一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构的制作方法

本技术属于晶体生长设备，尤其涉及一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构。

背景技术：

1、为了提高晶体生长效率，人工晶体生长领域多采用多工位坩埚下降晶体生长炉生长晶体。这些多工位晶体生长炉均具有统一下降平台，在晶体生长时各工位坩埚的下降和上升是同步进行的，然而在晶体生长过程中，经常会出现某一或某几个工位晶体生长速度不同，因而需要单独调整对应坩埚的下降速度。

2、针对上述的技术问题，申请人检索到了一些现有技术，例如专利公开号为cn111074334b的中国专利，其在使用时通过一组联动支撑架带动多组坩埚同时升降移动，通过单独的支撑板对出现问题的坩埚进行支撑，但是当出现问题时，单独的支撑板需要移动至引下管座的下方然后保持与联动支撑架相同的移速，之后抽去对应工位支撑架才能够使得引下管与单独的支撑板接触，之后才能够加速对应的坩埚下降，若出现多组坩埚生长速度不同且不同时间出现，后续单独升降板移动时会带动先前一组坩埚上移，进而导致坩埚内部晶体生长出现问题，从而难以实现多组坩埚联动与单独控制，使用的限制性较大，且支撑板移动及释放引下管均需要时间，导致调节坩埚下降速度的时间较长，不利于晶体的生长。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，旨在解决现有技术中不能够根据各组坩埚内晶体生长情况调节对应坩埚下降速度以及调节响应时间较长的技术问题。

2、本实用新型是这样实现的，一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，包括底座，所述底座上设置有升降架，底座上设置有带动升降架上下移动的动力组件，所述升降架上滑动安装有多组间隔分布的支撑杆，升降架内固定安装有多组分别与支撑杆位置对应的第一电磁铁，所述升降架内滑动安装有升降板，升降架内设置有带动升降板上下移动的升降组件，所述升降板上固定安装有多组与支撑杆间隔分布的伸缩件，每组伸缩件均驱动一组第二电磁铁移动，所述第二电磁铁与对应支撑杆配合使用。

3、进一步的技术方案：所述第一电磁铁通电状态下吸附其对应上方支撑杆的底部。

4、进一步的技术方案：所述第二电磁铁与对应支撑杆的侧面滑动接触且第二电磁铁通电状态下吸附支撑杆。

5、进一步的技术方案：所述伸缩件输出端固定安装有连接架，连接架与第二电磁铁固定连接，升降架远离底座的侧壁上开设有供伸缩件、连接架穿过的通槽。

6、进一步的技术方案：所述动力组件包括第一旋转动力件，第一旋转动力件固定安装在底座上且驱动第一丝杆转动，第一丝杆与固定安装在升降架侧面的连接块转动连接，第一丝杆贯穿连接块，连接块设置有两组且位于升降架两侧分布。

7、进一步的技术方案：所述动力组件还包括固定架，固定架设置有两组且位于升降架两侧对称分布，其中一组固定架内固定安装有贯穿其中一组连接块的导向柱，导向柱平行于第一丝杆且导向柱与连接块滑动连接，第一丝杆的端部与其中一组固定架转动连接。

8、进一步的技术方案：所述升降组件包括第二旋转动力件，第二旋转动力件固定安装在升降架的内底面上，第二旋转动力件驱动第二丝杆转动，第二丝杆贯穿升降板且与升降板转动连接，升降板移动方向与升降架的移动方向在同一条直线上。

9、相较于现有技术，本实用新型的有益效果如下：

10、1、通过升降架带动多组支撑杆同时移动，从而实现多组坩埚下降的同时调节，通过升降板和伸缩件带动其中不同生长速度的坩埚移动，从而降低其下降的速度，进而实现各组坩埚的单独控制，保证了坩埚下降的稳定操控，保证晶体的生长质量，实现了多组坩埚的联动与单独调节，保证了联动与单独调节的灵敏度。

