制造包括悬在腔之上的膜的器件的方法与流程

本发明涉及微电子和微系统领域。特别地，它涉及制造包括悬在有用腔之上的膜的器件的方法。背景技术：mems器件(mems是微机电系统(microelectromechanicalsystems)的首字母缩......

2024-07-27 13

#悬在#器件#流程