引脚通过引线与所述焊盘电性连接，所述引线以及所述引线的两连接端均包裹有保护胶层，所述导电过孔用于与外部的信号处理电路和/或流量控制电路电性连接。

15.根据权利要求12所述的流量测量装置，其特征在于，还包括控制单元，以及与所述控制单元电性连接的物性参数检测传感器，所述物性参数检测传感器设于所述检测流道或所述导入子流道或所述导出子流道内，所述物性参数检测传感器包括压力传感器、温度传感器、湿度传感器、气体浓度传感器和气体组分传感器中的一个或多个。

技术总结本申请公开了一种旁通流道结构及流量测量装置，涉及流量测量相关技术领域，用于解决现有的流量测量装置的制程繁琐，以及制造成本高的问题。本申请提供的旁通流道结构包括本体，本体在第一方向具有相对而设的第一壁面和第二壁面，第一壁面上设有朝向第二壁面凹入且间隔设置的检测流道和收容槽，检测流道包括导入段、导出段和连接于导入段和导出段之间的容置段，收容槽内设有间隔布置的导入子流道和导出子流道，导入子流道连通导入段与所述收容槽，所述导出子流道连通所述导出段与所述收容槽，导入段和导出段远离所述容置段的一侧均用于与外部的外流道流体连通。本申请提供的旁通流道结构能够简化流量测量装置的制程，以及降低其制造成本。技术研发人员：孙秉坤,杨宏愿,杨天成受保护的技术使用者：苏州敏芯微电子技术股份有限公司技术研发日：技术公布日：2024/11/4