显影液喷嘴以及显示面板显影设备的制作方法

本技术涉及显示装置制造，尤其涉及一种显影液喷嘴以及显示面板显影设备。

背景技术：

1、在液晶显示器的制造工艺中，晶体管阵列制造工艺是一个非常重要的生产阶段，其主要是在显示面板(玻璃基板)上形成若干个呈阵列分布的薄膜晶体管(简称tft)。晶体管阵列制造工艺按先后顺序主要包括显示面板成膜、光刻胶涂布、曝光、显影和蚀刻等。其中，显示面板成膜主要通过蒸镀、化学气相沉积等方式在玻璃基板上形成薄膜结构。光刻胶涂布主要是在薄膜结构上涂布一层光刻胶。曝光主要是利用紫外光透过掩膜板在光刻胶上形成图案印记。显影主要是向光刻胶喷涂显影液，利用显影液除去被曝光或未被曝光的光刻胶(配合光刻胶的正反特性)，以将掩膜板的图案显示在光刻胶涂层上。蚀刻主要是利用蚀刻药液除去未被光刻胶遮挡的薄膜结构，并最终形成薄膜晶体管。

2、在显影工艺中，需要使用显影设备对显示面板进行显影处理。现有的一种显影设备如图1所示，其包括喷嘴1′。喷嘴1′内具有用于容纳显影液的储液腔11′，喷嘴1′的顶部设置有进液管，通过进液管向储液腔11′内输入显影液。喷嘴1′的底部设置有喷口12′，储液腔11′内的显影液通过喷口12′向下喷射至显示面板2′的表面，以实现对显示面板2′的显影处理。

3、现有技术存在以下不足：当显影液经进液管输入储液腔11′时，由于进液管与显影液的液面存在落差，造成显影液产生大量的气泡13′。在显影处理中，气泡13′会随着显影液一起被喷洒在显示面板表面。因含有气泡13′和不含有气泡13′的显影液对光刻胶的反应效果明显不同(显影液成分浓度存在差异)，进而造成显示面板上部分区域显影不良，影响显影工序的成品率。

技术实现思路

1、本实用新型的一个目的在于提出一种显影液喷嘴，其能够去除显影液中的气泡，显影质量好。

2、本实用新型的另一个目的在于提出一种显示面板显影设备，其显影质量好，成品率高。

3、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

4、提供的一种显影液喷嘴，包括：

5、壳体，所述壳体内具有用于容纳显影液的储液腔，所述壳体的底部开设有用于喷洒所述显影液的喷口；

6、隔板，所述隔板设置于所述储液腔内，所述隔板将所述储液腔分隔成位于上方的上腔室和位于下方的下腔室，所述隔板上间隔开设有多个通孔，所述上腔室与所述下腔室通过所述通孔连通；

7、除泡组件，所述除泡组件包括活动设置于所述储液腔顶部的吸泡器，所述吸泡器能够沿所述壳体的长度方向运动，所述吸泡器包括吸嘴，所述吸嘴用于吸取位于所述显影液液面的气泡。

8、作为显影液喷嘴的一种优选方案，所述隔板为弧形板或曲面板。

9、作为显影液喷嘴的一种优选方案，所述隔板的凹面侧朝向所述喷口。

10、作为显影液喷嘴的一种优选方案，所述吸泡器包括基座，所述基座与所述储液腔的顶部活动连接，沿所述吸泡器的运动方向，所述基座相对的两端均设置有所述吸嘴。

11、作为显影液喷嘴的一种优选方案，所述吸泡器还包括海绵块，所述海绵块设置于所述基座的底部，所述海绵块背离所述基座的一端浸没在所述显影液中。

12、作为显影液喷嘴的一种优选方案，所述储液腔的顶部设置有导轨，所述导轨的底部设置有滑槽，所述除泡组件还包括滑块和驱动件，所述基座安装在所述滑块上，所述滑块与所述滑槽滑动连接，所述驱动件设置于所述导轨上并与所述滑块连接，所述驱动件用于驱动所述滑块沿所述滑槽的长度方向运动。

13、作为显影液喷嘴的一种优选方案，所述除泡组件还包括伸缩件，所述滑块与所述基座之间通过所述伸缩件连接，以使所述伸缩件能够调节所述吸嘴与所述显影液液面的间距。

14、作为显影液喷嘴的一种优选方案，所述储液腔的顶部设置有传感器，所述传感器用于检测所述显影液液面的气泡和所述显影液的液面位置。

15、作为显影液喷嘴的一种优选方案，还包括排气管，所述排气管设置于所述壳体的顶部，所述排气管与所述储液腔连通。

16、还提供一种显示面板显影设备，包括运输装置、供液装置和显影液喷嘴，所述供液装置与所述显影液喷嘴连接，所述供液装置用于向所述显影液喷嘴输入显影液，所述运输装置包括多个沿第一方向间隔设置的驱动辊轮，所述第一方向垂直于所述显影液喷嘴的长度方向，所述驱动辊轮用于承载显示面板并驱动所述显示面板从所述显影液喷嘴的喷口下方通过。

