一种湿法刻硅制备微芯环腔的方法

1.本文涉及微纳光学器件领域和半导体硅的微加工制造领域，尤指一种湿法刻硅制备微芯环腔的方法。背景技术：2.回音壁模式光学微腔具有很高的品质因子(quality factor，q)和很小的模式体积，是研......

2024-07-27 63

#湿法#方法#微芯环腔