用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置的制作方法

本技术涉及pecvd真空设备，具体涉及一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置。

背景技术：

1、pecvd设备是由若干的真空腔室组成，真空腔室间需要使用大型门阀隔离，一是不同腔室有不同压差，二是为了防止腔室间不同污染污染腔室。大型门阀开启需使用大容量气缸，大容量气缸的开启需要大量的cda（干燥的压缩空气），现有技术使用单独cda管路给门阀气缸供气，或者使用更粗的主管路给门阀气缸供气。

2、大型门阀需要经常性的开启关闭，需要大量cda，使用单独cda管路给门阀气缸供气，会增加设备管路的数量，增加设备成本；主管路给门阀气缸供气，开启门阀时，直接从主管道瞬间（1s)供给大量cda会给主管道造成明显压降，干扰其他器件的正常运行，只能使用更粗的管路给门阀供气，减小压降，粗管道同样的增加管路成本，同时需要厂务供气量。

技术实现思路

1、本实用新型提出了一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，解决上述现有技术存在的技术问题。

2、根据本实用新型的一个方面，提供了一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，包括：多个并排设置的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至cda主管路，在一定时间间隔内，所述cda主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。

3、进一步地，所述门阀为电磁阀。

4、进一步地，所述时间间隔为3秒。

5、进一步地，所述气缸为四个一组进行设置。

6、进一步地，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀为同时开闭。

7、进一步地，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀为交替开闭。

8、由上述本实用新型提供的技术方案可以看出，采用本实用新型，通过设置多个并排的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至cda主管路，在一定时间间隔内，所述cda主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。开启阀门时使用储气罐给气缸供气，主管路缓慢（3s)给储气瓶补气，能满足门阀连续开闭，又不会造成主管路压力明显扰动。

9、上述说明仅是本实用新型技术的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本实用新型的具体实施方式。

技术特征：

1.一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，包括：多个并排设置的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至cda主管路，在一定时间间隔内，所述cda主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。

2.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述门阀为电磁阀。

3.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述时间间隔为3秒。

4.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，所述气缸为四个一组进行设置。

5.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀为同时开闭。

6.根据权利要求1所述的用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，其特征在于，在所述时间间隔内，各个气缸对应的门阀为交替开闭。

技术总结本技术公开了一种用存储气瓶给大尺寸门阀气缸供气的装置，包括：多个并排设置的大容量气缸，所述每个气缸的前侧设置一个门阀，各个门阀通过第一气管连接至一储气瓶，所述储气瓶通过第二气管连接至CDA主管路，在一定时间间隔内，所述CDA主管路对所述储气瓶进行补气，所述储气瓶对所述气缸进行供气。本技术的优点是：开启阀门时使用储气罐给气缸供气，主管路缓慢给储气瓶补气，能满足门阀连续开闭，又不会造成主管路压力明显扰动。减少门阀气缸开闭时间，提高节拍，减少对主管路的扰动。技术研发人员：见东伟,赵永飞,张源,赵志强受保护的技术使用者：捷造科技（宁波）有限公司技术研发日：20230925技术公布日：2024/5/27