本发明属于半导体器件领域,尤其涉及立体高集成肖特基势垒二极管及制备方法。背景技术:1、随着电子技术的不断扩展和进步,功率半导体器件正经历着持续的创新和发展,以满足不断增长的应用需求。为了应对这一趋势,......