一种去除MEMS芯片静电荷累积的方法与流程

一种去除mems芯片静电荷累积的方法技术领域1.发明涉及mems器件制造技术领域，特别是涉及mems芯片去除静电荷累积的方法。背景技术：2.mems器件在制造过程中，晶圆表面的静电荷累积主要由以下原因......

2024-07-27 4

#静电荷#芯片#流程