砷化镓晶圆用存储装置的制作方法

本技术涉及晶圆存储，具体涉及砷化镓晶圆用存储装置。

背景技术：

1、砷化镓晶片是一种重要的半导体材料，具有广泛的用途。它的主要应用领域包括电子、通信、光电、军事等领域。它可以用来制造高速、高功率的场效应晶体管和集成电路等器件。在现代军事装备中，砷化镓晶片已经成为一种必不可少的材料，有着重要的战略意义，具有广泛的应用前景，在储存晶圆时，就需要使用到存储装置。

2、然而，储货架的高度较高时，存取晶圆工作人员需要登高操作，使得拿取极为不便，降低了工作效率，同时还存在安全隐患，若是存储货架的高度较低，则导致空间利用率低。

3、因此，发明砷化镓晶圆用存储装置来解决上述问题很有必要。

技术实现思路

1、为此，本实用新型提供砷化镓晶圆用存储装置，通过抓取组件抓取，再通过拉出组件拉出，最后通过纵向移动组件带动晶圆上下移动，以解决现有技术中的问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型实施例提供如下技术方案：砷化镓晶圆用存储装置，包括主架，所述主架的内部固定连接有多个储存仓，多个所述储存仓的内部均设置有存放架，所述主架的外部固定连接有外壳，所述外壳的正面固定连接有两个第一滑杆，两个所述第一滑杆的外部均滑动连接有第一滑块，两个所述第一滑块背离外壳的一面固定连接有取货架，所述取货架的顶部设置有两个第二滑杆，两个所述第二滑杆的外部均滑动连接有第二滑块，两个所述第二滑块之间固定连接有安装板，所述安装板朝向外壳的一面设置有多个用于固定连接存放架的抓取组件，所述取货架的内部设置有用于拉出存放架的拉出组件，所述外壳的正面设置有用于带动存放架上下移动的纵向移动组件。

3、所述抓取组件包括滑槽板，所述滑槽板固定连接于安装板朝向外壳的一面，所述滑槽板的内部转动连接有双纹螺杆，所述滑槽板的内部滑动连接有两个第三滑块，且两个第三滑块均螺纹套接于双纹螺杆的外部，且两个第三滑块分别与双纹螺杆的两个螺纹部分相对应，两个所述第三滑块朝向外壳的一侧均固定连接有插块；

4、所述存放架的正面固定连接有两个卡座，且两个插块分别与两个卡座相适配，所述安装板朝向外壳的一面固定连接有第一电机，且双纹螺杆固定连接于第一电机的输出端。

5、所述纵向移动组件包括第三电机，所述第三电机固定连接于外壳的顶部，所述外壳的正面转动连接有第三螺杆，所述第三螺杆的外部螺纹套接有第四滑块，所述第四滑块与取货架之间固定连接有连接板。

6、所述拉出组件包括第二螺杆，所述第二螺杆转动连接于取货架的内部，所述取货架的外部固定连接有第二电机，且第二螺杆一端固定连接于第二电机的输出端，另一端转动连接于第四滑块的外部，所述安装板螺纹套接于第二螺杆的外部。

7、所述外壳的底部固定连接有支座。

8、所述第一滑块与第四滑块朝向外壳的一侧均转动连接有多个滚轮，且滚轮与外壳相接触。

9、两个所述插块均为t形，且两个插块相背离的一端均为楔形。

10、在上述技术方案中，本实用新型提供的技术效果和优点：

11、通过启动第一电机带动双纹螺杆转动，随后在螺纹的作用下，可以带动两个插块背向移动，之后插接入对应的卡座的内部，从而可以对存放架进行固定连接，然后启动第二电机带动第二螺杆转动，随后在螺纹的作用下带动安装板移动，从而可以将存放架抽出，之后启动第三电机带动第三螺杆转动，然后在螺纹的作用下带动第四滑块上下移动，从而可以带动抽出后的存放架上下移动，进而可以实现方便的拿取高处的晶圆，避免工作人员登高拿取，缩短拿取的时间。

