一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪及分类方法与流程

本发明涉及硅片检测，特别涉及一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪及分类方法。

背景技术：

1、硅是一种非金属半导体材料，是太阳能电池片的主要原材料，也用于制作半导体器件和集成电路。随着光伏行业的发展，用于制作太阳能电池的硅片厚度越来越薄，对其机械物理性能的要求也越来越高；硅片通常由硅锭切割获得，硅锭由硅料定向凝固而成，通常将硅料在铸锭炉中熔化，经一系列工序生成硅锭，然后再使用破锭机对硅锭进行切割加工得到硅块，最后使用切片机器对硅块进行切片加工得到硅片。

2、参考公开号为cn106887395a的专利申请所公开的一种硅片检测装置，包括支架，支架上设置有工作台，工作台的上表面通过转轴转动设置有平台，工作台的下表面设置有用于驱动平台转动的电机，平台的上表面设置有左固定板和右固定板，左固定板和右固定板的内侧面均设置有气囊，平台的下表面设置有气泵，气泵与气囊连通，本发明的硅片检测装置通过气囊夹持硅片的窄面，使得硅片不会因为夹持而受到损坏，不影响对硅片正面及背面的观察，通过电机带动平台转动的方式，实现无需人工翻转硅片，即可完成对硅片正面及背面的观察，大大提高检测效率，提高检测的准确率，降低误判率。

3、上述方案中通过夹持组件对硅片进行夹持翻转，再通过检测装置对硅片的两面进行检测，但在硅片的翻转过程中检测装置的位置往往是固定，当硅片翻转时与检测装置的距离发生改变，检测装置在检测时与硅片的距离往往是设置在一个指定距离，才能达到一个最佳的检测效果，硅片翻转时距离发生了改变，故检测装置在硅片翻转时检测的数据易出现误差，并且翻转的过程中对硅片的检测不够全面，不便于检测装置检测不同角度下的硅片状态，从而检测出硅片表面是否存在缺陷。

4、因此，有必要提供一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪及分类方法解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪及分类方法，以解决上述背景技术中提出的现有技术的缺陷问题。

2、基于上述思路，本发明提供如下技术方案：一种超薄硅片表面的周缘缺陷检测分选仪，包括：

3、设备平台，所述设备平台顶部固定连接有支撑框架，所述设备平台顶部固定连接有固定框，所述固定框顶部设置有转动架，转动架贯穿固定框并与固定框转动连接，所述转动架外侧固定连接有两个固定板且对称设置；

4、两个固定框架，两个固定框架外侧均固定连接有外固定架，两个固定框架外侧均固定连接有转动杆，两个所述转动杆分别贯穿两个固定板并与固定板转动连接，两个转动杆靠近转动架的一端与固定框之间设置有传动件，当固定板转动带动转动杆移动时，通过传动带动固定框架进行翻转，所述固定框架内部设置有用于硅片固定的夹持组件；

5、固定连接于转动架外侧的两个检测架，两个检测架分别设置于两个固定框架上部，所述检测架内部滑动连接有升降板，所述升降板底部固定连接有用于检测的硅片的检测探头，所述升降板与转动杆之间设置有推动组件，当固定框架翻转时，通过推动组件推动升降板升降，使检测探头在对硅片翻转自动调整检测高度。

6、作为本发明进一步的方案：所述夹持组件包括多个绕固定框架圆心环形设置的传动齿条，多个所述传动齿条均贯穿固定框架并与固定框架滑动连接，多个传动齿条一端均设置有夹持轮，多个夹持轮外侧均设置有传动杆，所述传动杆依次贯穿传动齿条和夹持轮，所述传动杆与传动齿条转动连接，所述传动杆与夹持轮固定连接，多个传动齿条外侧均啮合连接有第二齿轮，多个第二齿轮底部均固定连接有第三齿轮，多个第三齿轮转动连接于固定框架内部底端；所述夹持组件还包括转动连接于固定框架内部的第一内齿圈环，所述第一内齿圈环与多个第三齿轮啮合连接，所述固定框架内部转动连接有驱动齿轮，所述驱动齿轮与第一内齿圈环啮合连接，所述固定框架内部固定连接有旋转电机，所述旋转电机的输出轴与驱动齿轮固定连接。

