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深沟槽填充方法与流程
本申请涉及半导体制造,具体涉及一种深沟槽填充方法。背景技术:1、随着mos管尺寸的逐渐减小,如何降低器件漏电显得尤为重要。研究表明,利用o2(氧气)等离子体处理可以有效去除晶圆表面吸附有机污染物(反应......
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监控超结器件深沟槽内外延浓度的图形及方法与流程
本发明涉及半导体器件及工艺制造领域,特别是涉及一种针对超结mosfet器件的监控超结器件深沟槽内外延浓度的图形及方法。背景技术:1、超结(super junction:sj)结构就是交替排列的n型立柱......
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一种不易断裂的深沟刀的制作方法
本技术涉及深沟刀,尤其涉及一种不易断裂的深沟刀。背景技术:1、在工件加工过程中,往往需要对工件进行深沟加工,而深沟铣刀则是一种用于深沟加工的刀具,广泛应用于机械加工行业中的各类机床设备上。2、在现有技......
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一种屋面虹吸排水天沟局部深沟结构的制作方法
本申请涉及建筑,具体而言,涉及一种屋面虹吸排水天沟局部深沟结构。背景技术:1、一套完整的虹吸排水系统由虹吸雨水斗、悬吊管、立管、排出管、屋面天沟等组成,其口径规格大小经过基于伯努利方程的计算。在降雨初......