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一种铪基铁电存储器及其制造方法
本发明涉及铁电存储器,尤其是涉及一种铪基铁电存储器及其制造方法。背景技术:1、随着电子信息产业的飞速发展,信息数据大量迭代增加,现有存储技术难以满足人们对高密度、高速度、低功耗存储的需求。为了达到上述......
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一种铪基铁电存储器及其制造方法
本发明涉及铁电存储器,尤其是涉及一种铪基铁电存储器及其制造方法。背景技术:1、随着电子信息产业的飞速发展,信息数据大量迭代增加,现有存储技术难以满足人们对高密度、高速度、低功耗存储的需求。为了达到上述......
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一种氧化铪基铁电电容器
本技术涉及微电子,尤其涉及一种氧化铪基铁电电容器。背景技术:1、基于掺杂hfo2的新型铁电材料有望用于下一代存储设备,其展现出显著的优势包括高速、低功耗和完全cmos兼容性等。自掺si的hfo2薄膜的......