一种砷化镓多晶出料工具的制作方法

本申请涉及砷化镓多晶合成，尤其涉及一种砷化镓多晶出料工具。

背景技术：

1、为了提升生产效能，合成3寸砷化镓多晶的时候，会在3寸pbn舟上面通过铺设2条pbn桥，再架设一个2寸pbn舟，从而增加合成多晶料的重量，增效降本。

2、多晶合成完成后要把多晶料取出。现有的操作是：操作人员先把石英管与石英帽的焊接处切开，然后把切开的石英管抬起倾倒，把2寸pbn舟和3寸pbn舟从石英管内倒到管口，再把pbn舟内的多晶料取出。在这个过程中，上层的2寸pbn舟因为重量小于3寸pbn舟，而且不用与石英管直接接触，摩擦力比3寸pbn舟要小，所以倾斜时会比3寸pbn舟更快滑出，脱离pbn桥的承接从而滑落挤压到3寸pbn舟的头部，造成3寸pbn舟破损。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的是提供一种砷化镓多晶出料工具，以解决现有的出料方式容易导致3寸pbn舟破损的技术问题。

2、为达到上述技术目的，本申请提供了一种砷化镓多晶出料工具，包括托板、手杆、第一挡板以及第二挡板；

3、所述托板用于支托料管中的下层pbn舟；

4、所述第一挡板固定于所述托板一端，用于对下层pbn舟形成止挡；

5、所述手杆与所述第一挡板连接，用于带动所述托板运动；

6、所述第二挡板连接于所述第一挡板上，往背离所述手杆的方向设置，用于对上层pbn舟形成止挡。

7、进一步地，所述托板为可与下层pbn舟底部相贴合的弧形板。

8、进一步地，所述第二挡板与所述第一挡板垂直连接。

9、进一步地，所述第二挡板相对于所述托板，高度可调地安装于所述第一挡板上。

10、进一步地，所述第二挡板上固定有锁紧件；

11、所述第二挡板通过所述锁紧件沿高度方向滑动安装于所述第一挡板上；

12、所述锁紧件用于将所述第二挡板与所述第一挡板紧固一起。

13、进一步地，所述锁紧件包括头部以及与所述头部一体连接的螺纹杆部；

14、所述第二挡板朝向所述第一挡板的一侧面上设有供所述螺纹杆部插入并与所述螺纹杆部螺纹连接配合的螺纹孔；

15、所述第一挡板上设有供所述螺纹杆部穿过并与所述螺纹杆部滑动配合的限位通槽；

16、所述头部可通过与所述第二挡板之间对所述第一挡板形成夹持，以将所述第二挡板与所述第一挡板紧固一起。

17、进一步地，所述锁紧件为螺丝、螺钉、螺栓中的一种。

18、进一步地，所述第一挡板用于止挡下层pnb舟的止挡面上铺设有第一缓冲层。

19、进一步地，所述第二挡板用于止挡上层pnb舟的止挡面上铺设有第二缓冲层。

20、进一步地，所述第一缓冲层与所述第二缓冲层为硅胶层或橡胶层。

21、从以上技术方案可以看出，本申请所设计的砷化镓多晶出料工具，当切开料管后，操作手杆将托板插入料管至下层pbn舟(3寸pbn舟)的底部以对下层pbn舟进行支托，再操作手杆将下层pbn舟与上层pbn舟(2寸pbn舟)一起拖出，无需再提起料管倾斜滑落出料；另外，第一挡板的设置不仅方便连接手杆，同时也能够对下层pbn舟起到止挡作用，避免滑落；而第二挡板的设置则能够对上层pbn舟进行止挡，防止上层pbn舟失衡滑落挤压到下层pbn舟。该设计的出料工具，可直接把多晶料从料管拖出，操作人员无需再带起料管倾倒，大大降低了劳动强度，而且也能够避免下层pbn舟受上层pbn舟挤压损坏的情况。

技术特征：

1.一种砷化镓多晶出料工具，其特征在于，包括托板(4)、手杆(1)、第一挡板(2)以及第二挡板(3)；

2.根据权利要求1所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述托板(4)为可与下层pbn舟底部相贴合的弧形板。

3.根据权利要求1所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述第二挡板(3)与所述第一挡板(2)垂直连接。

4.根据权利要求3所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述第二挡板(3)相对于所述托板(4)，高度可调地安装于所述第一挡板(2)上。

5.根据权利要求4所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述第二挡板(3)上固定有锁紧件(31)；

6.根据权利要求5所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述锁紧件(31)包括头部以及与所述头部一体连接的螺纹杆部；

7.根据权利要求6所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述锁紧件(31)为螺丝、螺钉、螺栓中的一种。

8.根据权利要求1所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述第一挡板(2)用于止挡下层pnb舟的止挡面上铺设有第一缓冲层。

9.根据权利要求8所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述第二挡板(3)用于止挡上层pnb舟的止挡面上铺设有第二缓冲层。

10.根据权利要求9所述的砷化镓多晶出料工具，其特征在于，所述第一缓冲层与所述第二缓冲层为硅胶层或橡胶层。

技术总结本申请公开了一种砷化镓多晶出料工具，涉及砷化镓多晶合成技术领域，包括托板、手杆、第一挡板以及第二挡板；托板用于支托料管中的下层PBN舟；第一挡板固定于托板一端，用于对下层PBN舟形成止挡；手杆与第一挡板连接，用于带动托板运动；第二挡板连接于第一挡板上，往背离手杆的方向设置，用于对上层PBN舟形成止挡。该设计的出料工具，可直接把多晶料从料管拖出，操作人员无需再带起料管倾倒，大大降低了劳动强度，而且也能够避免下层PBN舟受上层PBN舟挤压损坏的情况。技术研发人员：曾国治,周铁军,罗小龙,易明辉,李勤财受保护的技术使用者：广东先导微电子科技有限公司技术研发日：20230912技术公布日：2024/5/27