11、2、通过升降板和伸缩件带动其中不同生长速度的坩埚移动，从而能够根据坩埚内晶体的生长速度直接调节对应坩埚的下降速度，降低了装置的响应等待时间，提高了坩埚下降速度调节的灵敏度。

12、3、通过多组伸缩件、第二电磁铁和升降板能够同时对多组不同的坩埚进行不同下降速度的调节，避免对其他晶体生长造成影响，增加了装置使用的全面性。

技术特征：

1.一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，包括底座（1），其特征在于，所述底座（1）上设置有升降架（6），底座（1）上设置有带动升降架（6）上下移动的动力组件（17），所述升降架（6）上滑动安装有多组间隔分布的支撑杆（7），升降架（6）内固定安装有多组分别与支撑杆（7）位置对应的第一电磁铁（8），所述升降架（6）内滑动安装有升降板（12），升降架（6）内设置有带动升降板（12）上下移动的升降组件（18），所述升降板（12）上固定安装有多组与支撑杆（7）间隔分布的伸缩件（13），每组伸缩件（13）均驱动一组第二电磁铁（15）移动，所述第二电磁铁（15）与对应支撑杆（7）配合使用。

2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，其特征在于，所述第一电磁铁（8）通电状态下吸附其对应上方支撑杆（7）的底部。

3.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，其特征在于，所述第二电磁铁（15）与对应支撑杆（7）的侧面滑动接触且第二电磁铁（15）通电状态下吸附支撑杆（7）。

4.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，其特征在于，所述伸缩件（13）输出端固定安装有连接架（14），连接架（14）与第二电磁铁（15）固定连接，升降架（6）远离底座（1）的侧壁上开设有供伸缩件（13）、连接架（14）穿过的通槽（16）。

5.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，其特征在于，所述动力组件（17）包括第一旋转动力件（3），第一旋转动力件（3）固定安装在底座（1）上且驱动第一丝杆（4）转动，第一丝杆（4）与固定安装在升降架（6）侧面的连接块（5）转动连接，第一丝杆（4）贯穿连接块（5），连接块（5）设置有两组且位于升降架（6）两侧分布。

6.根据权利要求5所述的一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，其特征在于，所述动力组件（17）还包括固定架（2），固定架（2）设置有两组且位于升降架（6）两侧对称分布，其中一组固定架（2）内固定安装有贯穿其中一组连接块（5）的导向柱（9），导向柱（9）平行于第一丝杆（4）且导向柱（9）与连接块（5）滑动连接，第一丝杆（4）的端部与其中一组固定架（2）转动连接。

7.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，其特征在于，所述升降组件（18）包括第二旋转动力件（10），第二旋转动力件（10）固定安装在升降架（6）的内底面上，第二旋转动力件（10）驱动第二丝杆（11）转动，第二丝杆（11）贯穿升降板（12）且与升降板（12）转动连接，升降板（12）移动方向与升降架（6）的移动方向在同一条直线上。

技术总结本技术属于晶体生长设备技术领域，提供了一种晶体生长炉的坩埚定向传输结构，包括底座，所述底座上设置有升降架，底座上设置有带动升降架上下移动的动力组件，所述升降架上滑动安装有多组间隔分布的支撑杆，升降架内固定安装有多组分别与支撑杆位置对应的第一电磁铁，所述升降架内滑动安装有升降板。旨在解决现有技术中不能够根据各组坩埚内晶体生长情况调节对应坩埚下降速度以及调节响应时间较长的技术问题。相较于现有技术，本技术的有益效果如下：实现了多组坩埚的联动与单独调节，保证了联动与单独调节的灵敏度，降低了装置的响应等待时间，提高了坩埚下降速度调节的灵敏度。技术研发人员：罗毅,龚瑞,王玉,刘照俊受保护的技术使用者：安徽科瑞思创晶体材料有限责任公司技术研发日：20231102技术公布日：2024/5/27