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一种具有防尘功能的红外传感器的制作方法
本技术涉及红外传感器,更具体地涉及一种具有防尘功能的红外传感器。背景技术:1、红外线传感器是利用红外线来进行数据处理的一种传感器,有灵敏度高等优点,红外线传感器可以控制驱动装置的运行,红外线传感器常用......
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一种简易化红外传感器的制作方法
本技术涉及传感器,尤其涉及一种简易化红外传感器。背景技术:1、红外气体传感器具有测量范围宽,精度高,选择性好,不会中毒,使用寿命长等优点。正逐渐替代电化学、催化燃烧等传统传感器,在煤矿、石油化工、天然......
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微型MEMS红外传感器及其制备方法
本发明涉及微电子机械系统,特别涉及一种微型mems红外传感器及其制备方法。背景技术:1、近年来,随着微电子系统(mems,micro-electro-mechanical system)技术快速发展,......
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一种基于硅-硅键合的MEMS红外传感器封装结构的制作方法
一种基于硅-硅键合的mems红外传感器封装结构技术领域1.本实用新型涉及红外传感器封装技术领域,具体涉及一种基于硅-硅键合的mems红外传感器封装结构。背景技术:2.现代半导体技术,尤其是mems制造......
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MEMS热电堆红外传感器的制作方法
mems热电堆红外传感器技术领域1.本实用新型涉及半导体制造领域,特别是涉及一种mems热电堆红外传感器。背景技术:2.微机电系统(micro-electro-mechanical-system,me......
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一种微机电红外传感器及其制备方法
1.本发明属于微机电传感器技术领域,更具体地,涉及一种微机电红外传感器及其制备方法。背景技术:2.红外探测器是将入射的红外辐射信号转变成电信号输出的器件,它是红外整机系统的核心,是探测、识别和分析红外......
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红外传感器件的制作方法
本公开涉及半导体器件制造领域,更具体地,涉及一种红外传感器件。背景技术:微电子机械系统是建立在微米或纳米技术基础上的21世纪前沿技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字处理系统集成为一......
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红外传感器件及其制造方法与流程
本公开涉及半导体器件制造领域,更具体地,涉及一种红外传感器件及其制造方法。背景技术:微电子机械系统是建立在微米或纳米技术基础上的21世纪前沿技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字处理......
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一种MEMS红外传感器的封装结构的制作方法
本发明涉及mems红外传感器的封装结构。背景技术:目前mems(微机电系统,micro-electro-mechanicalsystem)红外传感器,如mems热释电传感器、mems热电堆传感器等,大......