1.本发明涉及集成电路封装和医疗器材技术领域,特别涉及一种生物兼容微螺线管的晶圆级制备方法。背景技术:2.为了治疗癫痫、情绪失控、强迫症、帕金森综合征等各类神经系统疾病,医学界已经开发出了植入式刺激装......