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一种白光干涉轮廓仪的制作方法

  • 国知局
  • 2024-07-17 13:52:59

本技术涉及光学检测设备领域,具体而言,涉及一种白光干涉轮廓仪。

背景技术:

1、白光干涉轮廓仪是一种高精度的光学测量仪器,用于非接触式地测量微小表面形貌和轮廓的工具。它基于干涉原理并利用白光光源,可以提供高分辨率和三维表面拓扑信息,白光干涉轮廓仪的优点包括高分辨率、大测量范围、非接触式测量、快速测量速度和适用于多种材料等,在微细结构、光学元件、半导体芯片、微机械系统和纳米材料等领域的研究和应用中具有广泛的用途。

2、而现在大多数的白光干涉轮廓仪存在以下几个问题:

3、一、现有的白光干涉轮廓仪,在使用时,设备的使用高度大多为固定状态,在不同使用情况下,需要对使用高度调节时,较为麻烦,不便对设备的使用高度进行灵活而精确度调节,影响检测准确性。

4、二、现有的白光干涉轮廓仪,工作原理是基于干涉技术,其中使用的光源和光路设计是固定的,并且需要保持稳定的光程差来生成干涉图案,若测量物品移动或灯光角度调节后,设备限制了测量的多角度视角与限制了特定应用的测量能力,不便对设备的使用角度进行调节使用。

5、因此我们对此做出改进,提出一种白光干涉轮廓仪。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于:针对目前存在的不便对设备的使用高度进行灵活而精确度调节,同时不便对设备的使用角度进行调节使用的问题。

2、为了实现上述实用新型目的,本实用新型提供了以下技术方案:

3、白光干涉轮廓仪,以改善上述问题。

4、本申请具体是这样的:

5、包括工作台,所述工作台上固定连接有防滑垫,所述工作台上固定连接有安装箱,所述安装箱内固定连接有挡块,所述安装箱上转动连接有转动件,所述转动件上固定连接有双向螺纹杆,所述双向螺纹杆转动连接在安装箱内,所述双向螺纹杆上螺纹连接有移动块,所述移动块上限位滑动连接有支撑架,所述支撑架上转动连接有滑轮,所述支撑架上固定连接有第一滑块,所述第一滑块上限位滑动连接有托举板,所述托举板上固定连接有连接杆,所述连接杆上固定连接有安装板,所述安装板上通过轴承连接有转板,所述转板上安装有轮廓仪本体,所述转板上限位滑动连接有第二滑块,所述第二滑块上固定连接有固定板,所述安装板上开设有卡槽,所述固定板上固定连接有卡块,所述固定板内固定连接有弹簧。

6、作为本申请优选的技术方案,所述挡块的横截面呈等腰三角形,所述转动件固定连接在双向螺纹杆一侧中心部位。

7、作为本申请优选的技术方案,所述转动件对称分布在双向螺纹杆左右两侧,所述转动件通过移动块与支撑架一一对应。

8、作为本申请优选的技术方案,所述托举板侧端面与安装箱内侧面相贴合,所述第一滑块与第二滑块的横截面均呈“t”形。

9、作为本申请优选的技术方案,所述卡槽的中心线与卡块的中心线呈同一竖直线,所述卡块等距分布在固定板上。

10、作为本申请优选的技术方案,所述弹簧另一端固定连接有导向杆,所述固定板上固定连接有推板,所述导向杆端部侧端面与固定板内侧面相贴合。

11、与现有技术相比,本实用新型的有益效果:

12、在本申请的方案中:

13、1.通过设置的挡块,在对设备的高度进行调节时,可转动转动件带动双向螺纹杆运转,双向螺纹杆转动时,能够带动两侧移动块进行移动,两侧移动块向内移动时,能够带动支撑架同时移动,支撑架移动时能够通过滑轮配合挡块的倾斜面,能够带动支撑架上移,支撑架向上移动时,能够带动托举板进行平稳移动,托举板能够对安装的轮廓仪本体进行精准的高度调节,方便对不同检查情况进行调节使用。

