一种带刮刀装置的真空镀膜设备的制作方法

本申请涉及卷绕真空镀膜机的，尤其是涉及一种带刮刀装置的真空镀膜设备。

背景技术：

1、卷绕真空镀膜机的工作原理主要涉及到物理气相沉积（pvd）技术，在柔性基体上连续镀膜。

2、卷绕真空镀膜机主要由真空室、卷绕装置、加热系统、控制系统和真空系统等部分组成。真空室：用于在镀膜过程中创造并保持高真空环境的容器，以确保镀膜质量。卷绕装置：包括转动轴和转动马达等部分，用于控制柔性基材的放卷和收卷，使基材在镀膜过程中连续通过镀膜区域。加热系统，用于将蒸发源材料加热至熔化状态，并使其蒸发成气态。控制系统，负责整个镀膜过程的自动化控制，包括真空度的调节、加热系统的温度控制、卷绕装置的速度控制等。在真空环境下，加热系统将蒸发源材料加热至熔化状态，并产生大量的蒸发气体。这些蒸发气体在真空室内扩散，并遇到连续通过的柔性基材时，会在其表面凝结形成所需的镀膜。

3、针对上述中的相关技术，存在材料飞溅的问题。飞溅到膜材上的颗粒在收卷过程中，还会造成其收卷位置的上下层被飞溅颗粒压伤。尤其现在很多行业都是用的4.5微米以下厚度的超薄膜，飞溅颗粒会影响较多的收卷膜层，进而造成镀膜报废率过高。

技术实现思路

1、为了改善现有技术材料飞溅颗粒粘附于膜材上的问题，本申请提供一种带刮刀装置的真空镀膜设备。

2、采用如下的技术方案：

3、一种带刮刀装置的真空镀膜设备，包括真空镀膜设备主体和刮刀装置；所述真空镀膜设备主体包括真空室，以及设置于真空室中的卷绕装置；所述卷绕装置包括收卷辊、放卷辊、镀膜鼓和若干转向辊；所述刮刀装置包括支架、集尘盒和刀片；所述集尘盒通过支架设置于所述真空室的内壁上；所述集尘盒自下而上向所述转向辊所在位置倾斜设置；所述刀片设置于所述集尘盒端部；所述刀片由所述集尘盒的下壁延伸至抵接所述转向辊处；所述集尘盒内存在集尘腔，所述集尘腔靠近所述刀片的一端向外贯通形成开口；所述刀片位于所述集尘盒的最高点；所述膜材先经过所述开口再至所述刀片处。

4、通过采用上述技术方案，通过膜材和刀片的相对运动，使刀片将粘附于膜材上飞溅颗粒刮除，进而保证收卷前将飞溅颗粒清理，防止飞溅颗粒收卷，同时还可以将膜材在镀膜过程中产生的鼓包等缺陷进行一定的修复刮平。刮除的飞溅颗粒由开口落入集尘盒中。

5、可选的，所述集尘盒滑动连接于所述支架上；所述支架上设置有驱动所述集尘盒滑动的滑动驱动组件。

6、通过采用上述技术方案，集尘盒滑动连接于支架上，并配备滑动驱动组件，这一设计允许用户根据实际需要调整集尘盒的位置，使得调节刀片与膜材的接触程度处于合适范围。

7、可选的，所述滑动驱动组件包括第一螺杆、平衡杆和第一驱动件；所述第一螺杆两端转动连接所述支架；所述第一驱动件驱动所述第一螺杆转动；所述平衡杆平行所述第一螺杆固接所述支架；所述集尘盒两侧分别设置有第一凸块和第二凸块；所述第一螺杆贯穿第一凸块，并与所述第一凸块螺纹连接；所述平衡杆贯穿所述第二凸块。

8、通过采用上述技术方案，第一螺杆、平衡杆和第一驱动件的配合确保了集尘盒在支架上的平稳滑动。第一螺杆与第一凸块的螺纹连接以及平衡杆的辅助支撑，既保证了滑动的稳定性，又实现了滑动的精确控制。

