用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置的制作方法

本技术涉及pecvd真空设备，具体涉及一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置。背景技术：1、pecvd设备是由若干的真空腔室组成，真空腔室间需要使用大型门阀隔离，一是不同腔室有不同压差，二是为了防止......

2024-07-30 7

#门阀#气缸#制作方法