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  • RFMEMS器件及其制备方法

    RFMEMS器件及其制备方法

    rf mems器件及其制备方法技术领域1.本发明属于微电子技术领域，具体涉及rf mems器件及其制备方法。背景技术：2.mems器件以其低插入损耗、高隔离度、高线性度等性能，被视为5g、雷达、卫星通......

    RFMEMS器件及其制备方法2024-07-27 16
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  • 一种RFMEMS开关的制造和封装方法与流程

    一种RFMEMS开关的制造和封装方法与流程

    本发明属于微机电系统(mems)领域，尤其涉及一种rfmems开关的制造和封装方法。背景技术：rfmems是mems(微机电系统)与rf(射频)技术相结合的一门新技术，mems器件具有体积小、易集成、......

    一种RFMEMS开关的制造和封装方法与流程2024-07-27 48
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