本技术涉及光学检测设备领域,具体而言,涉及一种白光干涉轮廓仪。背景技术:1、白光干涉轮廓仪是一种高精度的光学测量仪器,用于非接触式地测量微小表面形貌和轮廓的工具。它基于干涉原理并利用白光光源,可以提供......