7、作为本发明进一步的方案：所述传动件包括固定连接于转动杆一端的第一锥齿轮，所述固定框顶部固定连接有第一锥齿轮盘，所述第一锥齿轮盘与第一锥齿轮啮合连接。

8、作为本发明进一步的方案：所述推动组件包括固定连接于转动杆外侧的翻转板，所述翻转板两端均转动连接有接触轮，所述升降板顶部固定连接有推动板，所述推动板底端固定连接有接触板，所述接触板与翻转板两端的接触轮相接触。

9、作为本发明进一步的方案：所述固定框架顶部转动连接有第二锥齿轮盘，所述第二锥齿轮盘内侧固定连接有第二内齿圈环，所述第二内齿圈环内壁啮合连接有多个第四齿轮，多个第四齿轮分别与多个夹持轮一一对应，多个传动杆外侧均固定连接有第一带轮，多个第二带轮底部均固定连接有第二带轮，所述第二带轮转动连接于固定框架顶部，多个所述第二带轮外侧均设置有第三带轮，所述传动杆、第三带轮和第二带轮之间通过皮带传动连接，多个第三带轮与固定框架之间均设置有弹性件，用于对皮带进行张紧。

10、作为本发明进一步的方案：所述弹性件包括与第三带轮转动连接的安装框，所述安装框外侧设置有l形固定板，所述l形固定板与固定框架固定连接，所述安装框与l形固定板之间固定连接有伸缩杆和弹簧，所述弹簧套设于伸缩杆外侧。

11、作为本发明进一步的方案：所述外固定架外侧固定连接有支板，所述第二锥齿轮盘外侧啮合连接有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮外侧固定连接有连接杆，所述连接杆贯穿支板并与支板转动连接，所述连接杆外侧一端固定连接有第五齿轮，所述固定板外侧固定连接有安装支板，转动杆外侧套设有齿轮筒，所述齿轮筒贯穿安装支板并与安装支板固定连接，所述齿轮筒与第五齿轮啮合连接。

12、作为本发明进一步的方案：所述设备平台顶部一侧固定连接有用于输送硅片的第一输送设备，设备平台顶部靠近第一输送设备一侧固定连接有第一电动推杆，所述第一电动推杆的伸缩端固定连接有升降顶板，所述升降顶板一端延伸至固定框架内部并于外固定架表面保持水平。

13、作为本发明进一步的方案：所述设备平台顶部另一侧设置有第二输送设备，所述第二输送设备两侧均安装有第三输送设备，所述设备平台顶部固定连接有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸缩端与第二输送设备固定连接，用于升降第二输送设备的高度承接检测完成的硅片。

14、本发明还提供了一种超薄硅片的分类方法，包括以下步骤：

15、步骤一、将硅片放置于第一输送设备上，通过第一输送设备将硅片进行输送；

16、步骤二、当硅片输送至固定框架中间时，通过夹持组件将硅片进行夹持固定，并通过检测探头对硅片进行检测；

17、步骤三、在通过转动架转动，通过固定板带动转动杆进行转动，使固定框架带着夹持的硅片进行翻转，在翻转的过程中推动组件带动升降板和检测探头上升，调整检测的高度；

18、步骤四、当检测完成后，带有硅片的固定框架移动至设备平台另一侧，解除夹持组件使硅片落在第二输送设备上，根据检测的结果，将硅片输送至两个不同方向的第三输送设备上。

19、与现有技术相比，本发明的有益效果是；

20、1、通过在固定框内部设置驱动电机，驱动电机的输出轴与转动架固定连接，转动架转动带动固定板，固定板带动转动连接的转动杆，由于转动杆一端固定连接有第一锥齿轮，并且第一锥齿轮与第一锥齿轮盘啮合，使转动杆带动固定框架整体进行自转，同时带着夹持的硅片进行翻转，可以对硅片的两侧均进行检测，避免还需要重新对硅片的另一侧重复检测，影响检测工作效率。

21、2、此时转动杆外侧固定连接的翻转板也随着一起转动，翻转板两端的接触轮随着转动推动接触板，当接触板上升时通过推动板带动升降板进行上升，从而升降板带动检测探头上升，可以使检测探头可以随着固定框架的转动对硅片的距离也可以自动调整，达到对硅片翻转时依然可以处于最佳的检测位置。

22、3、第四齿轮带动固定连接的第二带轮转动，进而第一带轮、第三带轮和第二带轮的皮带传动，使传动杆进行转动，传动杆转动带动固定连接的夹持轮转动，从而使夹持轮带动硅片进行转动，硅片在翻转过程中进行转动，检测探头对硅片进行边缘处进行全面检测，检测硅片多个位置下多个角度下的外观，更易检测出缺陷和伤痕。