一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪及分类方法与流程

本发明涉及硅片检测，特别涉及一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪及分类方法。背景技术：1、硅是一种非金属半导体材料，是太阳能电池片的主要原材料，也用于制作半导体器件和集成电路。随着光伏行业的发展，用于......

2024-07-29 56

#周缘#硅片#缺陷