17、本实用新型相比于现有技术的有益效果：

18、本实用新型的显影液喷嘴以及显示面板显影设备，通过在壳体内设置除泡组件，利用除泡器沿壳体的长度方向运动，以使显影液液面的气泡被吸嘴吸走，达到除去显影液中气泡的目的。该结构避免了气泡随显影液被喷洒至显示面板上，进而保证光刻胶涂层与显影液的反应效果，避免出现显影不良的问题。同时，壳体内设置有隔板，利用隔板将储液腔分隔成上腔室和下腔室。在除泡过程中，当除泡器在显影液的液面运动时，在隔板的隔离作用下，可避免对下腔室的显影液造成较大的扰动，进而避免影响喷口各个区域的显影液流速，提高显影液对显示面板喷洒的均匀性，进一步提高显影质量，保证显影工序的成品率。

技术特征：

1.一种显影液喷嘴，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的显影液喷嘴，其特征在于，所述隔板为弧形板或曲面板。

3.根据权利要求2所述的显影液喷嘴，其特征在于，所述隔板的凹面侧朝向所述喷口。

4.根据权利要求1所述的显影液喷嘴，其特征在于，所述吸泡器包括基座，所述基座与所述储液腔的顶部活动连接，沿所述吸泡器的运动方向，所述基座相对的两端均设置有所述吸嘴。

5.根据权利要求4所述的显影液喷嘴，其特征在于，所述吸泡器还包括海绵块，所述海绵块设置于所述基座的底部，所述海绵块背离所述基座的一端浸没在所述显影液中。

6.根据权利要求4所述的显影液喷嘴，其特征在于，所述储液腔的顶部设置有导轨，所述导轨的底部设置有滑槽，所述除泡组件还包括滑块和驱动件，所述基座安装在所述滑块上，所述滑块与所述滑槽滑动连接，所述驱动件设置于所述导轨上并与所述滑块连接，所述驱动件用于驱动所述滑块沿所述滑槽的长度方向运动。

7.根据权利要求6所述的显影液喷嘴，其特征在于，所述除泡组件还包括伸缩件，所述滑块与所述基座之间通过所述伸缩件连接，以使所述伸缩件能够调节所述吸嘴与所述显影液液面的间距。

8.根据权利要求1至7任一项所述的显影液喷嘴，其特征在于，所述储液腔的顶部设置有传感器，所述传感器用于检测所述显影液液面的气泡和所述显影液的液面位置。

9.根据权利要求1至7任一项所述的显影液喷嘴，其特征在于，还包括排气管，所述排气管设置于所述壳体的顶部，所述排气管与所述储液腔连通。

10.一种显示面板显影设备，其特征在于，包括运输装置、供液装置和如权利要求1至9任一项所述的显影液喷嘴，所述供液装置与所述显影液喷嘴连接，所述供液装置用于向所述显影液喷嘴输入显影液，所述运输装置包括多个沿第一方向间隔设置的驱动辊轮，所述第一方向垂直于所述显影液喷嘴的长度方向，所述驱动辊轮用于承载显示面板并驱动所述显示面板从所述显影液喷嘴的喷口下方通过。

技术总结本技术涉及一种显影液喷嘴以及显示面板显影设备，显影液喷嘴包括壳体、隔板和除泡组件。壳体内具有用于储液腔，隔板设置于储液腔内，隔板将储液腔分隔成上腔室和下腔室，隔板上间隔开设有多个通孔。除泡组件包括活动设置于储液腔顶部的吸泡器，吸泡器能够沿壳体的长度方向运动，吸泡器包括吸嘴，吸嘴用于吸取位于显影液液面的气泡。该结构避免了气泡随显影液被喷洒至显示面板上，进而保证光刻胶涂层与显影液的反应效果，避免出现显影不良的问题。以及，当除泡器在显影液的液面运动时，在隔板的隔离作用下，可避免对下腔室的显影液造成较大的扰动，进而避免影响喷口各个区域的显影液流速，提高显影液对显示面板喷洒的均匀性。技术研发人员：张垚,巫黄蓉受保护的技术使用者：乐金显示光电科技（中国）有限公司技术研发日：20231212技术公布日：2024/11/21