一种模仿海豹胡须结构的MEMS流场感知器件及其制备方法

本发明涉及流场检测装置领域，具体涉及一种模仿海豹胡须结构的mems流场感知器件及其制备方法。背景技术：1、无人水下航行器等小型智能化装备在海洋生态保护、资源开发、搜索侦查等领域逐渐发挥重要作用，对水下......

2024-07-27 46

#海豹#胡须#器件