技术特征：

1.砷化镓晶圆用存储装置，包括主架(1)，其特征在于：所述主架(1)的内部固定连接有多个储存仓(2)，多个所述储存仓(2)的内部均设置有存放架(4)，所述主架(1)的外部固定连接有外壳(3)，所述外壳(3)的正面固定连接有两个第一滑杆(5)，两个所述第一滑杆(5)的外部均滑动连接有第一滑块(6)，两个所述第一滑块(6)背离外壳(3)的一面固定连接有取货架(7)，所述取货架(7)的顶部设置有两个第二滑杆(8)，两个所述第二滑杆(8)的外部均滑动连接有第二滑块(9)，两个所述第二滑块(9)之间固定连接有安装板(10)，所述安装板(10)朝向外壳(3)的一面设置有多个用于固定连接存放架(4)的抓取组件，所述取货架(7)的内部设置有用于拉出存放架(4)的拉出组件，所述外壳(3)的正面设置有用于带动存放架(4)上下移动的纵向移动组件。

2.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用存储装置，其特征在于：所述抓取组件包括滑槽板(12)，所述滑槽板(12)固定连接于安装板(10)朝向外壳(3)的一面，所述滑槽板(12)的内部转动连接有双纹螺杆(13)，所述滑槽板(12)的内部滑动连接有两个第三滑块(14)，且两个第三滑块(14)均螺纹套接于双纹螺杆(13)的外部，且两个第三滑块(14)分别与双纹螺杆(13)的两个螺纹部分相对应，两个所述第三滑块(14)朝向外壳(3)的一侧均固定连接有插块(15)；

3.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用存储装置，其特征在于：所述纵向移动组件包括第三电机(21)，所述第三电机(21)固定连接于外壳(3)的顶部，所述外壳(3)的正面转动连接有第三螺杆(22)，所述第三螺杆(22)的外部螺纹套接有第四滑块(18)，所述第四滑块(18)与取货架(7)之间固定连接有连接板(24)。

4.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用存储装置，其特征在于：所述拉出组件包括第二螺杆(19)，所述第二螺杆(19)转动连接于取货架(7)的内部，所述取货架(7)的外部固定连接有第二电机(20)，且第二螺杆(19)一端固定连接于第二电机(20)的输出端，另一端转动连接于第四滑块(18)的外部，所述安装板(10)螺纹套接于第二螺杆(19)的外部。

5.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用存储装置，其特征在于：所述外壳(3)的底部固定连接有支座(23)。

6.根据权利要求1所述的砷化镓晶圆用存储装置，其特征在于：所述第一滑块(6)与第四滑块(18)朝向外壳(3)的一侧均转动连接有多个滚轮(17)，且滚轮(17)与外壳(3)相接触。

7.根据权利要求2所述的砷化镓晶圆用存储装置，其特征在于：两个所述插块(15)均为t形，且两个插块(15)相背离的一端均为楔形。

技术总结本技术公开了砷化镓晶圆用存储装置，包括主架，主架的内部固定连接有多个储存仓，多个储存仓的内部均设置有存放架，主架的外部固定连接有外壳，外壳的正面固定连接有两个第一滑杆，两个第一滑杆的外部均滑动连接有第一滑块，两个第一滑块背离外壳的一面固定连接有取货架，取货架的顶部设置有两个第二滑杆，两个第二滑杆的外部均滑动连接有第二滑块，两个第二滑块之间固定连接有安装板，安装板朝向外壳的一面设置有多个抓取组件，取货架的内部设置有拉出组件，外壳的正面设置有纵向移动组件。本技术通过设置的抓取组件、拉出组件以及纵向移动组件的配合，可以实现方便的拿取高处的晶圆，避免工作人员登高拿取，缩短拿取的时间。技术研发人员：戚林,兰少东,袁许飞,李琪荣受保护的技术使用者：江苏中科晶元信息材料有限公司技术研发日：20231124技术公布日：2024/7/11