9、可选的，所述刀片通过螺栓与所述集尘盒可拆卸连接。

10、通过采用上述技术方案，刀片通过螺栓与集尘盒可拆卸连接的设计，便于用户更换磨损的刀片，降低了维护成本。

11、可选的，所述集尘盒开口处靠近所述刀片的位置设置有过渡坡。

12、可选的，所述集尘盒内开设有滑槽；所述集尘盒端部外壁开设有供所述刀片穿出的进刀槽，所述进刀槽与所述滑槽连通；所述集尘盒底部开设有操作槽；所述集尘盒侧壁开设有让位槽，所述让位槽与所述滑槽连通；所述操作槽与所述滑槽连通；所述刮刀装置还包括刀座、第二螺杆和第二驱动件；所述刀片连接所述刀座，所述刀座滑动连接于所述滑槽中；所述第二螺杆转动连接所述集尘盒，所述第二驱动件驱动所述第二螺杆转动；所述第二螺杆设置于让位槽中；所述第二螺杆上贯穿且螺纹连接有滑块，所述滑块通过连杆连接所述刀座。

13、通过采用上述技术方案，便于通过连杆和滑块实现刀座的滑动调节。

14、可选的，所述刀座包括连接杆和传动杆，连接杆连接刀片，连接杆和传动杆平行设置；所述连接杆为矩形长杆，所述传动杆为圆形长杆；所述连接杆高度与所述滑槽的相等；所述连杆端部设置有连接环，所述连接环套设于所述传动杆上。

15、可选的，所述连接杆两端部均开设有伸缩槽，所述伸缩槽中滑动连接限位块，所述限位块可滑动后穿出所述伸缩槽；所述伸缩槽中设置有使得所述限位块始终具有向外穿出所述伸缩槽的趋势的弹性件；所述滑槽两侧内壁上均开设有限位凹槽，所述限位块可穿入所述限位凹槽中。

16、通过采用上述技术方案，连接杆两端的伸缩槽和限位块设计，使得刀座在滑槽中滑动时能够自动锁定在特定位置，防止了因振动或误操作导致的刀座移位。弹性件的应用，确保了限位块始终具有向外穿出的趋势，从而提高了锁定的可靠性。

17、可选的，所述限位块侧壁上设置有若干凸块，所述伸缩槽内壁上沿长度方向开设有若干供所述凸块滑动的块槽。

18、可选的，所述限位块穿出所述连接杆外的一端上边沿开设有第一倒角；所述限位凹槽远离所述开口的一端设置有第二倒角。

19、通过采用上述技术方案，限位块和限位凹槽上的第一倒角和第二倒角设计，减少了限位块在穿入和脱出限位凹槽时的阻力。

20、综上所述，本申请包括以下至少一种有益效果：

21、1.通过膜材和刀片的相对运动，使刀片将粘附于膜材上飞溅颗粒刮除，防止飞溅颗粒收卷；

22、2.使得作业人员进行换刀时，能够省略重新校对刀片的工序，增加换刀效率；

23、3.使得作业人员在狭窄空间内换刀更加容易。

技术特征：

1.一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：包括真空镀膜设备主体和刮刀装置；所述真空镀膜设备主体包括真空室（1），以及设置于真空室（1）中的卷绕装置；所述卷绕装置包括收卷辊（11）、放卷辊（12）、镀膜鼓（13）和若干转向辊（14）；所述刮刀装置包括支架（2）、集尘盒（3）和刀片（4）；所述集尘盒（3）通过支架（2）设置于所述真空室（1）的内壁上；所述集尘盒（3）自下而上向所述转向辊（14）所在处倾斜设置；所述刀片（4）设置于所述集尘盒（3）端部；所述刀片（4）由所述集尘盒（3）的下壁延伸至抵接所述转向辊（14）处；所述集尘盒（3）内存在集尘腔（31），所述集尘腔（31）靠近所述刀片（4）的一端向外贯通形成开口（311）；所述刀片（4）位于所述集尘盒（3）的最高点；所述膜材先经过所述开口（311）再至所述刀片（4）处。

2.根据权利要求1所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述集尘盒（3）滑动连接于所述支架（2）上；所述支架（2）上设置有驱动所述集尘盒（3）滑动的滑动驱动组件。

