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RFMEMS器件及其制备方法
rf mems器件及其制备方法技术领域1.本发明属于微电子技术领域,具体涉及rf mems器件及其制备方法。背景技术:2.mems器件以其低插入损耗、高隔离度、高线性度等性能,被视为5g、雷达、卫星通......
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一种RFMEMS开关的制造和封装方法与流程
本发明属于微机电系统(mems)领域,尤其涉及一种rfmems开关的制造和封装方法。背景技术:rfmems是mems(微机电系统)与rf(射频)技术相结合的一门新技术,mems器件具有体积小、易集成、......