一种碳化硅生产长晶炉的制作方法

本技术涉及碳化硅生产，具体为一种碳化硅生产长晶炉。

背景技术：

1、长晶炉是用于生产碳化硅单晶的一种设备，将高纯度的碳化硅微粉和籽晶分别置于长晶炉内的坩埚中，通过控制坩埚内的温度，以生产出碳化硅单晶。

2、现有长晶炉上盖采用人工开合，费时费力且存在一定的安全隐患，且现有长晶炉坩埚多为炉体底部出料，操作较为不便。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种碳化硅生产长晶炉，解决了现有长晶炉采用人工开合炉盖费时费力的问题。

2、为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种碳化硅生产长晶炉，包括炉体，所述炉体顶部设有炉盖，所述炉体内设有坩埚，所述炉体内且位于坩埚外侧设有加热组件，所述炉体上方外壁沿圆周方向设有定位环，所述炉盖外壁沿圆周方向设有套装于所述定位环外侧的环套，所述环套上沿圆周方向旋接有多个锁定螺栓，所述炉体外侧设有与所述炉盖连接的驱动装置。

3、优选的，所述驱动装置包括设于所述炉体一侧底部的支架，所述支架底部固定设有第一电机，所述第一电机驱动端安装有螺杆，所述支架上壁固定设有导向杆，所述导向杆顶部固定设有顶板，所述螺杆上端与所述顶板转动连接，所述螺杆上旋接有滑架，所述滑架上开设有与所述导向杆匹配的导向孔，所述滑架上设有用于驱动炉盖转动的调节机构。

4、优选的，所述调节机构包括转动安装于所述滑架上壁的转筒，所述转筒侧壁通过连接架与所述炉盖固定连接，所述滑架一侧固定设有第二电机，所述第二电机驱动端安装有齿轮，所述转筒侧壁设有与所述齿轮啮合的齿圈。

5、优选的，所述滑架侧壁设有用于固定电机的支座。

6、优选的，所述定位环上设有供所述锁定螺栓插入的锁孔。

7、有益效果

8、本实用新型公开了一种碳化硅生产长晶炉，具备以下有益效果：本装置结构紧凑，采用自动化开合炉体上盖，减轻工人劳动量，同时提高操作安全性，调节组件可带动炉盖转动进而使坩埚可由炉体上方取出，方便生产操作，给人们的使用带来了方便。

技术特征：

1.一种碳化硅生产长晶炉，包括炉体(1)，所述炉体(1)顶部设有炉盖(2)，所述炉体(1)内设有坩埚(3)，所述炉体(1)内且位于坩埚(3)外侧设有加热组件(4)，其特征在于，所述炉体(1)上方外壁沿圆周方向设有定位环(5)，所述炉盖(2)外壁沿圆周方向设有套装于所述定位环(5)外侧的环套(6)，所述环套(6)上沿圆周方向旋接有多个锁定螺栓(7)，所述炉体(1)外侧设有与所述炉盖(2)连接的驱动装置；

2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产长晶炉，其特征在于，所述调节机构包括转动安装于所述滑架(13)上壁的转筒(14)，所述转筒(14)侧壁通过连接架(15)与所述炉盖(2)固定连接，所述滑架(13)一侧固定设有第二电机(16)，所述第二电机(16)驱动端安装有齿轮(17)，所述转筒(14)侧壁设有与所述齿轮(17)啮合的齿圈(18)。

3.根据权利要求2所述的一种碳化硅生产长晶炉，其特征在于，所述滑架(13)侧壁设有用于固定电机的支座。

4.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产长晶炉，其特征在于，所述定位环(5)上设有供所述锁定螺栓(7)插入的锁孔。

技术总结本技术公开了一种碳化硅生产长晶炉，包括炉体，所述炉体顶部设有炉盖，所述炉体内设有坩埚，所述炉体内且位于坩埚外侧设有加热组件，所述炉体上方外壁沿圆周方向设有定位环，所述炉盖外壁沿圆周方向设有套装于所述定位环外侧的环套，所述环套上沿圆周方向旋接有多个锁定螺栓，所述炉体外侧设有与所述炉盖连接的驱动装置，本技术涉及碳化硅生产技术领域，本装置结构紧凑，采用自动化开合炉体上盖，减轻工人劳动量，同时提高操作安全性，调节组件可带动炉盖转动进而使坩埚可由炉体上方取出，方便生产操作，给人们的使用带来了方便。技术研发人员：许俊,尹宝堂,张德远,冯慧,王宇飞受保护的技术使用者：常州能量方舟新材料有限公司技术研发日：20230908技术公布日：2024/5/27