3.根据权利要求2所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述滑动驱动组件包括第一螺杆（21）、平衡杆（22）和第一驱动件（23）；所述第一螺杆（21）两端转动连接所述支架（2）；所述第一驱动件（23）驱动所述第一螺杆（21）转动；所述平衡杆（22）平行所述第一螺杆（21）固接所述支架（2）；所述集尘盒（3）两侧分别设置有第一凸块（37）和第二凸块（38）；所述第一螺杆（21）贯穿第一凸块（37），并与所述第一凸块（37）螺纹连接；所述平衡杆（22）贯穿所述第二凸块（38）。

4.根据权利要求1所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述刀片（4）通过螺栓与所述集尘盒（3）可拆卸连接。

5.根据权利要求1所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述集尘盒（3）开口（311）处靠近所述刀片（4）的位置设置有过渡坡（39）。

6.根据权利要求1所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述集尘盒（3）内开设有滑槽（32）；所述集尘盒（3）端部外壁开设有供所述刀片（4）穿出的进刀槽（33），所述进刀槽（33）与所述滑槽（32）连通；所述集尘盒（3）底部开设有操作槽（34）；所述集尘盒（3）侧壁开设有让位槽（35），所述让位槽（35）与所述滑槽（32）连通；所述操作槽（34）与所述滑槽（32）连通；所述刮刀装置还包括刀座（5）、第二螺杆（61）和第二驱动件（63）；所述刀片（4）连接所述刀座（5），所述刀座（5）滑动连接于所述滑槽（32）中；所述第二螺杆（61）转动连接所述集尘盒（3），所述第二驱动件（63）驱动所述第二螺杆（61）转动；所述第二螺杆（61）设置于让位槽（35）中；所述第二螺杆（61）上贯穿且螺纹连接有滑块（62），所述滑块（62）通过连杆（621）连接所述刀座（5）。

7.根据权利要求6所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述刀座（5）包括连接杆（51）和传动杆（53），连接杆（51）连接刀片（4），连接杆（51）和传动杆（53）平行设置；所述连接杆（51）为矩形长杆，所述传动杆（53）为圆形长杆；所述连接杆（51）高度与所述滑槽（32）的相等；所述连杆（621）端部设置有连接环（622），所述连接环（622）套设于所述传动杆（53）上。

8.根据权利要求7所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述连接杆（51）两端部均开设有伸缩槽（511），所述伸缩槽（511）中滑动连接限位块（52），所述限位块（52）可滑动后穿出所述伸缩槽（511）；所述伸缩槽（511）中设置有使得所述限位块（52）始终具有向外穿出所述伸缩槽（511）的趋势的弹性件（513）；所述滑槽（32）两侧内壁上均开设有限位凹槽（36），所述限位块（52）可穿入所述限位凹槽（36）中。

9.根据权利要求8所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述限位块（52）侧壁上设置有若干凸块（522），所述伸缩槽（511）内壁上沿长度方向开设有若干供所述凸块（522）滑动的块槽（512）。

10.根据权利要求9所述的一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其特征在于：所述限位块（52）穿出所述连接杆（51）外的一端上边沿开设有第一倒角（521）；所述限位凹槽（36）远离所述开口（311）的一端设置有第二倒角（361）。

技术总结本申请涉及卷绕真空镀膜机的技术领域，改善了现有技术材料飞溅颗粒粘附于膜材上的问题，公开了一种带刮刀装置的真空镀膜设备，其包括空镀膜设备主体和刮刀装置；真空镀膜设备主体包括真空室、卷绕装置；卷绕装置包括收卷辊、放卷辊、镀膜鼓和若干转向辊；刮刀装置包括支架、集尘盒和刀片；集尘盒通过支架设置于真空室的内壁上；集尘盒自下而上向转向辊所在处倾斜设置；刀片设置于集尘盒端部；刀片由集尘盒的下壁延伸至抵接转向辊处；集尘盒内存在集尘腔，集尘腔靠近刀片的一端向外贯通形成开口；刀片位于集尘盒的最高点；膜材先经过开口再至刀片处。本申请能够将粘附于膜材上飞溅颗粒刮除，防止飞溅颗粒收卷。技术研发人员：吴子敬,李大维,郭伟杰,赵莉,靳诺,崔鑫,肖剑,刘文丽受保护的技术使用者：北京北方华创真空技术有限公司技术研发日：技术公布日：2024/12/2