一种高Tg覆盖膜的制备方法与流程

本发明主要涉及微电子材料的，具体为一种高tg覆盖膜的制备方法。背景技术：1、高tg覆盖膜是一种高性能的薄膜材料，它具有良好的热稳定性、抗氧化、防腐蚀等性能，能够在高温环境下保持稳定的性能表现，相较于普......

2024-08-01 37

#制备方法#流程#Tg