14、2.通过设置的转板,在对轮廓仪本体的使用角度进行调节时,可挤压两侧推板,推板带动两侧固定板贴合移动,固定板移动时能够通过导向杆对弹簧进行挤压,且固定板能够通过第二滑块的限位下进行平稳移动,同时固定板上的卡块从卡槽中脱离,固定板不受阻碍后,可带动转板转动,转板在转动时,能够对安装的轮廓仪本体进行便捷的角度调节,调节完成后,松开推板,在弹簧的推动下带动固定板复位,固定板复位后能够带动卡块卡合在卡槽中,对转板进行便捷的安装限位。

技术特征:

1.一种白光干涉轮廓仪,包括工作台(1),其特征在于,所述工作台(1)上固定连接有防滑垫(2),所述工作台(1)上固定连接有安装箱(3),所述安装箱(3)内固定连接有挡块(4),所述安装箱(3)上转动连接有转动件(5),所述转动件(5)上固定连接有双向螺纹杆(6),所述双向螺纹杆(6)转动连接在安装箱(3)内,所述双向螺纹杆(6)上螺纹连接有移动块(7),所述移动块(7)上限位滑动连接有支撑架(8),所述支撑架(8)上转动连接有滑轮(9),所述支撑架(8)上固定连接有第一滑块(10),所述第一滑块(10)上限位滑动连接有托举板(11),所述托举板(11)上固定连接有连接杆(12),所述连接杆(12)上固定连接有安装板(13),所述安装板(13)上通过轴承连接有转板(14),所述转板(14)上安装有轮廓仪本体(15),所述转板(14)上限位滑动连接有第二滑块(16),所述第二滑块(16)上固定连接有固定板(17),所述安装板(13)上开设有卡槽(18),所述固定板(17)上固定连接有卡块(19),所述固定板(17)内固定连接有弹簧(20)。

2.根据权利要求1所述的一种白光干涉轮廓仪,其特征在于,所述挡块(4)的横截面呈等腰三角形,所述转动件(5)固定连接在双向螺纹杆(6)一侧中心部位。

3.根据权利要求1所述的一种白光干涉轮廓仪,其特征在于,所述转动件(5)对称分布在双向螺纹杆(6)左右两侧,所述转动件(5)通过移动块(7)与支撑架(8)一一对应。

4.根据权利要求1所述的一种白光干涉轮廓仪,其特征在于,所述托举板(11)侧端面与安装箱(3)内侧面相贴合,所述第一滑块(10)与第二滑块(16)的横截面均呈“t”形。

5.根据权利要求1所述的一种白光干涉轮廓仪,其特征在于,所述卡槽(18)的中心线与卡块(19)的中心线呈同一竖直线,所述卡块(19)等距分布在固定板(17)上。

6.根据权利要求1所述的一种白光干涉轮廓仪,其特征在于,所述弹簧(20)另一端固定连接有导向杆(21),所述固定板(17)上固定连接有推板(22),所述导向杆(21)端部侧端面与固定板(17)内侧面相贴合。

技术总结本申请提供了一种白光干涉轮廓仪,属于光学检测设备技术领域,以解决不便对设备的使用高度进行灵活而精确度调节的问题,包括工作台,所述工作台上固定连接有防滑垫,所述工作台上固定连接有安装箱,所述固定板内固定连接有弹簧。本申请通过设置的挡块,在对设备的高度进行调节时,可转动转动件带动双向螺纹杆运转,双向螺纹杆转动时,能够带动两侧移动块进行移动,两侧移动块向内移动时,能够带动支撑架同时移动,支撑架移动时能够通过滑轮配合挡块的倾斜面,能够带动支撑架上移,支撑架向上移动时,能够带动托举板进行平稳移动,托举板能够对安装的轮廓仪本体进行精准的高度调节,方便对不同检查情况进行调节使用。技术研发人员:王金玉,陈思媛,秦建权受保护的技术使用者:珠海市博景光电科技有限公司技术研发日:20231116技术公布日:2024/7/9

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