一种高精度防腐耐油硅压传感器的制作方法

本实用新型属于传感器技术领域，特别涉及一种硅压传感器。背景技术：采用mems工艺制作而成的硅压传感器具有结构简单、灵敏度高、高可靠性等特点，广泛用于各种环境下的压力监测和数据采集，根据市场应用，部分传......

2024-07-27 29

#制作方法#传感器#耐油硅压