一种新型悬膜式MEMS微热板的制作方法

一种新型悬膜式mems微热板技术领域1.本实用新型涉及传感器技术领域，具体涉及一种新型悬膜式mems微热板。背景技术：2.微热板作为一种常用的微型加热平台，它的基本结构包括悬空介质薄膜以及薄膜电阻线条......

2024-07-27 11

#制作方法#悬膜式#MEMS