位移探测装置、励振装置以及振荡器的制作方法

本公开涉及位移探测装置、励振装置以及振荡器。

背景技术：

1、确认在对多层石墨烯施加剪切负荷时在基底面产生滑动，生成石墨烯小片，在去掉负荷时石墨烯小片高速回到原来的位置。根据该性质，存在能够将石墨烯用作高频的振子的可能性，但由于石墨烯小片微小而能够探测举动的手法受限，成为开发的障碍。作为探测手法之一有刀口法，在刀口法中，根据照射的激光的功率与反射的激光的功率之差测定石墨烯的位移。在刀口法中，需要激光的振荡源、检测器以及多个透镜，实现刀口法的装置会相对于石墨烯成为过大的尺寸，无法活用作为石墨烯的特征的小尺寸。

2、已知根据由固定电极和可动电极构成的电容器的静电电容的变化测定可动电极的位移的手法。在实现该手法的装置中，需要相对于基板垂直地配置可动电极。难以相对于基板垂直地设置厚度为纳米至亚微米尺寸的石墨烯，并且在层间施加剪切负荷时变得不稳定，所以无法正确地测定石墨烯的位移。

3、在专利文献1中，作为位移的测定方法，公开了测定由于平行的电极的对置的面积的变化引起的静电电容的变化的手法。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2008-170402号公报

技术实现思路

1、然而，在专利文献1公开的手法中，相对于基板垂直地设置电极。在以使基底面相对于基板垂直的方式设置层叠有薄膜的多层的石墨烯时变得不稳定，所以在专利文献1公开的手法中，无法正确地测定石墨烯的位移。

2、本公开是鉴于上述完成的，其目的在于得到能够正确地测定石墨烯的位移的位移探测装置。

3、为了解决上述课题并达成目的，本公开所涉及的位移探测装置具备：绝缘基板；石墨烯块，固定于绝缘基板的面积最大的面且层状地层叠有由单层的石墨烯构成的石墨烯片材；以及导体的电极，设置于绝缘基板的上述面。绝缘基板的上述面与包含于石墨烯块的多个石墨烯片材各自的基底面平行。石墨烯块包括在施加了具有与基底面平行的分量的力的情况下在与基底面平行的方向上产生滑动而移动的、由一个或者多个石墨烯片材构成的石墨烯小片。电极被设置成由电极和石墨烯小片构成的电容器的静电电容与石墨烯小片的移动量对应地变化。

4、本公开所涉及的位移探测装置起到能够正确地测定石墨烯的位移这样的效果。

技术特征：

1.一种位移探测装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的位移探测装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的位移探测装置，其特征在于，

4.一种励振装置，其特征在于，具备：

5.根据权利要求4所述的励振装置，其特征在于，

6.根据权利要求5所述的励振装置，其特征在于，

7.根据权利要求4所述的励振装置，其特征在于，

8.根据权利要求7所述的励振装置，其特征在于，

9.根据权利要求8所述的励振装置，其特征在于，

10.一种振荡器，其特征在于，具备：

11.根据权利要求10所述的振荡器，其特征在于，

12.根据权利要求10所述的振荡器，其特征在于，

13.根据权利要求10所述的振荡器，其特征在于，

技术总结位移探测装置(1)具有：绝缘基板(11)；石墨烯块(12)，固定于绝缘基板(11)的面积最大的面且层状地层叠有由单层的石墨烯构成的石墨烯片材；以及导体的电极(13)，设置于绝缘基板(11)的上述面。绝缘基板(11)的上述面与包含于石墨烯块(12)的多个石墨烯片材各自的基底面平行。石墨烯块(12)包括在施加了具有与基底面平行的分量的力的情况下在与基底面平行的方向上产生滑动而移动的、由一个或者多个石墨烯片材构成的石墨烯小片(14)。电极(13)被设置成由电极(13)和石墨烯小片(14)构成的电容器的静电电容与石墨烯小片(14)的移动量对应地变化。技术研发人员：上垣慎,梶山佳敬受保护的技术使用者：三菱电机株式会社技术研发日：技术公布日：2024/11/14