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一种阵列结构硅基点阵的制备方法及其应用与流程

本发明涉及一种硅基点阵，特别是涉及一种具有微纳米结构的阵列硅基点阵及其制备方法。背景技术：随着微纳加工技术的不断发展，使得应用于微电子、信息技术及生命科学的结构与器件向着更小尺度、更轻薄、更精密发展，......

2024-07-27 7

#基点#阵列#及其应用
一种网络结构硅基点阵的制备方法及其应用与流程

本发明涉及一种硅基点阵，特别是涉及一种网络结构硅基点阵的制备方法及其应用。背景技术：微纳米阵列结构由于具有高比表面积、高表面能及良好的光学性质等优势而广泛应用于化学分析、生物传感、光电探测及能源转换等......

2024-07-27 97

#基点#及其应用#制备方法